Comment distinguer les tâches d'humidité des boîtiers de climatisation des environnements de production OLED de celles des équipements de traitement ?

Les exigences en matière d'humidité pour la production d'OLED doivent faire la distinction entre l'air ambiant de l'usine, les zones locales propres et l'environnement interne des équipements de traitement. Le boîtier de climatisation se charge généralement du traitement de l’air dans la plage convenue. Tout simplement parce qu'un certain processus est sensible à l'humidité, les conditions particulières à l'intérieur de l'équipement ne peuvent pas être directement utilisées comme indice d'alimentation en air de l'ensemble de l'atelier.

Cartographier les exigences du processus pour contrôler l'espace élément par élément

L'artisan doit expliquer le processus sensible, le lieu d'exposition et les conditions autorisées, puis vérifier si le produit se trouve toujours dans un équipement contrôlé ou dans un environnement local. Si l'équipement local dispose d'une alimentation dédiée au séchage ou au gaz, sa connexion avec l'air de l'usine et l'impact des fuites doivent être confirmés. Les méthodes de mesure des environnements de fond et des cavités des équipements peuvent également être différentes et les lectures ne peuvent pas être mélangées.

L'arrière-plan de l'usine doit inclure la zone de service, les activités du personnel et la charge générale de chaleur et d'humidité ; l'environnement local doit inclure les ouvertures, les transferts, les interfaces et les échanges d'air avec l'usine ; l'intérieur de l'équipement doit inclure les conditions de contrôle indépendantes et d'approvisionnement en énergie spécifiées par le côté de l'équipement de traitement. Les trois types d'espaces correspondent à des entités responsables différentes et ne peuvent pas se contenter d'un indice d'humidité. Quels objectifs de contrôle faut-il clarifier lors de la sélection d’un caisson de climatisation à température et humidité constantes ? Veuillez vous référer àQuels objectifs de contrôle faut-il clarifier lors de la sélection d’un caisson de climatisation à température et humidité constantes ?。

L'environnement de fond de l'usine est supporté par le boîtier de climatisation

L'humidité de l'environnement de l'usine est généralement gérée par un boîtier de climatisation ou MAU, dans le but de maintenir le confort du personnel, d'empêcher la condensation générale et de répondre aux exigences environnementales régionales. La plage de contrôle de l'humidité de l'environnement de fond est généralement plus large, les points de mesure sont disposés dans l'air de retour ou dans des zones représentatives et les exigences de précision du contrôle sont inférieures à celles de l'environnement interne de l'équipement.

Comment les tâches d'air frais de la salle blanche MAU correspondent à l'air évacué du processus, veuillez vous référer àComment la tâche d’air frais de la salle blanche MAU correspond-elle à l’échappement du processus ? . Les unités de traitement d'air à circulation doivent être sélectionnées en fonction des charges intérieures, veuillez vous référer àSur quelles charges intérieures l’unité de traitement d’air à circulation doit-elle être sélectionnée en fonction ?。

Les zones partiellement propres peuvent être plus sensibles à l'humidité

Les zones propres locales, telles que les couloirs de transfert, les salles tampons ou les enceintes de protection locales, peuvent avoir des exigences supplémentaires en matière d'humidité. Ces zones sont connectées à l’environnement de fond de l’usine, et l’humidité est affectée à la fois par l’air de fond et par l’apport d’air local. L'environnement local peut nécessiter une alimentation en air indépendante ou un séchage local, qui ne peuvent être contrôlés uniquement par le boîtier de climatisation de fond.

Le panneau montre comment le boîtier de climatisation de l'atelier gère les zones d'alimentation en air de grande surface. Veuillez vous référer àComment le boîtier de climatisation à panneau d'affichage dans l'atelier gère-t-il les zones d'alimentation en air de grande surface ? . Pourquoi du gaz externe peut-il encore entrer si la différence de pression de la salle blanche est qualifiée ? Veuillez vous référer àSi la différence de pression de la salle blanche est qualifiée, pourquoi du gaz externe peut-il encore entrer ?。

L'environnement interne de l'équipement relève généralement de la responsabilité de l'équipementier du procédé.

Il peut y avoir des contrôles d'humidité indépendants, des alimentations en gaz sec ou des chambres scellées à l'intérieur de l'équipement de traitement OLED. Les exigences en matière d'humidité à l'intérieur de l'équipement sont généralement beaucoup plus strictes qu'en usine et il incombe au propriétaire de l'équipement de les mettre en œuvre et de les vérifier. Le but du boîtier de climatisation est de fournir un air de fond qui répond aux exigences d'entrée de l'équipement, et non de remplacer le contrôle de l'humidité à l'intérieur de l'équipement.

Quelles données sur site sont nécessaires pour la filtration chimique de l'entrée d'air des équipements de lithographie ? Veuillez vous référer àQuelles données de terrain sont nécessaires pour la filtration chimique de l’entrée d’air des équipements de lithographie ? . Comment la filtration chimique d'entrée d'air EFEM correspond aux exigences de propreté des équipements, veuillez vous référer àComment la filtration chimique des entrées d’air EFEM répond-elle aux exigences de propreté des équipements ?。

Évitez de dupliquer les tâches avant de configurer l’équipement

Écrivez chaque exigence d’humidité dans une matrice de responsabilité, en indiquant quel ensemble d’équipements la met en œuvre et où il est inspecté. Lorsqu'il s'agit de conditions dépassant le cadre du refroidissement et de la déshumidification conventionnels, l'itinéraire technique et les besoins énergétiques doivent être évalués séparément, et il ne peut pas être directement promis que des boîtiers de climatisation ordinaires pourront être réalisés. La division ici est utilisée pour clarifier les exigences, et les indicateurs spécifiques sont toujours déterminés par le processus lui-même.

Quelles informations sur les polluants sont requises avant que le boîtier de climatisation soit équipé d'une filtration chimique, veuillez vous référer àQuelles informations sur les polluants sont nécessaires avant que le boîtier de climatisation soit équipé d'une filtration chimique ? . Quelles conditions immuables doivent être déterminées en premier pour une personnalisation non standard, veuillez vous référer àQuelles conditions immuables doivent être déterminées en premier pour une personnalisation hors standard des caissons de climatisation ?。

Le lieu de mesure et les limites d'acceptation doivent être convenus séparément.

Différents instruments de mesure, lieux d'échantillonnage et périodes d'évaluation peuvent être utilisés dans l'environnement de base, dans les zones locales et à l'intérieur des équipements. Ils doivent être testés séparément lors de l'acceptation, et les données d'un point de mesure d'une pièce ne peuvent pas être utilisées pour représenter l'environnement interne de l'équipement. L'équipementier est responsable de la réception interne de l'équipement, et la réception du caisson de climatisation s'effectue selon les points de mesure convenus.

Comment déterminer les exigences d'installation et d'étalonnage des capteurs de température et d'humidité du boîtier de climatisation, veuillez vous référer àComment déterminer les exigences d'installation et d'étalonnage des capteurs de température et d'humidité du boîtier de climatisation ? . Quelle est la différence entre la précision de l’alimentation en air et la précision du contrôle de la pièce ? Veuillez vous référer àQuelle est la différence entre la précision de l’alimentation en air du boîtier de climatisation et la précision du contrôle de la pièce ?。

Équipement de support industriel Aili

Aili Industrial peut vérifier le traitement de l'air, l'EFU et d'autres installations de support selon une division claire du travail entre le bâtiment de l'usine et l'équipement. Veuillez conserver les limites de chaque espace de contrôle lorsque vous soumettez des informations sur le projet. L'activité de fabrication industrielle d'Aili couvre la R&D indépendante et la production de moteurs et de ventilateurs, de systèmes de contrôle, de tôles, de filtres à air et d'assemblages complets de machines. Les boîtiers de climatisation, les EFU et les interfaces de filtre terminal peuvent être associés dans le même emballage ; les configurations non standard peuvent être ajustées en fonction de l'environnement de fond et des exigences locales.

Le formulaire du produit peut être consultéCentrale de traitement d'air etde la boîte des fans ; Page le pack d'alimentation en air pur peut être combinéUnité de filtre de ventilateur FFU etde l'unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU ; Vérification la filtration des particules terminales peut être combinéedu filtre HEPA/ULPA ; Confirmation en matière de lutte contre la pollution gazeuse, vous pouvez communiquer séparémentSolutions de filtration chimique . La plage de contrôle d'humidité spécifique, les conditions applicables et l'étendue de la livraison doivent encore être vérifiées sur la base des données de configuration correspondantes et des conditions de travail sur site. L'effet réel est soumis aux résultats du débogage sur site et des tests de performances.

Soumettre les paramètres du projet :https://ailigy.com/contactus.html

Questions et réponses connexes

Les besoins en humidité interne des équipements OLED peuvent-ils être directement utilisés comme indicateur d’alimentation en air pour les caissons de climatisation ?
ne peut pas. Il existe généralement un contrôle indépendant de l’humidité à l’intérieur de l’équipement. Le boîtier de climatisation est responsable de l’environnement de fond ou des conditions d’entrée des équipements. Les limites des deux responsabilités doivent être convenues séparément.

Les exigences en matière de précision du contrôle de l’humidité environnementale de fond sont-elles élevées ?
Il est généralement inférieur à l'environnement interne de l'équipement, mais les spécificités dépendent toujours des exigences de la zone de traitement et doivent être déterminées séparément par zone.

Aili Industrial peut-il aider à délimiter les limites du contrôle de l’humidité ?
La répartition des tâches d'humidité peut être vérifiée en fonction de la zone de processus, de l'interface de l'équipement et de l'étendue du service du boîtier de climatisation. Le plan spécifique doit être confirmé en fonction des conditions du projet.

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