OLED 생산 환경에서 에어컨 박스의 습도 작업과 공정 장비의 습도 작업을 어떻게 구별할 수 있나요?

OLED 생산을 위한 습도 요구 사항은 공장 배경 공기, 국소 청정 구역 및 공정 장비의 내부 환경을 구별해야 합니다. 에어컨 박스는 일반적으로 합의된 범위 내에서 공기 처리를 담당합니다. 특정 공정이 습기에 민감하기 때문에 장비 내부의 특수한 조건을 전체 작업장의 공기 공급 지수로 직접 사용할 수는 없습니다.

항목별로 공간 항목을 제어하기 위한 프로세스 요구사항 매핑

장인은 민감한 공정, 노출 위치 및 허용 조건을 설명한 후 제품이 항상 통제된 장비 또는 현지 환경에 있는지 확인해야 합니다. 현지 장비에 전용 건조 또는 가스 공급 장치가 있는 경우 공장 공기와의 연결 및 누출 영향을 확인해야 합니다. 배경 환경과 장비 구멍에 대한 측정 방법도 다를 수 있으며 판독값이 혼합될 수 없습니다.

공장의 배경에는 서비스 지역, 인력 활동, 일반적인 열 및 습기 부하가 포함되어야 합니다. 지역 환경에는 개방, 이동, 인터페이스 및 공장과의 공기 교환이 포함되어야 합니다. 장비 내부에는 공정 장비 측에서 지정한 독립적인 제어 및 에너지 공급 조건이 포함되어야 합니다. 세 가지 유형의 공간은 서로 다른 책임 주체에 해당하며 습도 수치만 부여할 수는 없습니다. 항온항습 공조 상자를 선택할 때 어떤 제어 목표를 명확히 해야 합니까? 참고하세요항온항습 공조 상자를 선택할 때 어떤 제어 목표를 명확히 해야 합니까?。

공장의 배경 환경은 에어컨 박스에 의해 부담됩니다

공장 배경 환경의 습도는 일반적으로 직원의 편안함을 유지하고 일반적인 결로를 방지하며 지역 환경 요구 사항을 충족시키는 것을 목표로 에어컨 박스 또는 MAU에 의해 처리됩니다. 배경 환경의 습도 제어 범위는 일반적으로 더 넓고 측정 지점은 환기 또는 대표 영역에 배열되며 제어 정확도 요구 사항은 장비 내부 환경의 요구 사항보다 낮습니다.

클린룸 MAU의 신선한 공기 작업이 공정 배기 공기에 어떻게 대응되는지는 다음을 참조하십시오.클린룸 MAU의 신선한 공기 작업은 공정 배기 공기와 어떻게 일치합니까? . 순환 공기조화기는 실내 부하에 따라 선택해야 합니다.순환공기조화기는 어떤 실내 부하를 기준으로 선택해야 합니까?。

부분적으로 깨끗한 지역은 습기에 더 민감할 수 있습니다.

환승 차선, 완충실 또는 지역 보호 인클로저와 같은 지역 청정 구역에는 습도에 대한 추가 요구 사항이 있을 수 있습니다. 이 영역은 공장의 배경 환경과 연결되어 있으며 습도는 배경 공기와 국지적 공기 공급에 의해 영향을 받습니다. 지역 환경에는 독립적인 공기 공급이나 지역 건조가 필요할 수 있으며 이는 배경 에어컨 박스만으로는 제어할 수 없습니다.

패널은 작업장의 에어컨 박스가 넓은 공기 공급 구역에 어떻게 대처하는지 보여줍니다. 참고하세요작업장의 패널 디스플레이 에어컨 박스는 넓은 면적의 공기 공급 구역을 어떻게 처리합니까? . 클린룸 압력차가 적합하더라도 외부 가스가 계속 유입될 수 있는 이유는 무엇입니까? 참고하세요클린룸 압력차가 인정되는 경우 왜 외부 가스가 여전히 유입될 수 있습니까?。

장비의 내부 환경은 일반적으로 공정 장비 당사자의 책임입니다.

OLED 공정 장비 내부에는 독립적인 습도 조절 장치, 건조 가스 공급 장치 또는 밀봉된 챔버가 있을 수 있습니다. 장비 내부의 습도 요구 사항은 일반적으로 공장 설정보다 훨씬 엄격하며 이를 구현하고 검증하는 것은 장비 소유자의 책임입니다. 공조 상자의 목적은 장비 내부의 습도 조절 장치를 교체하는 것이 아니라 장비 입구 요구 사항을 충족하는 배경 공기를 제공하는 것입니다.

리소그래피 장비 공기 흡입구의 화학적 여과에 필요한 현장 데이터는 무엇입니까? 참고하세요노광 장비 공기 흡입구의 화학적 여과를 위해 어떤 현장 데이터가 필요합니까? . EFEM 공기 흡입구 화학 여과가 장비 청결 요구 사항에 어떻게 부합하는지 알아보려면 다음을 참조하세요.EFEM 공기 유입 화학 여과는 장비 청결 요구 사항에 어떻게 부합합니까?。

장비 구성 전 중복 작업 방지

각 습도 요구 사항을 책임 매트릭스에 기록하여 이를 구현하는 장비 세트와 검사 위치를 나타냅니다. 기존의 냉방 및 제습 범위를 넘어서는 조건에 대해서는 기술적 경로와 에너지 요구 사항을 별도로 평가해야 하며 일반 에어컨 박스를 달성할 수 있다고 직접적으로 약속할 수는 없습니다. 여기서 구분은 요구 사항을 명확히 하는 데 사용되며, 구체적인 지표는 여전히 실제 프로세스에 의해 결정됩니다.

에어컨 박스에 화학 여과 장치를 장착하기 전에 필요한 오염 물질 정보는 무엇입니까?를 참조하십시오.에어컨 박스에 화학 여과 장치를 장착하려면 어떤 오염 물질 정보가 필요합니까? . 비표준 맞춤화를 위해 먼저 결정해야 할 변경 불가능한 조건은 무엇입니까?에어컨 박스의 비표준 맞춤화를 위해 먼저 어떤 변경 불가능한 조건을 결정해야 합니까?。

측정 위치와 허용 경계는 별도로 합의해야 합니다.

배경 환경, 지역 및 장비 내부에 따라 다양한 측정 장비, 샘플링 위치 및 평가 기간이 사용될 수 있습니다. 승인 시 별도로 테스트해야 하며, 한 방 측정 지점의 데이터를 사용하여 장비의 내부 환경을 나타낼 수는 없습니다. 장비 당사자는 장비의 내부 인수를 담당하며 에어컨 상자의 인수는 합의된 측정 지점에 따라 수행됩니다.

에어컨 박스 온도 및 습도 센서의 설치 및 교정 요구 사항을 결정하는 방법은 다음을 참조하십시오.에어컨 박스 온도 및 습도 센서의 설치 및 교정 요구 사항을 결정하는 방법은 무엇입니까? . 급기 정확도와 실내 제어 정확도의 차이점은 무엇입니까? 참고하세요에어컨 박스의 급기 정확도와 실내 제어 정확도의 차이점은 무엇입니까?。

Aili 산업 지원 장비

Aili Industrial은 공장 건물과 장비 간의 명확한 분업에 따라 공기 처리 및 EFU 및 기타 지원 시설을 확인할 수 있습니다. 프로젝트 정보 제출시 각 통제공간의 경계를 지켜주시기 바랍니다. Aili의 산업 제조 부문에는 모터 및 팬, 제어 시스템, 판금, 공기 필터 및 전체 기계 조립의 독립적인 R&D 및 생산이 포함됩니다. 에어컨 박스, EFU 및 터미널 필터 인터페이스는 동일한 패키지에 일치할 수 있습니다. 비표준 구성은 배경 환경 및 지역 요구 사항에 따라 조정될 수 있습니다.

제품 형태를 볼 수 있습니다공기조화기 및팬박스 페이지; 청정 공기 공급 패키지 결합 가능FFU 팬 필터 장치 및EFU 장비 엔드 팬 필터 장치 검증; 최종 입자 여과 결합 가능HEPA/ULPA 필터 확인; 가스 오염 관리에 관해서는 별도로 통신할 수 있습니다.화학 필터 솔루션. 특정 습도 제어 범위, 적용 가능한 조건 및 배송 범위는 해당 구성 데이터 및 현장 작업 조건을 기반으로 여전히 검증되어야 합니다. 실제 효과는 현장 디버깅 및 성능 테스트 결과에 따라 달라질 수 있습니다.

프로젝트 매개변수 제출:https://ailigy.com/contactus.html

관련 질문과 답변

OLED 장비의 내부 습도 요구 사항을 에어컨 박스의 공기 공급 지표로 직접 사용할 수 있습니까?
할 수 없습니다. 일반적으로 장비 내부에는 독립적인 습도 조절 장치가 있습니다. 에어컨 박스는 배경 환경이나 장비 입구 조건을 담당합니다. 두 가지 책임의 경계는 별도로 합의해야 합니다.

배경 환경 습도 제어 정확도 요구 사항이 높습니까?
일반적으로 장비의 내부 환경보다 낮지만 세부 사항은 여전히 ​​공정 영역의 요구 사항에 따라 다르므로 영역별로 별도로 결정해야 합니다.

Aili Industrial이 습도 제어 경계를 정의하는 데 도움을 줄 수 있습니까?
공정영역, 장비 인터페이스, 공조박스 서비스 범위를 기준으로 습도 업무 구분을 확인할 수 있습니다. 구체적인 계획은 프로젝트 조건에 따라 확정되어야 합니다.

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