OLED生産環境における空調ボックスの湿度タスクとプロセス装置の湿度タスクを区別するにはどうすればよいですか?

OLED 製造の湿度要件は、工場の背景空気、局所的な清浄エリア、およびプロセス装置の内部環境を区別する必要があります。通常、空調ボックスは、合意された範囲内で空気処理を担当します。特定のプロセスが湿気に敏感であるからといって、装置内の特殊な条件をそのまま作業場全体の給気指標として使用することはできません。

スペースを項目ごとに制御するためのプロセス要件をマップする

職人は、デリケートなプロセス、暴露場所、許可された条件について説明し、製品が常に管理された装置またはローカル環境にあるかどうかを確認します。現地設備に専用の乾燥またはガス供給がある場合、工場空気との接続および漏れの影響を確認する必要があります。バックグラウンド環境と装置キャビティの測定方法も異なる場合があり、測定値を混合することはできません。

工場の背景には、サービスエリア、従業員の活動、一般的な熱と湿気の負荷が含まれる必要があります。現地環境には、工場との開口部、移送、インターフェース、および空気交換が含まれる必要があります。装置内部には、プロセス装置側が指定する独立制御およびエネルギー供給条件が含まれている必要があります。 3 種類の空間は異なる責任主体に対応しており、単に湿度の数値を与えることはできません。恒温恒湿空調ボックスを選択する際に、どのような制御目標を明確にする必要がありますか?を参照してください。恒温恒湿空調ボックスを選択する際に、どのような制御目標を明確にする必要がありますか?。

工場の背景環境は空調ボックスが担っています

工場の背景環境の湿度は通常、従業員の快適性を維持し、一般的な結露を防ぎ、地域の環境要件を満たすことを目的として、空調ボックスまたは MAU によって処理されます。背景環境の湿度制御範囲は一般に広く、測定点は還気または代表領域に配置され、制御精度の要件は装置の内部環境の湿度制御よりも低くなります。

クリーンルームMAUの外気タスクがプロセス排気にどのように対応するかについては、を参照してください。クリーンルームMAUの外気タスクはプロセス排気にどのように対応しますか? 。循環空気処理ユニットは室内負荷に基づいて選択する必要があります。を参照してください。室内負荷を考慮して循環空気処理ユニットを選択する必要がありますか?。

部分的にきれいなエリアは湿気に敏感になる可能性があります

搬送レーン、バッファールーム、またはローカルの保護囲いなどのローカルのクリーンエリアには、湿度に関する追加の要件がある場合があります。これらのエリアは工場のバックグラウンド環境に接続されており、湿度はバックグラウンド空気とローカル給気の両方の影響を受けます。局所的な環境では、独立した空気供給や局所的な乾燥が必要な場合がありますが、背景の空調ボックスだけでは制御できません。

このパネルは、ワークショップの空調ボックスが大面積の給気ゾーンにどのように対応しているかを示しています。を参照してください。作業場のパネル展示空調ボックスは、大面積の給気ゾーンにどのように対応していますか? 。クリーンルームの圧力差が適切であるにもかかわらず、外部ガスが侵入する可能性があるのはなぜですか?を参照してください。クリーンルームの圧力差が認定されているのに、なぜ外部ガスが侵入する可能性があるのでしょうか?。

装置の内部環境は通常、プロセス装置側の責任です。

OLED プロセス装置内には、独立した湿度制御、乾燥ガス供給、または密閉チャンバーが存在する場合があります。装置内の湿度要件は通常、工場出荷時の設定よりもはるかに厳しく、実装および検証するのは装置所有者の責任です。空調ボックスの目的は、装置の吸気要件を満たす背景空気を提供することであり、装置内の湿度制御を置き換えることではありません。

リソグラフィー装置の吸気口の化学ろ過にはどのような現場データが必要ですか?を参照してください。リソグラフィー装置の空気入口の化学ろ過にはどのようなフィールド データが必要ですか? 。 EFEM 空気入口の化学ろ過が装置の清浄度要件にどのように対応するかについては、を参照してください。EFEM 空気入口の化学ろ過は、機器の清浄度要件にどのように対応していますか?。

機器を設定する前にタスクの重複を避ける

各湿度要件を責任マトリックスに書き込み、どの機器セットがそれを実装し、どこで検査されるかを示します。従来の冷却と除湿の範囲を超える条件については、技術的ルートとエネルギー要件を個別に評価する必要があり、通常の空調ボックスで実現できることを直接約束することはできません。ここでの区分は要件を明確にするために使用されており、具体的な指標は実際のプロセスによって決定されます。

化学濾過を備えた空調ボックスを構成する前に必要な汚染物質情報を参照してください。エアコンボックスに化学濾過を装備する前に、どのような汚染物質情報が必要ですか? 。標準以外のカスタマイズの場合、最初に変更できない条件を決定する必要があります。を参照してください。空調ボックスの非標準カスタマイズで最初に決定すべき不変の条件は何ですか?。

測定場所と許容範囲は個別に合意する必要があります。

バックグラウンド環境、ローカルエリア、装置内部では、異なる測定機器、サンプリング場所、評価期間が使用される場合があります。これらは受け入れ時に個別にテストする必要があり、1 つの部屋の測定点からのデータを使用して機器の内部環境を表すことはできません。機器関係者は機器の内部受け入れに責任を負い、空調ボックスの受け入れは合意された測定点に従って実行されます。

エアコンボックスの温度および湿度センサーの設置および校正要件を決定する方法については、を参照してください。空調ボックスの温度センサーと湿度センサーの設置要件と校正要件を決定するにはどうすればよいですか? 。給気精度と室内制御精度の違いは何ですか？を参照してください。空調ボックスの給気精度と室内制御精度の違いは何ですか？。

Aili産業支援装置

Aili Industrial は、工場建物と設備の間の明確な分業に従って、空気処理、EFU、およびその他の補助設備をチェックできます。プロジェクト情報を提出する際は、各管理スペースの境界を守ってください。 Aili の工業製造部門は、モーターとファン、制御システム、板金、エアフィルター、完全な機械組み立ての独立した研究開発と生産をカバーしています。空調ボックス、EFU、ターミナル フィルター インターフェイスを同じパッケージ内で適合させることができます。非標準構成は、バックグラウンド環境やローカルエリアの要件に応じて調整できます。

製品の形状がご覧になれますエアハンドリングユニットとファンボックスページ;クリーンエア供給パッケージを組み合わせ可能FFUファンフィルターユニットとEFU 機器側のファン フィルター ユニットの検証。末端粒子濾過を組み合わせることができますHEPA/ULPAフィルターの確認。ガス汚染防止に関しては、個別にコミュニケーションすることができますケミカルフィルターソリューション。具体的な湿度制御範囲、適用条件、納入範囲は、対応する構成データと現場の作業条件に基づいて検証する必要があります。実際の効果は、オンサイトのデバッグとパフォーマンス テストの結果によって異なります。

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関連する質問と回答

OLED 機器の内部湿度要件を、空調ボックスの給気インジケーターとして直接使用できますか?
できません。通常、装置内には独立した湿度制御装置があります。空調ボックスは、背景環境または機器の入口条件を担当します。 2 つの責任の境界は個別に合意される必要があります。

バックグラウンド環境の湿度制御の精度要件は高いですか?
一般に、装置の内部環境よりも低くなりますが、詳細はプロセス領域の要件に依存するため、領域ごとに個別に決定する必要があります。

Aili Industrial は湿度管理の境界線を明確にするのに役立ちますか?
プロセスエリア、装置インターフェース、空調ボックスのサービス範囲に基づいて湿度タスクの区分を確認できます。具体的な計画はプロジェクトの状況に応じて確認する必要があります。

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