たとえクリーンルームの圧力差が適切であっても、新鮮な空気自体が分子汚染を運ぶ可能性があり、ドアの開閉や動的な空気の流れも侵入の原因となる可能性があるため、外気が依然として侵入する可能性があります。 差圧は空気の流れを管理しますが、ガスの処理と検出に代わるものではありません。差圧計は「風がどこに吹くか」を制御するだけで、「風が何を運ぶか」を制御するわけではありません。

圧力差は、組成ではなく流れの方向を制御します。

クリーンルーム内の陽圧の役割は、ドアの隙間や隙間から空気を外部に流し、外気の侵入を減らすことです。しかし、正圧は外気システムが積極的に外気を取り込むのを防ぐことはできません。 新鮮な空気が空調ボックスを通ってクリーンルームに入るとき、気相フィルターセクションの構成が不十分であるか、媒体が対応していない場合、外部の酸性ガス、有機性排出物、または近くの汚染源からのガスが新鮮な空気と一緒に室内に入ります。適切な圧力差は、流れの方向が正しいことを示しますが、流入する空気の組成がプロセス要件を満たしていることを示すものではありません。これら 2 つのことは、それぞれエアフロー構成と濾過構成によって処理されます。

新鮮な空気は外気の主な入力チャネルです

クリーンルームには、屋外または吸気口付近から直接新鮮な空気を継続的に補充する必要があります。 吸気口が交通幹線、産業排出源、または建物の排気口に近い場合、外気中の分子汚染負荷が高くなる可能性があります。粒子フィルターはエアロゾル粒子を遮断できますが、ガス分子に対する影響は限られており、化学濾過セクションの処理が必要です。外気の化学濾過構成が主要な局所ガス対象物をカバーしているかどうかによって、外部ガスを効果的に削減できるかどうかが決まります。外気フィルターセクションの構成アイデアについては、を参照してください。季節によって外気量が変化した場合、ケミカルフィルター部の再選定は必要ですか？。

ドアの開放や動的な動作条件により、短期間の入力が発生します。

認定圧力差は通常、定常状態での平均圧力差を指します。ドアが開いた瞬間や排気が変動すると、局所的な圧力差が低下したり、逆転したりすることがあります。 人の出入りや資材の移送、排気設備の起動・停止などにより、短時間に外気が侵入する可能性があります。このような入力は、差圧記録には必ずしも明らかではありませんが、重要な領域で短期間の濃度ピークを引き起こす可能性があります。クリティカルエリアがドアエリアまたは搬送ポートに近い場合、動的入力の影響はドアの開閉記録と集中期間に基づいて判断する必要があります。ドア領域の動的作動条件に関する検査のアイデアについては、以下を参照してください。人の出入りが増えるとガス汚染防止に影響が出るのでしょうか？。

隣接するエリアも入力ソースになる可能性があります

クリーンルームの周囲に洗浄、コーティング、またはその他の放出源がある場合、部屋全体が正圧を維持している場合でも、隣接するエリアからの空気が隙間、ダクト、または共有の戻り空気を通って侵入する可能性があります。 このタイプの入力は必ずしも外気システムを通過するとは限らず、差圧計がそれを反映しない場合があります。調査中は、室内と隣接するエリアの濃度と時間変化を比較して、エリアを越えた感染があるかどうかを確認する必要があります。クロスゾーン経路が明らかな場合は、部屋の濾過を増やすよりも、分割、圧力勾配、または局所排気を改善する方が簡単な場合があります。

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適切な圧力差があるが外部空気が流入するプロジェクトの場合、通常、外気の 3 つの経路、ドア領域、隣接領域を個別に確認し、どのセクションをフィルター セクションでカバーするかを決定することをお勧めします。アイリ工業では、ボックスタイプ、平板タイプ、Vタイプの化学ろ過製品の選択パッケージを提供できます。ボックスタイプのMAUパッケージについては、こちらをご覧ください。MAUボックス型ケミカルフィルター、製品シリーズをご覧いただけますケミカルフィルターの製品ラインナップ。 V 字型構造により、同じボックス スペース内でより大きな濾過面積が得られ、外気の量が変化したときの表面速度と抵抗の制御に役立ちます。デバイス側アプリケーションが使用できるのは、ケミカルフィルターFFU形状、化学吸着層と一体化HEPA/ULPAフィルター粒子濾過、循環セクションまたは局所保護位置は、実際の空気の流れ構成に応じて構成できます。製造エンドは、モーターとファン、制御システム、板金、完全な機械アセンブリの独立した研究開発と生産をカバーします。外気経路、ドア付近の差圧、フィルタ部の位置を同一パッケージで確認でき、標準以外の空気経路も現場の状況に合わせて調整できます。特定のガスの影響、適用環境、交換サイクルは、対応する構成データと現場の作業条件に基づいて検証する必要があります。実際の結果は、現場での漏れ検知およびガス検知の結果に左右されます。

関連する質問と回答

圧力差が認定されている場合でも、外部ガスを測定する必要がありますか?
テストすることをお勧めします。差圧は流れの方向を反映し、組成ではありません。新鮮な空気は分子汚染を運ぶ可能性があり、ドアエリアの動的な作業条件も短期間の入力を引き起こす可能性があります。これは対象ガスの検出に基づいて判断する必要があります。

新鮮な空気には粒子フィルターが付いていますが、なぜ化学濾過が必要なのでしょうか?
粒子フィルターはエアロゾル粒子を捕捉し、ガス分子に対する影響を限定します。酸性ガスや有機蒸気などは化学濾過セクションで処理する必要があり、両者の役割は異なります。

Aili Industrial は、クリーン ルームへの外部ガス入力のチェックを支援できますか?
これは、外気の経路、ドア領域の状態、隣接領域の状態に基づいて入力経路とフィルタリング構成を決定するのに役立ちます。具体的な計画は製品データと現場の作業条件に基づいて確認する必要があります。

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