FFU とケミカルフィルターを併用すると、どのような局所的な汚染に対処できますか?

FFUはクリーンルームやローカルクリーンエリアで一般的な給気装置です。標準構成はファンと粒子フィルターで、空気中の粒子状物質を制御します。しかし場合によっては、粒子制御だけでは十分ではなく、ガス汚染にも対処する必要があります。

FFUに化学濾過部を設置することで、循環空気流中の対象ガスを処理することができます。 ただし、どのような汚染物質を処理できるか、どの程度の効果があるかは、フィルタの材質が対象ガスに適しているか、汚染空気がフィルタ部を通過するか、循環空気量が適合するかによって決まります。 FFUのカバーエリアだけでは効果は判断できません。具体的な選択ロジックについては、を参照してください。 に設置されるケミカルフィルターにどの空気処理システムが適しているか についての議論。

フィルター部に汚れが侵入しないか確認

これがFFUプラスケミカルフィルターの有効性を判断する前提条件となります。

内部リリースソース。 汚染が FFU がサービスを提供するエリアでの機器、材料、または人の活動に起因する場合、循環空気流によってこれらのガスが FFU 空気入口に導入され、フィルター セクションで処理された後に戻されます。このシナリオでは、化学濾過セクションはエリア内のガス濃度を継続的に低減できます。

外部入力。 汚染が主に外部の新鮮な空気または隣接する地域から発生する場合、FFU 循環濾過はその地域に侵入した汚染を処理することしかできず、外部汚染の継続的な流入を防ぐことはできません。この場合、外気セクションまたはエリア境界でのフィルタリングも同時に設定する必要があります。具体的な違いについては、を参照してください。 MAU が化学濾過セクションを構成する必要がある理由についての議論 。

エアフロー経路の確認が必要です。 汚染源が濾過セクションの下流にある場合、または空気流が FFU を迂回して保護エリアに直接拡散する場合、濾過セクションの効果が損なわれます。設置前に、そのエリアの空気の流れの構造を理解し、汚染された空気の流れがフィルターセクションを通過することを確認する必要があります。具体的なトラブルシューティング方法については、以下を参照してください。 ケミカルフィルター設置後のフレームバイパス確認方法についての議論 。

粒子と気体を区別するタスク

FFU が化学フィルターを追加した後、システムには 2 種類の濾過タスクが存在します。

粒子濾過。 元の HEPA または ULPA が引き続き粒子制御を担当します。粒子フィルターの効率と密閉要件は変わりません。具体的な違いについては、を参照してください。 ケミカルフィルターとHEPAフィルターの違いについての説明 。

ガス濾過。 化学濾過セクションは対象ガスの処理を担当します。ガス組成から媒体の種類を選択し、入口濃度と空気量から容量と交換サイクルを決定します。

両方のプロパティを個別にチェックして検証する必要があります。 化学濾過セクションを設置したからといって粒子制御が強化されるわけではありません。逆に、HEPA または ULPA の効率データはガス処理能力を示すことはできません。 2 種類のインジケーターは、受け入れ時に個別にテストされます。

風速を見直して空気の流れをきれいにする

化学濾過セクションを設置した後は、システム抵抗が変化するため、風速を再チェックする必要があります。

新たな抵抗の影響。 化学濾過セクションにより、システム全体の抵抗が増加します。ファンのマージンが不足すると風量が低下し、クリーンエリアへの給気量に影響を与える場合があります。具体的な会計方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルターの追加抵抗によりファンの消費電力がどの程度増加するかについての議論 。

風速の均一性。 フィルター部を追加すると、吹出口面の風速分布が変化する場合があります。フィルターセクションが不適切に取り付けられているか、媒体が不均一に分布している場合、局所的な風速が高くなったり低くなったりする可能性があります。具体的な測定方法については、こちらをご参照ください。 FFUにケミカルフィルターを搭載した場合の目標風速の確認方法について検討中 。

漏れの検出と密閉。 フィルター部取り付け後、FFUの密閉状態を再確認する必要があります。フレームバイパスとフィルターエレメントの変位は、出口空気の品質に影響を与える可能性があります。

メンテナンスの手配。 ケミカルフィルター部はパーティクルフィルターとは交換サイクルが異なります。メンテナンスアクセスと操作スペースは設計段階で確認する必要があります。デバイス側アプリケーションなど FFUに適合するケミカルフィルター、界面、抵抗を計画段階で合わせて確認する必要があります。

該当するシナリオと制限事項

FFU とケミカル フィルターが適したシナリオには、いくつかの判断要素があります。

適切なシナリオ:

• この地域では継続的に低濃度のガス状汚染物質が放出されている

• 外部入力は外気セクションで処理され、循環濾過によって補完されます。

• 保護対象は特定のガスに敏感であり、局所的な強化処理が必要です。

• このスペースには追加のフィルターセクションが可能であり、ファン用のスペースもあります。

追加の評価が必要なシナリオ:

• 汚染源が強力で濃度も高いため、循環ろ過だけでは不十分な場合があります。

• 外部からのインプットが支配的、最初に新しい風に対処する必要がある

• 周囲のスペースが狭く、フィルター部を設置するとメンテナンスや風速に影響が出ます。

• 対象となるガスの種類は多く、単一の媒体でカバーすることは困難です。

処理能力は FFU のカバーエリアだけで判断することはできません。 処理効果は対象ガスに対するフィルター材質の適性、循環空気量、入口濃度により異なります。具体的な選定方法については、こちらをご参照ください。 ケミカルフィルタの風量をシステム全体の風量で選ぶか、単体の風量で選ぶか検討します 。

プロジェクトの判断例

一部の精密組立領域では、装置内で微量の有機溶剤が揮発します。このエリアの粒子は十分に管理されていますが、時々臭いが感じられる場合があります。

予備計画では、外気セクションに化学濾過を追加することが検討されましたが、テストの結果、外気中の有機物の濃度は非常に低く、主な発生源は屋内設備であることが判明しました。

調整計画：FFUに有機ガス用の化学濾過セクションを設置し、循環空気流中の溶剤揮発分を処理します。設置前に FFU ファンのマージンを計算し、風量を維持できることを確認しました。 FFUの内部空間に合わせて薄いケミカルフィルターセクションを選択しました。設置後、出口濃度と周囲の臭気を検出し、明らかな改善が確認されました。フィルタ部の交換サイクルは稼働データに応じてスケジュールされます。

このケースは次のことを示しています。FFU とケミカル フィルターは、地域内に継続的に放出されるガス状汚染物質の処理に適しています。 関与する ケミカルフィルター製品シリーズの構成については 、汚染源、空気流路、システム条件をサプライヤーに提供して検証していただくことをお勧めします。

選定と受入検査のポイント

Aili IndustrialのFFU化学濾過パッケージについて

FFU とケミカル フィルターの核心は、局所的な汚染特性、空気流路、システム条件に適合し、適合する媒体と構造を選択することです。

Aili Industrial は、フィルター、モーター、ファン、制御システム、板金加工における独立した製造能力を備えており、ケミカルフィルター製品シリーズとサポートする空気供給装置を提供できます。局所循環ろ過が必要なプロジェクトでは、対象ガス、濃度、循環風量、設置スペースを組み合わせてフィルター部の構成や抵抗影響を確認することができます。 FFUやEFUなどの機器とフィルタをマッチングさせると、インターフェース、メンテナンス方法、サンプリングポイントを統一して確認できます。

関連商品：ケミカルフィルター製品シリーズ、FFUマッチングケミカルフィルター、MAUボックスケミカルフィルター。問い合わせの際に、地域の汚染情報、通気条件、システム要件を提供していただくと、適切なろ過ソリューションを確認するのに役立ちます。具体的な選択は、プロジェクトによって確認された技術文書とテスト結果に基づいて行われます。