новости

Требуется ли ULPA для чистых помещений ISO 4 и ISO 5? Границы выбора с HEPA

Количество просмотров: 2051     Автор: Aili Industry Время выпуска: 4 октября 2026 г. Источник: Ай Ли Индастриал

Расследование

['facebook', 'twitter', 'linkedin', 'pinterest', 'whatsapp']

Требуется ли ULPA для чистых помещений ISO 4 и ISO 5?

На этот вопрос не существует универсального ответа.

ISO 4 и ISO 5 описывают пространственную концентрацию частиц, а ULPA описывает эффективность проникновения фильтра. Объекты измерения у них разные. В одной и той же чистой комнате ISO 5 некоторые проекты могут соответствовать стандарту HEPA, тогда как другие должны быть одобрены ULPA. Разница не в самом классе помещения, а в качестве изготовления, организации воздушного потока и условиях приемки.

Уровень помещения и уровень фильтра — это не одно и то же.

Давайте сначала разделим эти два понятия.

ISO 4 и ISO 5 в ISO 14644 оценивают количество частиц на кубический метр воздуха при определенных условиях. Допустимое количество частиц ISO 4 на порядок ниже, чем у ISO 5, и контроль более жесткий.

U15, U16 и U17 ULPA оценивают скорость проникновения фильтра в определенных условиях испытаний. То же самое касается H13 и H14 HEPA.

То, что помещение должно соответствовать стандарту, — это возможности системы, а не индекс отдельного фильтрующего элемента. Достаточный ли объем подачи воздуха, разумна ли организация воздушного потока, не протекает ли уплотнение, контролируется ли источник загрязнения или нет – эти факторы в совокупности определяют воздействие помещения. В отраслевых справочных материалах также упоминается, что фактическую чистоту рекомендуется основывать на фактическом измеренном значении счетчика частиц, а оценка количества воздухообменов является лишь приблизительным стандартом.

Когда HEPA достаточно?

В следующих ситуациях HEPA (например, H14) в сочетании с разумной конструкцией системы обычно может соответствовать требованиям ISO 5 или даже ISO 4:

Конструкция системы разумна. Объем подачи воздуха достаточный, охват воздушного потока полный, путь возврата воздуха плавный, явных завихрений и коротких замыканий нет.

Источники загрязнения поддаются контролю. Основное загрязнение поступает извне, а пылеобразование на охраняемой территории невелико или имеет место локальный выхлоп.

Запечатано на месте. Утечка байпасного воздуха в конце, коробке и трубопроводе хорошо контролируется, и нефильтрованный воздух не будет обходить фильтрующий материал и попадать в чистую зону.

Условия приемки соответствуют проекту. Условия для статических или динамических испытаний ясны, а точки измерения разумно распределены.

Эффективность фильтрации H14 для частиц размером 0,3 микрона достигает 99,995%. При достаточном воздухообмене и хорошей организации воздушного потока обычно достижим уровень ISO 5.

Когда следует учитывать ULPA

ULPA может быть более подходящим в следующих ситуациях:

Этот процесс чувствителен к частицам меньшего размера. В некоторых процессах полупроводникового или прецизионного производства размер частиц составляет порядка 0,1 микрона, и уровень проникновения H14 может быть недостаточным. ULPA имеет более высокую эффективность фильтрации на уровне 0,12 микрона.

К ключевым рабочим станциям предъявляются определенные высокие требования. Дело не в том, что необходимо модернизировать всю комнату, а в том, что микросреда внутри определенной открытой рабочей станции или оборудования требует более строгого контроля частиц. В настоящее время ULPA можно настроить локально, и вся комната по-прежнему использует HEPA. Нет необходимости обновлять всю комнату.

Критерии приемки проекта явно необходимы. Внутренние спецификации или технологические документы некоторых клиентов прямо указывают уровень ULPA. В этом случае документ будет соблюден.

В системе предусмотрена маржинальная поддержка. Сопротивление ULPA обычно выше, чем у HEPA. Перед модернизацией убедитесь, что вентилятор, воздуховод и система управления выдержат изменение сопротивления и не вызовут уменьшения объема подачи воздуха.

Распространенное недоразумение

«ISO 4 более строгий, чем ISO 5, поэтому для ISO 4 необходимо использовать ULPA, а для ISO 5 — HEPA».

Для этого вывода не существует стандартного основания.

Разница между ISO 4 и ISO 5 заключается в том, что количество разрешенных частиц различается на порядок, но существует несколько способов добиться этой разницы. Этого можно добиться за счет увеличения количества смен воздуха, оптимизации организации воздушного потока, усиления герметизации или модернизации уровня фильтра. Какой метод выбрать, зависит от состояния системы, стоимости и требований к техническому обслуживанию и не определяется напрямую уровнем помещения.

С другой стороны, также может быть разумно использовать ULPA в помещениях ISO 5 — если этого требуют локальные рабочие станции или если сама система имеет условия поддержки ULPA.

Пример оценки проекта

Мониторинг частиц в чистом помещении ISO 5 иногда превышал стандарт, и расследование показало, что объем подачи воздуха был недостаточным.

Поможет ли замена HEPA на ULPA решить проблему на данный момент? неопределенный. Недостаточный объем воздуха означает, что эффективность разбавления и удаления частиц недостаточна. Замена более качественного фильтрующего элемента приведет к увеличению сопротивления, и объем воздуха может еще больше уменьшиться. Правильное направление – сначала восстановить объем подачи воздуха, подтвердить организацию воздушного потока, а затем оценить, нужно ли регулировать уровень фильтрации.

Другой пример: в определенной комнате ISO 4 используется H14, и все тесты соответствуют стандартам. Если процесс не изменился и условия приемки не были ужесточены, нет необходимости переходить на ULPA для «большей безопасности». Выбор уровня должен определяться потребностями, а не привычками или психологическими ожиданиями.

Контрольный список выбора и приемки

Проверить элементы

Подтвердите ключевые моменты

статус комнаты

Уточнить условия приемки (статические/динамические) и точки измерения.

цель рабочей станции

Требования к защите определяются индивидуально для критически важных для технологического процесса мест.

Выбор фильтра

На основе входных данных процесса, а не на уровне помещения.

Проверка системы

Проверьте объем воздуха, уплотнение и площадь частиц.

О пакете экологически чистых решений Aili Industrial

Выбор уровней фильтрации для проектов ISO 4 и ISO 5 по существу является вопросом соответствия «требований процесса» и «возможностей системы».

Производственная система Aili Industrial охватывает фильтры, двигатели, вентиляторы, системы управления и полную сборку машин и может обеспечить Фильтры сверхвысокой эффективности ULPA и продукты HEPA/ULPA различных классов. Фильтр можно использовать с Блок фильтра вентилятора FFU подбирается для подтверждения конечной конфигурации, а конечное приложение оборудования можно использовать с блоком вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU . Проверьте условия установки и размеры сопряжения с

При запросе укажите целевую площадь, требования к контролю частиц, расчетный объем воздуха и метод приемки, что поможет определить, как совместить уровень фильтрации и конфигурацию системы. Конкретные характеристики зависят от технических данных продукта и результатов приемки проекта.

Сопутствующие товары

Aili Industrial разрабатывает и производит воздушные фильтры FFU, EFU, HEPA/ULPA, высокоэффективные вентиляционные отверстия, вентиляторные коробки и другое оборудование для очистки воздуха. Опираясь на двигатели, вентиляторы, системы управления, фильтры и полную поддержку оборудования, мы обеспечиваем поддержку в выборе и настройке оборудования для чистых помещений и производственного оборудования.

Быстрые ссылки

Присоединяйтесь к глобальной перспективе

Получайте последние отраслевые официальные документы и обновления технологий.
© Сучжоу Aili Industrial Co., Ltd. Все права защищены.