クリーンルームは酸性ガスと溶剤によって同時に汚染されます。濾過溶液をどのように組み合わせるか?

ガス汚染はクリーン ルームで発生しますが、単一の成分ではない場合もあります。酸性ガスと溶媒蒸気が共存することは、半導体、パネル、精密エレクトロニクス、および実験室プロジェクトでは珍しいことではありません。

これら 2 種類の汚染物質は分子特性が異なるため、異なる濾材が必要です。 酸性ガスには酸性成分用の媒体が必要であり、溶媒蒸気には有機物質用の媒体が必要です。これらを混ぜ合わせて汎用フィルター素材を選択すると、両方の目的を達成できないことがよくあります。統合計画の核心は、2 つのタイプの汚染を個別に明確に特定し、それらにどのように対処するかを一緒に決定することです。具体的な選択原則については、以下を参照してください。 対象ガスに応じてケミカルフィルターを選ぶ理由を解説 。

まずは共通エア経路を確認

統合計画の最初のステップは、2 種類の汚染が同じ経路をたどるかどうかを調べることです。

同種または異種。 酸性ガスと溶媒蒸気は、同じプロセスから発生する場合もあれば、異なる領域から発生する場合もあります。処理場所が同じ装置または気流からのものであれば、一緒に配置することができます。ソースが分散している場合は、分割が必要になる場合があります。具体的な調査方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルターを選択する前に、空気サンプリングを行うかどうか について話し合ってください。

同じフィルターセクションに入るかどうか。 両方のタイプの汚染が同じフィルターセクションを通過する場合は、組み合わせた構成を検討する必要があります。気流の一部のみが通過し、他の部分がバイパスされる場合は、それに応じて処理場所と方法を調整する必要があります。特定の場所の選択を参照してください に設置されるケミカルフィルターにどの空気処理システムが適しているか についての議論。

地域を越えた感染はあるのでしょうか？ 酸性ガスは外部の新鮮な空気から発生する可能性があり、溶媒蒸気は屋内プロセスから放出される可能性があります。 2 つの供給源が異なる場合、処理場所は 1 つは外気セクションに、もう 1 つは戻り空気セクションにある可能性があります。具体的な違いについては、を参照してください。 MAU はなぜケミカルフィルターセクション と FFU とケミカルフィルターでどのような局所的な汚染を処理できるかについての議論 。

まず同じフィルターセクションに入るかを判断し、組み合わせ方法を決定します。 2 つのタイプの汚染が同じ経路をたどらない場合は、必ずしも同じセクションで組み合わせる必要はありません。

メディアの組み合わせを確認する

複合処理が必要であることを確認したら、メディア構成を確認してください。

酸性ガスと溶剤には異なる媒体が必要です。 酸性ガスには通常、アルカリ含浸または特殊な酸性ガス吸着媒体が必要であり、溶媒蒸気には通常、活性炭または有機ガスに適した特殊な媒体が必要です。具体的な違いについては、を参照してください。 化学フィルターは空気から二酸化硫黄を除去できますか ? トルエン汚染に対するエアケミカルフィルターの選び方についての議論 。

マルチガスラベルだけを見てはいけません。 一部の製品には「酸性ガスや有機物に対応」と表示されていますが、具体的な性能を発揮するには対応する試験データが必要です。除去効率と除去能力はコンポーネントによって異なる場合があり、ラベルをすべてのガスの要件が満たされていることを証明するものとみなすべきではありません。レポートの具体的な解釈については、以下を参照してください。 ケミカルフィルターの性能レポートに特定の対象ガスが記載されている理由についての説明 。

混合汚染が競合する可能性があります。 複数のガスが同時に存在する場合、異なる成分が吸着サイトをめぐって競合したり、一部の成分が優先的に反応したりして、全体の性能に影響を与える可能性があります。選択する際には、混合条件でデータを確認するか、階層構成を使用して個別に処理します。具体的な違いについては、を参照してください。 ケミカルフィルターが粒子状物質とガスの両方を処理できるかどうかについての議論 。

単一成分データを混合条件に直接外挿することはできません。 トルエンのデータでは酸性ガスへの影響が説明できず、酸性ガスのデータでは有機物への影響が説明できません。両方を個別に確認する必要があります。

組み合わせ順序と設定方法

組み合わせスキームを実装するにはさまざまな方法があり、順序と構造を確認する必要があります。

レイヤー構成。 酸性ガスと溶媒蒸気に異なる媒体が必要な場合は、それらを同じ濾過セクションに層として充填することも、2 つの独立した濾過セクションをセットアップすることもできます。 1 つの層は酸性ガスを処理し、もう 1 つの層は有機物を処理します。具体的な順序を参照してください ケミカルフィルターの一般的な製品形態についての説明 。

直列または並列接続。 直列に接続すると、すべての空気流が 2 つの媒体層を順番に通過します。並列接続すると、空気の流れが 2 つの経路に分割され、別々に処理されてから合流します。直列構成の方が一般的ですが、抵抗が増加します。平行構造には風量分布の要件があります。具体的な風量分布については、を参照してください。 ケミカルフィルタの風量をシステム全体の風量で選ぶか単体の風量で選ぶか検討 。

順番の決め方。 2 種類のメディアが互いの製品または環境の影響を受けやすい場合は、順序を調整する必要がある場合があります。たとえば、一部の酸性ガス媒体は有機物の存在下で性能が低下したり、有機媒体が酸性環境に敏感になったりします。具体的なシーケンスは製品およびシステムごとに確認する必要があります。

パーティション処理。 酸性ガスと溶剤の発生源が異なる場合は、フィルタセクションをそれぞれのエリアに設置することができ、組み合わせる必要はありません。具体的な段階的実装については、以下を参照してください。 化学フィルターをさまざまな地域に段階的に設置できるかどうかについての議論 。

システム連携・メンテナンス

組み合わせたソリューションの運用と保守も合わせ​​て検討する必要があります。

抵抗が積み重なっていきます。 2 つのフィルター セクションの抵抗が加算されます。システムファンがそれに耐えられるかどうかは、実際の動作点に基づいて計算する必要があります。具体的な方法については、こちらをご参照ください ケミカルフィルターの追加抵抗によりファンの消費電力がどの程度増加するかについての議論 。

交換サイクルがずれています。 酸性ガス媒体と有機媒体は異なる速度で消費される場合があります。一方を交換すると、もう一方にはまだ残っている可能性があります。保守台帳は階層的に記録し、交換基準を別途設定する必要があります。具体的な管理方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルターの交換サイクルを半年で計算できない理由についての議論 。

それぞれの目標を個別に確認します。 輸出検査では主要成分をカバーする必要があります。酸性ガス濃度の減少は、有機蒸気が処理されたことを証明することはできません。サンプリング方法は対象ガスに適したものを選択してください。具体的な方法については、こちらをご参照ください ケミカルフィルターの性能検証のためのサンプリングポイントについての議論 。

メンテナンス時に同期して確認します。 メディアの 1 層を交換する場合は、もう 1 層の状態とシールを確認してください。複合構造の場合、シール要件が高くなる場合があります。具体的な検査方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルター設置後のフレームバイパス確認方法についての議論 。

プロジェクトの判断例

クリーンルーム内で酸性ガスと有機溶剤蒸気を同時に検知しました。酸性ガスは外部の新鮮な空気から発生し、溶剤蒸気は屋内の洗浄プロセスから発生します。

予備計画では、同じ戻り空気フィルター セクションで 2 つの媒体を混合することを考慮しています。評価の結果、充填物を混合するとエアフローの分布が不均一になる可能性があり、2 つの層のメディアの消費速度が異なるため、交換が不便になることが判明しました。

調整計画：外​​気セクションに酸性ガス用の化学ろ過セクションを設置し、外部入力に対応します。内部放出に対処するために、屋内戻り空気セクションに有機蒸気用の化学濾過セクションを設置します。 2 つのセクションでは、それぞれ風量、抵抗、交換サイクルをチェックします。調整後は外気と還気の出口濃度が要件を満たしており、メンテナンスは個別に管理されます。

この事例は、酸性ガスと溶剤汚染の組み合わせは、必ずしも 2 つの媒体が一緒に梱包されることを意味するわけではなく、発生源に応じて別々に処理できることを示しています。 関与する ケミカルフィルター製品シリーズを選択する場合 、検証のために 2 種類の汚染の成分、濃度、発生源をサプライヤーに提供することをお勧めします。

選定と受入検査のポイント

Aili Industrialの複合ろ過パッケージについて

Aili Industrial は、フィルター、モーター、ファン、制御システム、板金加工における独立した製造能力を備えており、ケミカルフィルター製品シリーズとサポートする空気供給装置を提供できます。酸性ガスと溶剤汚染の両方を伴うプロジェクトの場合、対象ガス、濃度範囲、ソース経路、システム条件を組み合わせて、組み合わせたろ過計画と構成方法を確認するのに役立ちます。

関連商品：ケミカルフィルター製品シリーズ、MAUボックスケミカルフィルター、FFUにはケミカルフィルターが付属しています。お問い合わせの際は、酸性ガスと溶剤それぞれの対象組成と濃度をお知らせいただくと、適切な組み合わせプランをご確認いただけます。具体的な選択は、プロジェクトによって確認された技術文書とテスト結果に基づいて行われます。