¿Cómo distinguir las tareas de humedad de las cajas de aire acondicionado en entornos de producción OLED de las de los equipos de proceso?

Los requisitos de humedad para la producción de OLED deben diferenciarse entre el aire ambiente de la fábrica, las áreas limpias locales y el ambiente interno de los equipos de proceso. La caja de aire acondicionado suele ser responsable del tratamiento del aire dentro del rango acordado. Solo porque un determinado proceso es sensible a la humedad, las condiciones especiales dentro del equipo no pueden usarse directamente como índice de suministro de aire de todo el taller.

Mapear los requisitos del proceso para controlar el espacio elemento por elemento

El artesano deberá explicar el proceso sensible, el lugar de exposición y las condiciones permitidas, y luego verificará si el producto se encuentra siempre en un equipo controlado o en un entorno local. Si el equipo local tiene un suministro de gas o secado exclusivo, es necesario confirmar su conexión con el aire de la fábrica y el impacto de las fugas. Los métodos de medición para entornos de fondo y cavidades de equipos también pueden ser diferentes y las lecturas no se pueden mezclar.

Los antecedentes de la fábrica deben incluir el área de servicio, las actividades del personal y la carga general de calor y humedad; el entorno local debería incluir aperturas, transferencias, interfaces e intercambio de aire con la fábrica; El interior del equipo debe incluir el control independiente y las condiciones de suministro de energía especificadas por el lado del equipo de proceso. Los tres tipos de espacios corresponden a diferentes entidades responsables y no se les puede dar simplemente un número de humedad. ¿Qué objetivos de control conviene aclarar a la hora de seleccionar un cuadro de aire acondicionado con temperatura y humedad constantes? Por favor consulte¿Qué objetivos de control conviene aclarar a la hora de seleccionar un cuadro de aire acondicionado con temperatura y humedad constantes?。

El entorno de fondo de la fábrica corre a cargo de la caja de aire acondicionado.

La humedad del ambiente de fondo de la fábrica generalmente es manejada por una caja de aire acondicionado o MAU, con el objetivo de mantener la comodidad del personal, evitar la condensación general y cumplir con los requisitos ambientales regionales. El rango de control de humedad del ambiente de fondo es generalmente más amplio, los puntos de medición están dispuestos en el aire de retorno o en áreas representativas y los requisitos de precisión del control son más bajos que los del ambiente interno del equipo.

Cómo se corresponden las tareas de aire fresco de la sala limpia MAU con el aire de escape del proceso, consulte¿Cómo se corresponde la tarea de aire fresco de la sala blanca MAU con el escape del proceso? . Las unidades de tratamiento de aire circulante deben seleccionarse según las cargas interiores; consulte¿En qué cargas interiores se debe seleccionar la unidad de tratamiento de aire circulante?。

Las áreas parcialmente limpias pueden ser más sensibles a la humedad.

Las áreas limpias locales, como carriles de transferencia, salas de amortiguamiento o recintos protectores locales, pueden tener requisitos adicionales de humedad. Estas áreas están conectadas con el entorno de fondo de la fábrica, y la humedad se ve afectada tanto por el aire de fondo como por el suministro de aire local. El entorno local puede requerir un suministro de aire independiente o un secado local, que no puede controlarse únicamente mediante la caja de aire acondicionado de fondo.

El panel muestra cómo la caja de aire acondicionado del taller se adapta a zonas de suministro de aire de gran superficie. Por favor consulte¿Cómo se comporta el panel de visualización de la caja de aire acondicionado en el taller con zonas de suministro de aire de gran superficie? . ¿Por qué aún puede entrar gas externo si la diferencia de presión de la sala limpia es calificada? Por favor consulteSi la diferencia de presión de la sala limpia es calificada, ¿por qué aún puede entrar gas externo?。

El entorno interno del equipo suele ser responsabilidad de la parte del equipo de proceso.

Puede haber controles de humedad independientes, suministros de gas seco o cámaras selladas dentro del equipo de proceso OLED. Los requisitos de humedad dentro del equipo suelen ser mucho más estrictos que en el entorno de fábrica y su implementación y verificación son responsabilidad del propietario del equipo. El propósito de la caja de aire acondicionado es proporcionar aire ambiental que cumpla con los requisitos de entrada del equipo, no reemplazar el control de humedad dentro del equipo.

¿Qué datos in situ se requieren para la filtración química de la entrada de aire de los equipos de litografía? Por favor consulte¿Qué datos de campo se necesitan para la filtración química de la entrada de aire de los equipos de litografía? . Cómo corresponde la filtración química de entrada de aire EFEM a los requisitos de limpieza del equipo, consulte¿Cómo corresponde la filtración química de entrada de aire EFEM a los requisitos de limpieza del equipo?。

Evite duplicar tareas antes de configurar el equipo

Escriba cada requisito de humedad en una matriz de responsabilidad, indicando qué conjunto de equipos lo implementa y dónde se inspecciona. Cuando se trata de condiciones más allá del alcance de la refrigeración y deshumidificación convencionales, la ruta técnica y los requisitos energéticos deben evaluarse por separado, y no se puede prometer directamente que se puedan lograr cajas de aire acondicionado ordinarias. La división aquí se utiliza para aclarar los requisitos, y los indicadores específicos todavía están determinados por el proceso real.

¿Qué información sobre contaminantes se requiere antes de que la caja de aire acondicionado esté equipada con filtración química? Consulte¿Qué información sobre contaminantes se requiere antes de equipar la caja de aire acondicionado con filtración química? . Qué condiciones inmutables se deben determinar primero para la personalización no estándar, consulte¿Qué condiciones inmutables deberían determinarse primero para la personalización no estándar de las cajas de aire acondicionado?。

El lugar de medición y los límites de aceptación deben acordarse por separado.

Se pueden utilizar diferentes instrumentos de medición, lugares de muestreo y períodos de evaluación en el entorno de fondo, áreas locales e interiores de equipos. Deben probarse por separado durante la aceptación y los datos de un punto de medición de la habitación no pueden usarse para representar el entorno interno del equipo. La parte del equipo es responsable de la aceptación interna del equipo y la aceptación de la caja de aire acondicionado se realiza en los puntos de medición acordados.

Cómo determinar los requisitos de instalación y calibración de los sensores de temperatura y humedad de la caja de aire acondicionado, consulte¿Cómo determinar los requisitos de instalación y calibración de los sensores de temperatura y humedad de la caja de aire acondicionado? . ¿Cuál es la diferencia entre la precisión del suministro de aire y la precisión del control de la habitación? Por favor consulte¿Cuál es la diferencia entre la precisión del suministro de aire de la caja de aire acondicionado y la precisión del control de la habitación?。

Equipos de soporte industrial Aili

Aili Industrial puede verificar el tratamiento del aire, la EFU y otras instalaciones de soporte de acuerdo con la clara división del trabajo entre el edificio de la fábrica y el equipo. Mantenga los límites de cada espacio de control al enviar información del proyecto. El sector de fabricación industrial de Aili cubre la investigación y el desarrollo independientes y la producción de motores y ventiladores, sistemas de control, chapa metálica, filtros de aire y ensamblaje completo de máquinas. Las cajas de aire acondicionado, la EFU y las interfaces de filtro terminal se pueden combinar en el mismo paquete; Las configuraciones no estándar se pueden ajustar según el entorno y los requisitos del área local.

Se puede ver el formulario del producto.Unidad de tratamiento de aire ydel cuadro de fans ; Página El paquete de suministro de aire limpio se puede combinar.Unidad de filtrado de ventilador FFU yVerificación de la unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU ; La filtración de partículas terminales se puede combinar.del filtro HEPA/ULPA ; confirmación cuando se trata de control de la contaminación gaseosa, puede comunicarse por separadoSoluciones de filtrado químico . El rango de control de humedad específico, las condiciones aplicables y el alcance de entrega aún deben verificarse en función de los datos de configuración correspondientes y las condiciones de trabajo en el sitio. El efecto real está sujeto a la depuración en el sitio y a los resultados de las pruebas de rendimiento.

Enviar parámetros del proyecto:https://ailigy.com/contactus.html

Preguntas y respuestas relacionadas

¿Se pueden utilizar directamente los requisitos de humedad interna de los equipos OLED como indicador de suministro de aire para cajas de aire acondicionado?
no puedo. Suele haber un control de humedad independiente en el interior del equipo. La caja de aire acondicionado es responsable del entorno ambiental o de las condiciones de entrada del equipo. Los límites de ambas responsabilidades deberían acordarse por separado.

¿Son altos los requisitos de precisión del control de la humedad ambiental de fondo?
Generalmente es más bajo que el ambiente interno del equipo, pero los detalles aún dependen de los requisitos del área de proceso y deben determinarse por separado por área.

¿Puede Aili Industrial ayudar a delimitar los límites del control de la humedad?
La división de tareas de humedad se puede verificar según el área de proceso, la interfaz del equipo y el alcance del servicio de la caja de aire acondicionado. El plan específico debe confirmarse de acuerdo con las condiciones del proyecto.

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Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.