Ngay cả khi chênh lệch áp suất trong phòng sạch đủ tiêu chuẩn, không khí bên ngoài vẫn có thể lọt vào, vì bản thân không khí trong lành có thể mang theo ô nhiễm phân tử, đồng thời việc mở cửa và luồng không khí động cũng có thể gây ra luồng khí vào. Áp suất chênh lệch quản lý luồng không khí và không thể thay thế việc xử lý và phát hiện khí. Đồng hồ đo chênh lệch áp suất chỉ kiểm soát 'nơi gió thổi' chứ không kiểm soát 'gió mang theo những gì'.

Sự chênh lệch áp suất kiểm soát hướng dòng chảy chứ không phải thành phần.

Chức năng của áp suất dương trong phòng sạch là cho không khí lưu thông ra ngoài qua các vết nứt, khe hở trên cửa nhằm giảm sự xâm nhập của không khí bên ngoài. Nhưng áp suất dương không thể ngăn hệ thống không khí trong lành chủ động đưa không khí bên ngoài vào. Khi không khí trong lành đi vào phòng sạch qua hộp điều hòa, nếu phần lọc pha khí không được cấu hình đầy đủ hoặc môi trường không tương ứng, các khí axit bên ngoài, khí thải hữu cơ hoặc khí từ các nguồn ô nhiễm gần đó sẽ đi vào phòng với không khí trong lành. Chênh lệch áp suất đủ tiêu chuẩn cho thấy hướng dòng chảy là chính xác, nhưng không cho thấy thành phần của không khí đi vào đã đáp ứng các yêu cầu của quy trình. Hai điều này lần lượt được đảm nhiệm bởi tổ chức luồng không khí và cấu hình lọc.

Không khí trong lành là kênh đầu vào chính cho không khí bên ngoài

Phòng sạch cần liên tục bổ sung không khí trong lành, lấy trực tiếp từ ngoài trời hoặc gần cửa hút gió. Nếu nơi hút gió gần các trục giao thông huyết mạch, nguồn phát thải công nghiệp hoặc cửa xả khí thải của tòa nhà thì tải lượng ô nhiễm phân tử trong không khí trong lành có thể cao hơn. Bộ lọc hạt có thể chặn các hạt khí dung, nhưng có tác dụng hạn chế đối với các phân tử khí và cần xử lý phần lọc hóa học. Liệu cấu hình lọc hóa học không khí trong lành có bao phủ các đối tượng khí chính tại địa phương hay không sẽ quyết định liệu khí bên ngoài có thể được giảm thiểu một cách hiệu quả hay không. Để biết ý tưởng cấu hình của phần bộ lọc không khí trong lành, vui lòng tham khảoPhần lọc hóa chất có cần phải chọn lại khi lượng không khí trong lành thay đổi theo mùa không?。

Việc mở cửa và các điều kiện vận hành động sẽ gây ra hiện tượng đầu vào ngắn hạn

Chênh lệch áp suất đủ tiêu chuẩn thường đề cập đến chênh lệch áp suất trung bình ở trạng thái ổn định. Tại thời điểm mở cửa và khi khí thải dao động, chênh lệch áp suất cục bộ có thể giảm xuống hoặc thậm chí đảo ngược. Nhân viên ra vào, vận chuyển vật liệu, khởi động và dừng thiết bị xả có thể cho phép không khí bên ngoài đi vào trong một khoảng thời gian ngắn. Những đầu vào như vậy không nhất thiết phải rõ ràng trong hồ sơ chênh lệch áp suất nhưng có thể tạo ra các đỉnh tập trung ngắn hạn ở các khu vực quan trọng. Nếu khu vực quan trọng gần khu vực cửa hoặc cổng chuyển, tác động của đầu vào động phải được xác định dựa trên hồ sơ mở cửa và khoảng thời gian tập trung. Để biết các ý tưởng kiểm tra về điều kiện làm việc năng động của khu vực cửa, vui lòng tham khảoLiệu nhiều người ra vào có ảnh hưởng đến việc kiểm soát ô nhiễm khí?。

Các khu vực lân cận cũng có thể là nguồn đầu vào

Nếu có các nguồn làm sạch, phủ hoặc các nguồn thải khác xung quanh phòng sạch, không khí từ các khu vực lân cận vẫn có thể xâm nhập qua các khoảng trống, ống dẫn hoặc không khí hồi lưu chung, ngay cả khi toàn bộ phòng duy trì áp suất dương. Loại đầu vào này không nhất thiết phải đi qua hệ thống không khí trong lành và đồng hồ đo chênh lệch áp suất có thể không phản ánh nó. Trong quá trình điều tra, nên so sánh sự thay đổi nồng độ và khoảng thời gian trong phòng và các khu vực lân cận để xác nhận xem có sự lây truyền xuyên khu vực hay không. Nếu các đường dẫn xuyên vùng rõ ràng thì việc cải thiện khả năng phân vùng, độ dốc áp suất hoặc khí thải cục bộ có thể đơn giản hơn việc tăng cường lọc phòng.

Thiết bị hỗ trợ công nghiệp Aili

Đối với các dự án có chênh lệch áp suất đủ tiêu chuẩn nhưng không khí bên ngoài lọt vào, chúng tôi thường khuyên khách hàng nên kiểm tra riêng ba đường dẫn khí trong lành, khu vực cửa và khu vực lân cận, sau đó xác định phần nào sẽ được che bởi phần bộ lọc. Aili Industry có thể cung cấp các gói lựa chọn cho các sản phẩm lọc hóa học loại hộp, tấm phẳng và loại V. Đối với các gói MAU dạng hộp, vui lòng tham khảoBộ lọc hóa học loại hộp MAU , dòng sản phẩm có thể được xemDòng sản lọc hóa học phẩm Cấu trúc hình chữ V cung cấp diện tích lọc lớn hơn trong cùng một không gian hộp, giúp kiểm soát tốc độ và lực cản bề mặt khi lượng không khí trong lành thay đổi. Các ứng dụng phía thiết bị có thể sử dụngBộ lọc hóa học FFU , tích hợp lớp hấp phụ hóa học vớiloại Quá trình lọc hạt của bộ lọc HEPA/ULPA , phần tuần hoàn hoặc vị trí bảo vệ cục bộ có thể được cấu hình theo tổ chức luồng không khí thực tế. Giai đoạn sản xuất bao gồm nghiên cứu, phát triển và sản xuất độc lập động cơ và quạt, hệ thống điều khiển, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Có thể kiểm tra đường dẫn khí trong lành, chênh lệch áp suất khu vực cửa và vị trí phần bộ lọc trong cùng một gói và đường dẫn khí không chuẩn có thể được điều chỉnh theo điều kiện tại chỗ. Hiệu ứng khí cụ thể, môi trường áp dụng và chu trình thay thế vẫn cần được xác minh dựa trên dữ liệu cấu hình tương ứng và điều kiện làm việc tại chỗ. Kết quả thực tế tùy thuộc vào kết quả phát hiện rò rỉ và phát hiện khí tại chỗ.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Nếu chênh lệch áp suất đủ tiêu chuẩn, tôi có cần đo khí bên ngoài nữa không?
Đề nghị thử nghiệm. Áp suất chênh lệch phản ánh hướng dòng chảy, không phải thành phần. Không khí trong lành có thể gây ô nhiễm phân tử và điều kiện làm việc năng động ở khu vực cửa cũng có thể gây ra tác động ngắn hạn, điều này cần được đánh giá dựa trên khả năng phát hiện khí mục tiêu.

Không khí trong lành có bộ lọc hạt, tại sao lại cần lọc hóa học?
Bộ lọc hạt chặn các hạt khí dung và có tác dụng hạn chế đối với các phân tử khí. Khí axit, hơi hữu cơ, v.v. cần được xử lý bằng các bộ phận lọc hóa học và nhiệm vụ của cả hai là khác nhau.

Aili Industrial có thể giúp kiểm tra khí đầu vào từ bên ngoài vào phòng sạch không?
Nó có thể giúp xác định đường dẫn đầu vào và cấu hình lọc dựa trên đường dẫn không khí trong lành, điều kiện khu vực cửa và điều kiện khu vực lân cận. Kế hoạch cụ thể cần được xác nhận dựa trên dữ liệu sản phẩm và điều kiện làm việc tại chỗ.

Bài viết liên quan

• Làm thế nào để phân biệt ô nhiễm nhà xưởng đến từ bên ngoài hay bên trong?

• Mùi trong nhà khác với mùi không khí trong lành. Tôi nên điều tra như thế nào?

• Liệu nhiều người ra vào có ảnh hưởng đến việc kiểm soát ô nhiễm khí?

• Làm thế nào để ngăn chặn ô nhiễm khí xâm nhập vào khu vực chuyển wafer?

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận