ISO 1 ～ ISO 3 のクリーン ルームで ULPA を設定するにはどうすればよいですか?

ISO 1、ISO 2、および ISO 3 は、より高い清浄度要件を伴うレベルであり、許容される粒子濃度は非常に低いです。規格を満たすためには、高品位なフィルターエレメントを選択すれば解決できるものではありません。

これらのレベルのプロジェクトでは、通常、濾過、密閉、空気の流れの構成、および汚染管理をシステムとして設計する必要があります。 リンクが外れている場合は、末端のフィルターエレメントがどんなにグレードが高くても修理はできません。

まずは測定目標と測定状況を明確にする

ISO1～ISO3の合格は、一般的なクリーンルームよりも詳細な試験条件が定められています。

粒子径と濃度：グレードにより許容粒子数が異なります。具体的な値は、プロジェクトで採用された ISO 14644 バージョンに従って確認する必要があります。

サンプリングの場所と量: 測定点の分布は保護地域の実際の状況を表すことができなければならず、都合の良い少数の場所だけを測定することはできません。

実行状態: 静的、動的、または空?結果は州によって大きく異なる可能性があります。プロセス装置の稼働中の粉塵の発生や人員の作業による影響については、テスト計画で説明する必要があります。

保護領域の範囲: 部屋全体ですか、それともデバイス内の微環境ですか?スコープに応じて、システムの設計と検証の方法も異なります。業界データはまた、清浄度は実際の測定に依存し、空気交換の推定値は参考用にすぎないことを指摘しています。

これらの条件が明確な場合にのみ、システムが達成する必要がある目標を知ることができ、その場合にのみ、どこでどのレベルで ULPA を設定する必要があるかを決定できます。

フィルタリングのパフォーマンスに加えて、行うべきことがいくつかあります。

シールの完全性。 ISO 1 から ISO 3 までのプロジェクトは、局所的な漏洩に対して非常に敏感です。微小なバイパス漏れにより、局所的に粒子濃度が基準を超える可能性があります。エンドフィルター、ボックスジョイント、パイプライン接続の取り付けとシールには、厳密な漏れの検出と検証が必要です。液体タンクの密閉構造は高い合わせ精度が要求されます。具体的な確認方法については、関連する手順を参照してください。

エアフロー組織。 空気供給面が完全に覆われているかどうか、空気の流れが均一であるかどうか、戻り空気経路に短絡や渦電流があるかどうかは、粒子を効果的に除去できるかどうかに直接影響します。高級クリーンルームでは一方向流設計が一般的であり、風速や均一性を実測で確認する必要があります。

汚染源の管理。 機器の可動部分、人員の作業、資材の出入りにより、保護エリア内に粒子が発生する可能性があります。たとえ適格な空気を送り込んでも、局所的な発塵により濃度が基準を超える場合があります。このような問題は、装置の設計、動作仕様、または局所排気によって管理する必要があり、ろ過レベルを高めることによって解決することはできません。

圧力差と空気の流れの方向。 プロジェクトの要件に応じて、隣接するエリア間の圧力差の関係とクリーンエリアから非クリーンエリアへの空気の流れの方向を確認する必要があります。これらのパラメータは、外部汚染の侵入の可能性に影響します。

ULPA はどこで設定されますか?

部屋全体のソリューション: ULPA を広いエリアの最終濾過として使用し、完全または高カバーの給気設計と組み合わせます。このソリューションには、風量、静圧、空気の流れの構成に対して非常に高い要件があり、システム設計では全体的な考慮が必要です。

ローカル微小環境ソリューション: ULPA は主要なワークステーションまたは機器の内部にのみ構成され、周囲のエリアは下位レベルの濾過またはシステムによって処理されます。このようなプログラムの焦点は、保護範囲の定義と国境管理にあります。デバイス側アプリケーションなど EFU装置側ファンフィルターユニットは、フィルターエレメントを装置構造や空気流路と合わせて設計する必要があります。

ハイブリッド ソリューション: 部屋全体に HEPA または低グレードの ULPA を使用して基本的な環境を提供し、高グレードの ULPA を使用して重要な場所の局所的な補強を行います。

どのソリューションが適しているかは、プロセス要件、装置条件、投資予算によって異なります。レベルが高ければ高いほど良いというわけではありませんが、一致が正確であればあるほど良いのです。

検証は段階的に実行する必要がある

高レベルの清浄度プロジェクトの検証は通常、いくつかのレベルに分かれています。

完成品テスト: フィルター自体の効率、耐性、完全性。対応するモデルのレポートによってサポートされます。

設置漏れ検出:フィルターエレメントとフレーム、ボックスジョイント、パイプライン接続を含む、設置後の密閉状態。関与する さまざまなグレードのHEPA/ULPA エアフィルター 製品の試験方法と基準は、対応する規格に従って実施されます。

気流測定：風速、風量、均一性、流れパターンを確認し、設計要件を満たしていることを確認します。

地域粒子検査: 合意された状況、測定点、サンプリング計画に従って、保護区域内の粒子濃度を測定します。

これらのアイテムにはそれぞれ独自の役割があり、互いに置き換えることはできません。記録は、その後の再検査と操作のベースラインとして保存する必要があります。サポートする FFU ファン フィルタ ユニット システムでは、ユニット パラメータと単体データ間の対応関係も記録する必要があります。

プロジェクトの判断例

特定の装置では、内部微小環境の粒子濃度を ISO レベル 2 と同等の目標で制御する必要があります。

この場合、まず装置内の保護範囲を定義し、利用可能なスペースとインターフェースの条件を測定し、次に空気の供給方法と濾過レベルを決定します。計画段階では、装置内の発塵箇所、空気の流路、空気の戻り方法などを考慮する必要があります。

装置外部のクリーンルームグレードをそのまま装置内部に適用したり、高品位のフィルタエレメントを選択しただけで設置した場合、期待した効果が得られない場合があります。設備側の微環境の設計は、設備の構造や稼働状況と合わせて検討する必要があり、間取り全体をコピーすることはできません。

選択と承認のチェックリスト

アイリ産業の高品位クリーン設備について

ISO 1 から ISO 3 プロジェクトの構成の鍵は、フィルター、ファン、構造、制御を同じ条件下で一致させることです。

Aili Industrial の製造システムは、フィルター、モーター、ファン、制御システム、完全な機械アセンブリをカバーしており、 ULPA超高性能フィルター と対応エア供給装置。部屋全体のソリューションの場合、フィルターは次のように使用できます。 FFUファンフィルターユニットの 適合確認。機器端の微小環境向けに、以下と組み合わせることができます。 EFU装置側ファンフィルタユニット と合わせて設置スペース、風量、インターフェース条件を確認してください。

お問い合わせの際は、保護エリア、粒子制御対象、利用可能なスペース、受け入れ方法を提供してください。これは、適切な構成を決定するのに役立ちます。具体的なパフォーマンスは、製品の技術データとプロジェクトの受け入れ結果によって異なります。