Wie lassen sich die Feuchtigkeitsaufgaben von Klimakästen in OLED-Produktionsumgebungen von denen von Prozessanlagen unterscheiden?

Bei den Feuchtigkeitsanforderungen für die OLED-Produktion sollte zwischen der Hintergrundluft in der Fabrik, lokalen Reinbereichen und der internen Umgebung der Prozessausrüstung unterschieden werden. Die Klimabox ist in der Regel für die Luftaufbereitung im vereinbarten Bereich verantwortlich. Nur weil ein bestimmter Prozess feuchtigkeitsempfindlich ist, können die besonderen Bedingungen innerhalb der Anlage nicht direkt als Luftversorgungsindex für die gesamte Werkstatt herangezogen werden.

Ordnen Sie Prozessanforderungen zu, um den Raum Element für Element zu steuern

Der Handwerker muss den sensiblen Prozess, den Expositionsort und die zulässigen Bedingungen erläutern und dann prüfen, ob sich das Produkt immer in einer kontrollierten Ausrüstung oder örtlichen Umgebung befindet. Wenn örtliche Geräte über eine eigene Trocknungs- oder Gasversorgung verfügen, müssen deren Verbindung mit der Fabrikluft und die Auswirkungen von Leckagen bestätigt werden. Auch die Messmethoden für Hintergrundumgebungen und Gerätehohlräume können unterschiedlich sein und die Messwerte können nicht gemischt werden.

Der Hintergrund der Fabrik sollte den Servicebereich, die Personalaktivitäten sowie die allgemeine Wärme- und Feuchtigkeitsbelastung umfassen; die örtliche Umgebung sollte Öffnungen, Übergänge, Schnittstellen und Luftaustausch mit der Fabrik umfassen; Das Innere der Ausrüstung sollte die unabhängigen Steuerungs- und Energieversorgungsbedingungen umfassen, die von der Prozessausrüstungsseite vorgegeben werden. Die drei Arten von Räumen entsprechen unterschiedlichen Verantwortlichen und können nicht einfach mit einer Luftfeuchtigkeitszahl versehen werden. Welche Kontrollziele sollten bei der Auswahl einer Klimaanlage mit konstanter Temperatur und Luftfeuchtigkeit geklärt werden? Bitte beachten SieWelche Kontrollziele sollten bei der Auswahl einer Klimaanlage mit konstanter Temperatur und Luftfeuchtigkeit geklärt werden?。

Die Hintergrundumgebung der Fabrik wird vom Klimakasten getragen

Die Luftfeuchtigkeit in der Hintergrundumgebung der Fabrik wird normalerweise durch eine Klimabox oder MAU geregelt, mit dem Ziel, den Komfort für das Personal aufrechtzuerhalten, allgemeine Kondensation zu verhindern und regionale Umweltanforderungen zu erfüllen. Der Feuchtigkeitskontrollbereich der Hintergrundumgebung ist im Allgemeinen groß, die Messpunkte sind in der Rückluft oder in repräsentativen Bereichen angeordnet und die Anforderungen an die Kontrollgenauigkeit sind geringer als die der internen Umgebung des Geräts.

Wie die Frischluftaufgaben der Reinraum-MAU mit der Prozessabluft korrespondieren, entnehmen Sie bitteWie korrespondiert die Frischluftaufgabe der Reinraum-MAU mit der Prozessabluft? . Umluftbehandlungsgeräte sollten basierend auf den Innenlasten ausgewählt werden, siehe bitteNach welchen Raumlasten sollte das Umluftgerät ausgewählt werden?。

Teilweise saubere Bereiche können empfindlicher auf Feuchtigkeit reagieren

Lokale Reinbereiche wie Transferbahnen, Pufferräume oder örtliche Schutzgehäuse können zusätzliche Anforderungen an die Luftfeuchtigkeit stellen. Diese Bereiche sind mit der Hintergrundumgebung der Fabrik verbunden und die Luftfeuchtigkeit wird sowohl von der Hintergrundluft als auch von der lokalen Luftzufuhr beeinflusst. Die örtliche Umgebung erfordert möglicherweise eine unabhängige Luftversorgung oder lokale Trocknung, die nicht allein durch die Hintergrundklimaanlage gesteuert werden kann.

Das Panel zeigt, wie die Klimabox in der Werkstatt großflächige Zuluftzonen bewältigt. Bitte beachten SieWie geht der Panel-Klimakasten in der Werkstatt mit großflächigen Zuluftzonen um? . Warum kann dennoch externes Gas eindringen, wenn die Druckdifferenz im Reinraum qualifiziert ist? Bitte beachten SieWenn die Druckdifferenz im Reinraum qualifiziert ist, warum kann dann immer noch externes Gas eindringen?。

Die interne Umgebung der Ausrüstung liegt normalerweise in der Verantwortung der Prozessausrüstungspartei

In der OLED-Prozessausrüstung können unabhängige Feuchtigkeitskontrollen, Trockengasversorgungen oder versiegelte Kammern vorhanden sein. Die Anforderungen an die Luftfeuchtigkeit im Inneren des Geräts sind in der Regel viel strenger als in der Werkseinstellung und liegen in der Verantwortung des Geräteeigentümers, sie umzusetzen und zu überprüfen. Der Zweck des Klimakastens besteht darin, Hintergrundluft bereitzustellen, die den Anforderungen des Geräteeinlasses entspricht, und nicht darin, die Feuchtigkeitskontrolle im Inneren des Geräts zu ersetzen.

Welche Vor-Ort-Daten sind für die chemische Filterung des Lufteinlasses von Lithographiegeräten erforderlich? Bitte beachten SieWelche Felddaten werden für die chemische Filterung des Lufteinlasses von Lithographiegeräten benötigt? . Wie die chemische Lufteinlassfiltration von EFEM den Sauberkeitsanforderungen der Geräte entspricht, erfahren Sie hierWie entspricht die chemische Lufteinlassfiltration von EFEM den Sauberkeitsanforderungen der Ausrüstung?。

Vermeiden Sie doppelte Aufgaben, bevor Sie Geräte konfigurieren

Tragen Sie jede Feuchtigkeitsanforderung in eine Verantwortungsmatrix ein und geben Sie an, welche Ausrüstung sie umsetzt und wo sie überprüft wird. Für Bedingungen, die über den Rahmen einer herkömmlichen Kühlung und Entfeuchtung hinausgehen, sollten der technische Weg und der Energiebedarf separat bewertet werden und es kann nicht direkt versprochen werden, dass gewöhnliche Klimakästen erreicht werden können. Die Aufteilung dient hier der Klärung von Anforderungen, spezifische Indikatoren werden weiterhin durch den tatsächlichen Prozess bestimmt.

Welche Schadstoffinformationen erforderlich sind, bevor die Klimaanlage mit einer chemischen Filterung ausgestattet wird, erfahren Sie hierWelche Schadstoffinformationen sind erforderlich, bevor die Klimaanlage mit einer chemischen Filterung ausgestattet wird? . Welche unveränderlichen Bedingungen für eine nicht standardmäßige Individualisierung zunächst festgelegt werden müssen, erfahren Sie hierWelche unveränderlichen Bedingungen sollten bei der nicht standardisierten Individualisierung von Klimakästen zunächst ermittelt werden?。

Der Messort und die Abnahmegrenzen müssen gesondert vereinbart werden.

Im Hintergrundumfeld, in örtlichen Bereichen und im Geräteinneren können unterschiedliche Messgeräte, Probenahmeorte und Auswertungszeiträume zum Einsatz kommen. Sie sollten bei der Abnahme separat getestet werden und die Daten von einem Raummesspunkt können nicht zur Darstellung der internen Umgebung der Ausrüstung verwendet werden. Für die interne Geräteabnahme ist der Gerätelieferant verantwortlich, die Abnahme des Klimakastens erfolgt entsprechend der vereinbarten Messpunkte.

Informationen zur Bestimmung der Installations- und Kalibrierungsanforderungen für Temperatur- und Feuchtigkeitssensoren von Klimaanlagenboxen finden Sie unterWie lassen sich die Installations- und Kalibrierungsanforderungen für Temperatur- und Feuchtigkeitssensoren von Klimaanlagenboxen ermitteln? . Was ist der Unterschied zwischen der Genauigkeit der Luftzufuhr und der Genauigkeit der Raumregelung? Bitte beachten SieWas ist der Unterschied zwischen der Genauigkeit der Luftzufuhr des Klimakastens und der Genauigkeit der Raumregelung?。

Aili industrielle unterstützende Ausrüstung

Aili Industrial kann die Luftaufbereitung und EFU sowie andere unterstützende Einrichtungen gemäß der klaren Arbeitsteilung zwischen Fabrikgebäude und Ausrüstung überprüfen. Bitte beachten Sie bei der Übermittlung von Projektinformationen die Grenzen der einzelnen Kontrollräume. Die industrielle Fertigung von Aili umfasst die unabhängige Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Motoren und Lüftern, Steuerungssystemen, Blechen, Luftfiltern und der kompletten Maschinenmontage. Klimaanlagenboxen, EFU- und Terminalfilterschnittstellen können im selben Paket kombiniert werden; Nicht standardmäßige Konfigurationen können je nach Hintergrundumgebung und lokalen Anforderungen angepasst werden.

Produktform kann eingesehen werdenLüftungsgerät undFanbox -Seite; Reinluftversorgungspaket kombinierbarFFU-Lüfterfiltereinheit undder EFU-Geräte-Endventilator-Filtereinheit ; Überprüfung Endpartikelfiltration kann kombiniert werdenBestätigung des HEPA/ULPA-Filters ; Wenn es um die Kontrolle gasförmiger Schadstoffe geht, können Sie separat kommunizierenChemische Filterlösungen . Der spezifische Feuchtigkeitskontrollbereich, die anwendbaren Bedingungen und der Lieferumfang müssen noch anhand der entsprechenden Konfigurationsdaten und Arbeitsbedingungen vor Ort überprüft werden. Der tatsächliche Effekt unterliegt den Debugging- und Leistungstestergebnissen vor Ort.

Projektparameter einreichen:https://ailigy.com/contactus.html

Verwandte Fragen und Antworten

Kann der interne Feuchtigkeitsbedarf von OLED-Geräten direkt als Luftzufuhrindikator für Klimaanlagenkästen verwendet werden?
kann nicht. Normalerweise gibt es im Gerät eine unabhängige Feuchtigkeitskontrolle. Der Klimakasten ist für die Hintergrundumgebung oder die Eingangsbedingungen der Geräte verantwortlich. Die Grenzen der beiden Zuständigkeiten sollten gesondert vereinbart werden.

Sind die Anforderungen an die Genauigkeit der Hintergrundluftfeuchtigkeitsregelung hoch?
Sie ist im Allgemeinen niedriger als die interne Umgebung der Ausrüstung, die Einzelheiten hängen jedoch immer noch von den Anforderungen des Prozessbereichs ab und sollten für jeden Bereich separat bestimmt werden.

Kann Aili Industrial dabei helfen, Grenzen für die Feuchtigkeitskontrolle festzulegen?
Die Aufteilung der Feuchteaufgaben kann anhand des Prozessbereichs, der Geräteschnittstelle und des Serviceumfangs der Klimaanlagenbox überprüft werden. Der konkrete Plan muss anhand der Projektbedingungen bestätigt werden.

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