ISO 4 および ISO 5 のクリーン ルームには ULPA が必要ですか?

この質問に対する万能の答えはありません。

ISO 4 および ISO 5 は空間粒子濃度を記述し、ULPA はフィルター透過性能を記述します。両者は測定対象が異なります。 同じ ISO 5 クリーン ルーム内でも、HEPA を使用して基準を満たすことができるプロジェクトもあれば、ULPA の承認が必要なプロジェクトもあります。違いは部屋のクラスそのものではなく、仕上がり、エアフローの構成、受け入れ条件にあります。

ルームグレードとフィルターグレードは同じではありません

まずこれら 2 つの概念を分離しましょう。

ISO 14644 の ISO 4 および ISO 5 は、指定された条件下での空気 1 立方メートルあたりの粒子数を評価します。 ISO 4 の許容粒子数は ISO 5 よりも 1 桁低く、管理が厳しくなります。

ULPA の U15、U16、および U17 は、指定されたテスト条件下でフィルターの透過率を評価します。 HEPAのH13、H14も同様です。

部屋が基準を満たすために必要なのは、単一のフィルター要素のインデックスではなく、システムの機能です。 空気供給量が十分であるかどうか、空気の流れの構成が適切であるかどうか、シールに漏れがないか、汚染源が管理されているかどうか - これらの要素が共同して部屋の影響を決定します。業界の参考資料には、実際の清浄度はパーティクルカウンターの実測値に基づくことが推奨されており、空気交換回数の見積もりはあくまで目安であると記載されています。

HEPA が十分になるのはいつですか?

以下の状況では、HEPA (H14 など) と合理的なシステム設計を組み合わせることで、通常、ISO 5 または ISO 4 の要件を満たすことができます。

システム設計は合理的です。 空気供給量は十分で、空気の流れが完全にカバーされており、戻り空気の経路はスムーズで、明らかな渦巻きや短絡はありません。

汚染源は制御可能です。 主な汚染は外部から来ており、保護区域内の粉塵の発生が少ないか、局所排気が存在します。

所定の位置に密閉されます。 端部、ボックス、パイプラインでのバイパス空気の漏れは適切に制御されており、濾過されていない空気がフィルター材を迂回してクリーンエリアに侵入することはありません。

合格条件は設計と一致しています。 静的または動的テストの条件は明確であり、測定点は合理的に分散されています。

H14 の 0.3 ミクロン粒子の濾過効率は 99.995% に達します。十分な空気の交換と適切な空気の流れの構成により、通常 ISO 5 レベルを達成できます。

ULPA を検討すべき場合

ULPA は、次の状況に適している可能性があります。

このプロセスは、より小さな粒子サイズに敏感です。 一部の半導体または精密製造プロセスでは、問題となる粒子サイズは 0.1 ミクロン程度であり、H14 の浸透レベルが十分ではない場合があります。 ULPA は 0.12 ミクロンレベルでの濾過効率が高くなります。

主要なワークステーションには特定の高い要件があります。 部屋全体をアップグレードする必要があるというわけではありませんが、特定の露出したワークステーションまたは機器の内部の微環境には、より厳密な粒子制御が必要です。現時点では、ULPA をローカルで設定でき、部屋全体では引き続き HEPA が使用されます。部屋全体をアップグレードする必要はありません。

プロジェクトの承認基準は明確に必要です。 一部の顧客の内部仕様またはプロセス文書では、ULPA レベルが直接指定されています。この場合は文書に従うことになります。

システムにはマージンがサポートされています。 ULPA の耐性は通常、HEPA の耐性よりも高くなります。アップグレードする前に、ファン、エアダクト、および制御システムが抵抗の変化に耐えられるか、空気供給量の低下を引き起こさないことを確認してください。

よくある誤解

「ISO 4 は ISO 5 よりも厳しいため、ISO 4 には ULPA、ISO 5 には HEPA を使用する必要があります。」

この推論には標準的な根拠はありません。

ISO 4 と ISO 5 の違いは、許容される粒子の数が 1 桁異なることですが、この違いを実現する方法は複数あります。これは、空気交換の回数を増やす、空気の流れの構成を最適化する、シールを強化する、またはフィルター レベルをアップグレードすることによって実現できます。どの方法を選択するかは、システムの状態、コスト、メンテナンス要件によって決まり、部屋のレベルによって直接決まるわけではありません。

一方、ローカルのワークステーションで必要な場合、またはシステム自体が ULPA をサポートする条件を備えている場合、ISO 5 ルームで ULPA を使用することも合理的である可能性があります。

プロジェクトの判断例

あるISO5のクリーンルームでパーティクルモニタリングが基準を超えることがあり、調査の結果、エア供給量が不足していることが判明しました。

現時点で HEPA を ULPA に置き換えることで問題は解決しますか?不確かな。風量が不足すると、粒子の希釈・除去効率が不十分になります。よりグレードの高いフィルターエレメントに交換すると抵抗が増加し、さらに風量が低下する場合があります。正しい方向は、最初に空気供給量を回復し、空気の流れの構成を確認してから、濾過レベルを調整する必要があるかどうかを評価することです。

別の例: 特定の ISO 4 ルームでは H14 が使用されており、すべてのテストが規格を満たしています。プロセスが変更されず、受け入れ条件が厳格化されない場合は、「より多くの保険」を求めて ULPA に切り替える必要はありません。レベルの選択は、習慣や心理的な期待ではなく、ニーズに基づいて行う必要があります。

選択と承認のチェックリスト

アイリ産業のクリーンソリューションパッケージについて

ISO 4 および ISO 5 プロジェクトの濾過レベルの選択は、基本的に「プロセス要件」と「システム能力」の一致の問題です。

Aili Industrial の製造システムは、フィルター、モーター、ファン、制御システム、完全な機械アセンブリをカバーしており、 ULPA超高性能フィルター と各種グレードのHEPA/ULPA製品。フィルターは一緒に使用できます FFU ファン フィルター ユニットは 最終構成を確認するために適合しており、機器の最終アプリケーションは次の用途で使用できます。 EFU装置側ファンフィルタユニット との取り付け条件および界面寸法を確認してください。

お問い合わせの際は、対象エリア、粒子制御要件、設計風量、受け入れ方法をお知らせください。これは、ろ過レベルとシステム構成をどのように組み合わせるかを決定するのに役立ちます。具体的なパフォーマンスは、製品の技術データとプロジェクトの受け入れ結果によって異なります。