¿Qué significa la contaminación del aire por AMC?

AMC es la abreviatura de Airborne Molecular Contamination, que generalmente se llama contaminación molecular del aire en chino.

Se refiere a contaminantes que existen en forma molecular en el aire. A diferencia de las partículas, estos contaminantes se encuentran a nivel molecular, son invisibles a simple vista e indetectables con los contadores de partículas convencionales. Pueden provenir del aire exterior, materiales de proceso, emisiones de equipos o agentes de limpieza, y sus componentes incluyen gases ácidos, gases alcalinos, vapores orgánicos, dopantes, etc.

El hecho de que el número de partículas en la sala limpia cumpla con los estándares no significa que el AMC también cumpla con los estándares. Un sistema HEPA o ULPA puede controlar muy bien las partículas, pero tiene poca capacidad para tratar contaminantes gaseosos. Si un proceso es sensible a ciertos contaminantes moleculares, será necesario evaluarlo y controlarlo individualmente.

¿Cuáles son las fuentes comunes?

Las fuentes de AMC son relativamente complejas y, a menudo, no provienen de un solo canal.

aire exterior. Las emisiones industriales, los gases de escape del tráfico y las instalaciones circundantes pueden traer gases ácidos, materia orgánica u otros componentes. La ubicación de la entrada de aire fresco y el entorno circundante afectan directamente la cantidad de aire fresco introducido.

Materiales artesanales. Los agentes de limpieza, disolventes, fotorresistentes, adhesivos, lubricantes, etc. pueden evaporarse durante el uso. Diferentes materiales tienen diferentes componentes y cantidades de liberación, que deben analizarse junto con procesos específicos.

Liberación del dispositivo. Los materiales, sellos, cables y revestimientos dentro del equipo pueden liberar trazas de materia orgánica a temperaturas de funcionamiento. Estas fuentes se pasan por alto fácilmente, pero pueden tener un impacto en los procesos de precisión.

actividades del personal. El aliento, el sudor, los cosméticos y las fibras de la ropa del personal pueden introducir o producir ciertos componentes gaseosos.

Limpieza y mantenimiento. El uso de desinfectantes, limpiadores y operaciones durante el mantenimiento pueden aumentar temporalmente la concentración de ciertos gases.

Al identificar las fuentes, utilice una combinación de análisis de material y flujo de aire, no solo olores. Algunos ingredientes de AMC no tienen un olor evidente, pero aun así pueden afectar el proceso.

Por qué los objetivos del proceso son más importantes

El mismo gas tiene diferentes efectos sobre diferentes productos.

Los procesos relacionados con la fotolitografía pueden centrarse en componentes alcalinos (como el amoníaco), porque las sustancias alcalinas pueden afectar el efecto de exposición del fotoprotector.

La protección de equipos electrónicos puede verse afectada por gases corrosivos, como compuestos que contienen azufre, cloruros, etc. Estos componentes pueden afectar la confiabilidad de las líneas y contactos metálicos.

La óptica de precisión puede preocuparse por la deposición orgánica y ciertos volátiles pueden formar películas en la superficie de la lente.

La fabricación de semiconductores puede implicar dopantes (como compuestos de boro y fósforo), y su presencia en pequeñas cantidades puede afectar el rendimiento eléctrico del dispositivo.

Por lo tanto, los proyectos de control deben basarse en objetos sensibles reales en lugar de perseguir un indicador AMC general. Diferentes áreas de proceso y diferentes equipos pueden tener una sensibilidad completamente diferente al AMC y a los componentes de interés. Para planes de control específicos, consulte la gama de productos de filtros químicos . Descripción de

Cómo conectar la detección y el filtrado

Para controlar AMC, primero debe comprender 'qué medir' y 'qué controlar'.

Identificar los ingredientes a probar. ¿Es un gas ácido, un gas alcalino, una sustancia orgánica o un dopante específico? Los métodos de muestreo, los instrumentos analíticos y los límites de detección varían para los diferentes componentes.

Determine el rango de concentración. ¿Es un nivel ambiental normal o es necesario controlarlo en una concentración extremadamente baja? El rango de concentración determina la elección del método de detección y el diseño del esquema de filtración.

Seleccione un punto de muestreo. La entrada de aire fresco, el aire de retorno, las estaciones de trabajo clave y los interiores de los equipos reflejan la situación de contaminación en diferentes vínculos. El muestreo emparejado de entradas y salidas ayuda a determinar la eficacia del filtrado.

Luego determine el plan de filtrado. De acuerdo con la composición objetivo, la concentración, el volumen de aire y los requisitos de salida, seleccione el medio filtrante químico y el método de configuración correspondientes.

TVOC puede observar la tendencia de cierta contaminación orgánica, pero no puede representar el gas ácido, el amoníaco y toda la contaminación molecular. Si el proyecto tiene requisitos para ingredientes específicos, es necesario probarlos por separado. involucrando filtros químicos tipo caja MAU , los puntos de muestreo deben cubrir la entrada y la salida. Para proyectos de tratamiento de aire fresco con

Más de un medio de control.

La filtración química es un medio importante de control del AMC, pero no es el único medio.

Control de fuente. La elección de materiales de baja emisión, la mejora de los procesos y el fortalecimiento de la ventilación local pueden reducir la generación de AMC desde la fuente. Esto suele ser más económico que el procesamiento terminal.

Dilución por ventilación. Aumentar el volumen de aire fresco o el número de cambios de aire puede reducir la concentración, pero el consumo de energía es alto y puede no ser suficiente para ciertos requisitos de baja concentración.

Filtración química. Seleccione el medio apropiado para el gas objetivo y configure una sección de filtro en la ruta del flujo de gas. Adecuado para el manejo de contaminación de baja concentración y liberación sostenida.

Optimización de la organización del flujo de aire. Disponga adecuadamente las rutas de suministro, retorno y escape de aire para evitar la acumulación de contaminantes en áreas sensibles.

En proyectos reales, estos métodos generalmente deben usarse en combinación. Es difícil resolver todos los problemas de AMC con un solo método. Para métodos de configuración específicos, consulte FFU con filtro químico o Una explicación de la diferencia entre filtros químicos y filtros HEPA .

Ejemplo de juicio de proyecto

Cierta área del equipo pasó la prueba de partículas, pero apareció una contaminación desconocida en la superficie del producto.

La inspección preliminar no encontró ningún problema de partículas. Pruebas adicionales revelaron trazas de vapor orgánico en el aire, provenientes de materiales de sellado y lubricantes dentro del equipo. Estos compuestos orgánicos se liberan lentamente a temperaturas de funcionamiento y se depositan en la superficie del producto.

Dirección del tratamiento: primero confirme los principales componentes contaminantes y luego evalúe agregar una sección de filtro químico apropiado a la ruta de suministro de aire del equipo o reemplazar materiales de baja emisión. El sistema de filtración de partículas se mantiene sin cambios ya que no tiene la capacidad de manejar este tipo de contaminación.

Este caso muestra que las partículas calificadas no significan que el aire esté bien. Los procesos sensibles al AMC requieren planes de detección y control separados.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

Acerca del paquete de control AMC de Aili Industrial

El control de AMC implica muchos vínculos, desde la identificación y detección de la contaminación hasta las soluciones de filtración, y es necesario hacer coincidir los requisitos del proceso con las condiciones del sistema.

Aili Industrial tiene capacidades de fabricación independientes en filtros, motores, ventiladores, sistemas de control y procesamiento de chapa metálica, y puede proporcionar series de productos de filtros químicos y equipos de suministro de aire de soporte. Para proyectos que requieren control AMC, el gas objetivo, el rango de concentración, el volumen de aire y las condiciones de instalación se pueden combinar para ayudar a verificar la configuración de la sección del filtro. Cuando el filtro se combina con FFU, MAU y otros equipos, la resistencia, la interfaz y los métodos de mantenimiento se pueden confirmar de manera uniforme.

Productos relacionados:Serie de productos de filtros químicos.、Filtro químico de caja MAU、FFU viene con filtro químico . Proporcionar una lista de los contaminantes objetivo, los requisitos de prueba y las condiciones del sistema durante la consulta ayudará a confirmar la configuración adecuada. La selección específica está sujeta a los documentos técnicos y a los resultados de las pruebas confirmados por el proyecto.