Anzahl der Aufrufe: 6732 Autor: Aili Industry Veröffentlichungszeit: 10.11.2027 Quelle: Ai Li Industrial
Selbst wenn die Druckdifferenz im Reinraum qualifiziert ist, kann dennoch Außenluft eindringen, da die Frischluft selbst molekulare Verunreinigungen transportieren kann und auch das Öffnen der Tür und der dynamische Luftstrom zu einem Eintrag führen können. Der Differenzdruck steuert den Luftstrom und kann die Gasverarbeitung und -erkennung nicht ersetzen. Der Differenzdruckmesser kontrolliert nur „wohin der Wind weht“, nicht aber „was der Wind trägt“.
Die Funktion des Überdrucks im Reinraum besteht darin, dass Luft durch Türspalten und Spalten nach außen strömen kann, um das Eindringen von Außenluft zu reduzieren. Überdruck kann jedoch nicht verhindern, dass das Frischluftsystem aktiv Außenluft zuführt. Wenn Frischluft durch den Klimakasten in den Reinraum gelangt, der Gasphasenfilterabschnitt unzureichend konfiguriert ist oder die Medien nicht übereinstimmen, gelangen externe saure Gase, organische Emissionen oder Gase aus nahegelegenen Schadstoffquellen mit der Frischluft in den Raum. Eine qualifizierte Druckdifferenz zeigt an, dass die Strömungsrichtung korrekt ist, bedeutet jedoch nicht, dass die Zusammensetzung der einströmenden Luft den Prozessanforderungen entspricht. Diese beiden Dinge werden durch die Luftstromorganisation bzw. die Filterkonfiguration erledigt.
Reinräume müssen kontinuierlich mit Frischluft versorgt werden, die direkt von außen oder in der Nähe des Lufteinlasses kommt. Befindet sich der Lufteinlass in der Nähe von Verkehrsadern, industriellen Emissionsquellen oder Gebäudeabgasen, kann die molekulare Schadstoffbelastung in der Frischluft höher sein. Partikelfilter können Aerosolpartikel abfangen, haben jedoch nur eine begrenzte Wirkung auf Gasmoleküle und erfordern eine chemische Behandlung des Filterabschnitts. Ob die Konfiguration der chemischen Frischluftfiltration die wichtigsten lokalen Gasobjekte abdeckt, bestimmt, ob das externe Gas effektiv reduziert werden kann. Konfigurationsideen für den Bereich Frischluftfilter finden Sie unterMuss der chemische Filterabschnitt neu ausgewählt werden, wenn sich die Frischluftmenge saisonal ändert?。
Die qualifizierte Druckdifferenz bezieht sich normalerweise auf die durchschnittliche Druckdifferenz im stationären Zustand. Im Moment des Öffnens der Tür und bei Schwankungen der Abluft kann es zu einem Abfall oder sogar einer Umkehrung der örtlichen Druckdifferenz kommen. Durch das Ein- und Aussteigen von Personal, den Materialtransfer sowie das Starten und Stoppen der Absauganlage kann in kurzer Zeit Außenluft eindringen. Solche Einträge sind nicht unbedingt in Differenzdruckaufzeichnungen erkennbar, können aber in kritischen Bereichen zu kurzfristigen Konzentrationsspitzen führen. Befindet sich der kritische Bereich in der Nähe des Türbereichs oder der Transferöffnung, sollte die Auswirkung des dynamischen Inputs anhand der Türöffnungsaufzeichnung und der Konzentrationsdauer ermittelt werden. Inspektionsideen zu den dynamischen Arbeitsbedingungen im Türbereich finden Sie unterWerden mehr Menschen, die ein- und ausgehen, Auswirkungen auf die Kontrolle der Gasverschmutzung haben?。
Wenn sich in der Nähe des Reinraums Reinigungs-, Beschichtungs- oder andere Freisetzungsquellen befinden, kann Luft aus angrenzenden Bereichen dennoch durch Lücken, Kanäle oder gemeinsame Rückluft eindringen, selbst wenn im gesamten Raum ein Überdruck herrscht. Diese Art der Eingabe erfolgt nicht unbedingt über das Frischluftsystem und wird vom Differenzdruckmesser möglicherweise nicht angezeigt. Bei der Untersuchung sollten die Konzentrations- und zeitlichen Veränderungen im Raum und angrenzenden Bereichen verglichen werden, um festzustellen, ob eine bereichsübergreifende Übertragung vorliegt. Wenn zonenübergreifende Pfade offensichtlich sind, ist die Verbesserung der Aufteilung, der Druckgradienten oder der lokalen Absaugung möglicherweise einfacher als die Verbesserung der Raumfiltration.
Bei Projekten mit qualifizierter Druckdifferenz, aber eindringender Außenluft empfehlen wir in der Regel, dass Kunden die drei Frischluftwege, den Türbereich und den angrenzenden Bereich separat prüfen und dann bestimmen, welcher Abschnitt vom Filterabschnitt abgedeckt werden soll. Aili Industry kann Auswahlpakete für chemische Filterprodukte vom Kasten-, Flachplatten- und V-Typ anbieten. Informationen zu kastenförmigen MAU-Paketen finden Sie unterMAU chemischer Kastenfilter , Produktserien können besichtigt werdenProduktpalette chemischer Filter . Die V-förmige Struktur bietet eine größere Filterfläche im gleichen Kastenraum, was dazu beiträgt, die Oberflächengeschwindigkeit und den Widerstand zu kontrollieren, wenn sich das Frischluftvolumen ändert. Geräteseitige Anwendungen können verwendet werdenChemischer Filter Typ FFU, integrierte chemische Adsorptionsschicht mitHEPA/ULPA-Filter, Partikelfiltration, Zirkulationsabschnitt oder lokale Schutzposition können entsprechend der tatsächlichen Luftstromorganisation konfiguriert werden. Der Fertigungsbereich umfasst die unabhängige Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Motoren und Lüftern, Steuerungssystemen, Blechen und der kompletten Maschinenmontage. Der Frischluftweg, die Druckdifferenz im Türbereich und die Position des Filterabschnitts können im selben Paket überprüft werden, und nicht standardmäßige Luftwege können entsprechend den Bedingungen vor Ort angepasst werden. Der spezifische Gaseffekt, die anwendbare Umgebung und der Austauschzyklus müssen noch anhand der entsprechenden Konfigurationsdaten und Arbeitsbedingungen vor Ort überprüft werden. Die tatsächlichen Ergebnisse unterliegen der Leckerkennung und den Gaserkennungsergebnissen vor Ort.
Wenn die Druckdifferenz qualifiziert ist, muss ich dann trotzdem das externe Gas messen?
Zum Testen empfohlen. Der Differenzdruck spiegelt die Strömungsrichtung wider, nicht die Zusammensetzung. Frischluft kann molekulare Schadstoffe transportieren, und dynamische Arbeitsbedingungen im Türbereich können ebenfalls zu kurzzeitigen Einträgen führen, die anhand der Zielgasdetektion beurteilt werden sollten.
Frische Luft hat einen Partikelfilter. Warum braucht sie eine chemische Filterung?
Partikelfilter fangen Aerosolpartikel ab und haben eine begrenzte Wirkung auf Gasmoleküle. Saure Gase, organische Dämpfe usw. müssen durch chemische Filterabschnitte verarbeitet werden, und die Aufgaben der beiden sind unterschiedlich.
Kann Aili Industrial bei der Überprüfung der externen Gaszufuhr zum Reinraum helfen?
Es kann dabei helfen, den Eingangspfad und die Filterkonfiguration basierend auf dem Frischluftpfad, den Bedingungen im Türbereich und den Bedingungen im angrenzenden Bereich zu bestimmen. Der konkrete Plan muss anhand der Produktdaten und der Arbeitsbedingungen vor Ort bestätigt werden.
Wie kann man unterscheiden, ob die Verschmutzung in der Werkstatt von außen oder von innen kommt?
Der Innenraumgeruch unterscheidet sich vom Frischlufteintrittsgeruch. Wie soll ich nachforschen?
Wie soll verhindert werden, dass gasförmige Verunreinigungen in den Wafertransferbereich gelangen?
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