La salle blanche est contaminée à la fois par des gaz acides et des solvants. Comment combiner les solutions de filtration ?

La pollution gazeuse se produit dans les salles blanches, et parfois elle ne constitue pas un seul composant. La coexistence de gaz acides et de vapeurs de solvants n’est pas rare dans les projets de semi-conducteurs, de panneaux, d’électronique de précision et de laboratoire.

Ces deux types de polluants ont des propriétés moléculaires différentes et nécessitent des médias filtrants différents. Le gaz acide nécessite un milieu pour les composants acides, et la vapeur de solvant nécessite un milieu pour la matière organique. Les mélanger et choisir un matériau filtrant universel ne parvient souvent pas à prendre en compte les deux extrémités. L’essentiel du plan combiné est d’identifier clairement les deux types de pollution séparément, puis de décider comment les traiter ensemble. Pour les principes de sélection spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur les raisons pour lesquelles les filtres chimiques doivent être sélectionnés en fonction du gaz cible .

Confirmez d'abord le chemin d'air commun

La première étape du plan combiné consiste à déterminer si les deux types de pollution suivent le même chemin.

Homogène ou hétérologue. Les gaz acides et les vapeurs de solvant peuvent provenir du même processus ou de zones différentes. Les sites de traitement peuvent être regroupés s’ils proviennent du même équipement ou du même flux d’air. Si les sources sont dispersées, un cloisonnement peut être nécessaire. Pour les méthodes d'investigation spécifiques, veuillez vous référer à de l'opportunité de procéder à un échantillonnage de l'air avant de choisir un filtre chimique . Discutez

S'il faut entrer dans la même section de filtre. Si les deux types de pollution traversent la même section filtrante, une configuration combinée doit être envisagée. Si seulement une partie du flux d’air passe et que l’autre partie est contournée, le lieu et la méthode de traitement doivent être ajustés en conséquence. Veuillez vous référer à la sélection d'emplacement spécifique les systèmes de traitement de l'air appropriés pour l'installation de filtres chimiques . Discussion sur

Y a-t-il une transmission interrégionale ? Des gaz acides peuvent provenir de l'air frais extérieur et des vapeurs de solvant peuvent être libérées par les processus intérieurs. Si les deux sources sont différentes, le lieu de traitement peut être l'un dans la section air neuf et l'autre dans la section air repris. Pour les différences spécifiques, veuillez vous référer à Pourquoi MAU doit-il configurer la section de filtre chimique et Discussion sur la contamination localisée qui peut être traitée par FFU plus filtre chimique .

Déterminez d’abord s’ils entrent dans la même section de filtre, puis décidez de la méthode de combinaison. Si les deux types de pollution ne suivent pas le même chemin, il ne faut pas nécessairement les combiner dans un même tronçon.

Vérifier la base de combinaison de médias

Après avoir confirmé qu'un traitement combiné est requis, vérifiez la configuration du support.

Les gaz acides et les solvants nécessitent des fluides différents. Les gaz acides nécessitent généralement une imprégnation alcaline ou des supports spéciaux d'adsorption de gaz acides, et les vapeurs de solvants nécessitent généralement du charbon actif ou des supports spéciaux adaptés aux gaz organiques. Pour les différences spécifiques, veuillez vous référer à Les filtres chimiques peuvent-ils éliminer le dioxyde de soufre de l'air ? Discussion sur le choix d'un filtre chimique pour l'air contre la pollution par le toluène .

Ne vous contentez pas de regarder l'étiquette multigaz. Certains produits sont étiquetés « peuvent gérer des gaz acides et des matières organiques », mais les performances spécifiques nécessitent des données de test correspondantes. Les efficacités et capacités d'élimination peuvent varier selon les différents composants, et les étiquettes ne doivent pas être considérées comme une preuve que les exigences sont respectées pour tous les gaz. Pour une interprétation spécifique du rapport, veuillez vous référer à Discussion sur les raisons pour lesquelles les rapports sur les performances des filtres chimiques répertorient des gaz cibles spécifiques .

Les pollutions mixtes peuvent entrer en compétition. Lorsque plusieurs gaz existent en même temps, différents composants peuvent entrer en compétition pour les sites d'adsorption, ou certains composants peuvent réagir préférentiellement, affectant les performances globales. Lors de la sélection, vérifiez les données selon des conditions mixtes ou utilisez une configuration hiérarchique pour les traiter séparément. Pour les différences spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur la question de savoir si les filtres chimiques peuvent traiter à la fois les particules et les gaz .

Les données sur un seul composant ne peuvent pas être directement extrapolées à des conditions mixtes. Les données sur le toluène ne peuvent pas expliquer l'effet sur les gaz acides, et les données sur les gaz acides ne peuvent pas expliquer l'effet sur la matière organique. Les deux doivent être vérifiés séparément.

Séquence de combinaison et méthode de configuration

Il existe différentes manières de mettre en œuvre le schéma de combinaison, dont l’ordre et la structure doivent être confirmés.

Configuration en couches. Si les gaz acides et les vapeurs de solvant nécessitent des médias différents, ils peuvent être chargés en couches dans la même section de filtration, ou deux sections de filtration indépendantes peuvent être mises en place. Une couche gère les gaz acides et une couche gère la matière organique. Veuillez vous référer à la commande spécifique Discussion sur les formes courantes de produits de filtres chimiques .

Connexion série ou parallèle. Lorsqu'il est connecté en série, tout le flux d'air traverse les deux couches de média en séquence. Lorsqu'il est connecté en parallèle, le flux d'air est divisé en deux chemins, qui sont traités séparément puis fusionnés. Les configurations en série sont plus courantes, mais la résistance s'accumule. La structure parallèle a des exigences en matière de distribution du volume d'air. Pour la distribution spécifique du volume d'air, veuillez vous référer à Discussion sur la question de savoir si le volume d'air du filtre chimique doit être sélectionné en fonction du volume d'air total du système ou du volume d'air d'une seule unité .

Comment décider de la commande. Si deux types de médias sont sensibles aux produits ou à l’environnement de chacun, il faudra peut-être ajuster la séquence. Par exemple, les performances de certains milieux gazeux acides diminuent en présence de matière organique, ou encore les milieux organiques sont sensibles aux environnements acides. La séquence spécifique doit être confirmée par produit et système.

Traitement des partitions. Si les sources de gaz acide et de solvant sont différentes, les sections de filtre peuvent être installées dans leurs zones respectives et ne doivent pas nécessairement être combinées. Pour une mise en œuvre progressive spécifique, veuillez vous référer à Discussion sur la possibilité d'installer des filtres chimiques étape par étape dans différentes zones .

Coopération et maintenance du système

L’exploitation et la maintenance de la solution combinée doivent également être envisagées ensemble.

La résistance s’accumule. La résistance des deux sections de filtre est additionnée. La capacité du ventilateur du système à y résister doit être calculée en fonction du point de fonctionnement réel. Pour des méthodes spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur la mesure dans laquelle la résistance supplémentaire du filtre chimique augmentera la consommation électrique du ventilateur .

Les cycles de remplacement sont désynchronisés. Les milieux gazeux acides et les milieux organiques peuvent être consommés à des rythmes différents. Lors du remplacement de l'un, il se peut qu'il en reste encore dans l'autre. Le registre de maintenance doit être enregistré en couches et la base de remplacement doit être définie séparément. Pour les méthodes de gestion spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur les raisons pour lesquelles le cycle de remplacement du filtre chimique ne peut pas être calculé sur six mois .

Vérifiez chaque objectif individuellement. Les tests d’exportation doivent couvrir les principaux ingrédients. La diminution de la concentration des gaz acides ne peut pas prouver que la vapeur organique a été traitée. La méthode d'échantillonnage doit être adaptée au gaz cible. Pour des méthodes spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur les points d'échantillonnage pour la vérification des performances des filtres chimiques .

Vérifiez de manière synchrone pendant la maintenance. Lors du remplacement d'une couche de support, vérifiez l'état et l'étanchéité de l'autre couche. Les exigences en matière d'étanchéité pour les structures combinées peuvent être plus élevées. Pour les méthodes d'inspection spécifiques, veuillez vous référer à Discussion sur la façon de vérifier le contournement du cadre après l'installation du filtre chimique .

Exemple de jugement de projet

Des gaz acides et des vapeurs de solvants organiques ont été détectés simultanément dans une salle blanche. Le gaz acide provient de l’air frais extérieur et la vapeur de solvant provient du processus de nettoyage intérieur.

Le plan préliminaire envisage de mélanger deux médias dans la même section de filtre à air de reprise. Après évaluation, il a été constaté qu'un remplissage mixte pouvait entraîner une répartition inégale du flux d'air et que les deux couches de média consommaient à des rythmes différents, ce qui rendait le remplacement peu pratique.

Plan d'aménagement : Mettre en place une section de filtration chimique des gaz acides dans la section air neuf pour gérer les apports extérieurs ; mettre en place une section de filtration chimique des vapeurs organiques dans la section de reprise d'air intérieur pour gérer les rejets internes. Les deux sections vérifient respectivement le volume d'air, la résistance et le cycle de remplacement. Après réglage, les concentrations de sortie d'air neuf et d'air repris répondent aux exigences et la maintenance est gérée séparément.

Ce cas montre que la combinaison de la pollution par les gaz acides et les solvants ne signifie pas nécessairement que les deux milieux sont conditionnés ensemble, mais peuvent également être traités séparément selon la source. impliquant Lors de la sélection d'une série de produits de filtrage chimique , il est recommandé de fournir au fournisseur pour vérification les composants, les concentrations et les sources des deux types de pollution.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

À propos de l'ensemble de filtration combinée d'Aili Industrial

Aili Industrial dispose de capacités de fabrication indépendantes dans les domaines des filtres, des moteurs, des ventilateurs, des systèmes de contrôle et du traitement de la tôle, et peut fournir des séries de produits de filtres chimiques et des équipements d'alimentation en air de support. Pour les projets présentant à la fois une pollution par des gaz acides et des solvants, le gaz cible, la plage de concentration, le chemin de la source et les conditions du système peuvent être combinés pour faciliter la vérification du plan de filtration et de la méthode de configuration combinés.

Produits associés :Série de produits de filtres chimiques、Filtre chimique boîte MAU、FFU est livré avec un filtre chimique . Lors de votre demande, fournissez respectivement la composition cible et la concentration de gaz acide et de solvant, ce qui aidera à confirmer le plan de combinaison approprié. La sélection spécifique est soumise aux documents techniques et aux résultats d'essais confirmés par le projet.