閲覧数: 2413 著者:Aili Industry 公開時間:2026-11-16 出典: アイ・リー・インダストリアル
ガスケット自体の品質の低下が原因で EFU 取り付けシールが破損することはほとんどありません。よくあるのは、シール面の締め付け方法が図面に記載されていない、取付枠の平面度を超えている、ボルトの締め付け順序が間違っていてボックスが変形している、シールストリップの圧縮量が十分か不足している、などです。これらの問題は、設置直後に目に見える隙間として現れるとは限りませんが、空気の流れは圧縮が不十分な場所を迂回するため、フィルターがどれほど効率的であっても、濾過されていない空気が供給空気に直接混入することを防ぐことはできません。 EFU の設置が密閉されていることを確認するには、図面マーキング、設置条件、受け入れ方法の3 つのリンクを結び付ける必要があります。 現場に行って空気漏れを触る代わりに、Aili Industrial の 70mm 超薄型 EFU は、側面の空気入口/出口およびフランジ インターフェイスのカスタマイズをサポートします。シール構造には圧縮方法と圧縮量の要件が確認図に記されており、設備工場は図面段階でのシール検証が容易になります。
EFU 取り付けシールの確認の出発点は図面です。機器の図面には、シール面がどこにあるのか、どのように圧縮するのか、どの程度の圧縮量なのかを 3 つの事項に記入する必要があります。。
シール面は、EFU ボックスと機器取り付けフレームまたは板金の間の境界面です。この界面の平坦度と表面状態によって、ガスケットを均一に圧縮できるかどうかが決まります。シール面の平坦度要件は、単に外形寸法を与えるのではなく、機器の図面にマークする必要があります。取り付けフレームが溶接部品である場合、溶接後の変形によりシール面が波打つようになり、シールガスケットの低点で圧縮が不十分になり、空気流がそこをバイパスします。
通常、圧縮方法には機械的圧縮と液体タンクのシールの 2 つがあります。メカニカルコンプレッションシールの厚さと圧縮率については、明確な仕様参照があります。関連する工事合格仕様では、高効率フィルターがメカニカルシールを採用する場合、シールガスケットの厚さは 6 ~ 8mm である必要があります。取り付け後、ガスケットの圧縮は均一になり、圧縮率は 25% ~ 50% になります。この圧縮率の範囲は、ガスケットがリバウンドシールの役割を果たすための前提条件です。圧縮が小さすぎると、ガスケットは圧力に適合しません。圧縮が大きすぎると、ガスケットが過度に変形して弾力性を失い、長期使用後に漏れが発生しやすくなります。
液体タンクのシールには、ナイフエッジの挿入深さと液体タンクのレベルを図面にマークする必要があります。タンクフレームは漏れのないように水平に設置してください。タンク内のシール液の高さはタンク深さの2/3程度にしてください。装置側 EFU が液タンクシールを採用している場合、単に「タンク残し」の表示だけでなく、ナイフエッジの位置や液タンクの設置スペースを機器図面上に記載する必要があります。
アイリ工業はEFU確認図に機器の設置面に応じてシール面の位置、ガスケットの種類、圧縮要件を記入しています。極薄モデルのシール構造を、固定ボルトの仮締め力によるシール面の変形を防ぐためのボックス固定点の位置とともに記載しています。
図面を確認後、設置条件により図面通りにシールができるかどうかを判断します。 EFU を設置する前に、3 つの条件を確認する必要があります。
取付枠の平面度。 EFU ボックス自体は剛性がありますが、薄肉ボックスのためボルトの仮締め力により局所的な変形が発生します。取付フレームの表面に凹凸がある場合、ボックスをボルトでフレーム側に引っ張る際、ガスケットの圧縮量が場所によって異なります。取り付ける前に、ナイフエッジ定規または定規を使用してフレームの平面度を確認してください。許容範囲外の位置がある場合は、ボルトを締める代わりにトリムまたはシムを調整する必要があります。
固定順序。マルチボルト固定 EFU の場合、締め付け順序はガスケットの圧縮均一性に直接影響します。一方の端から始めて 1 つずつ締めると、ボックスは片側に引っ張られ、もう一方の端のガスケットは十分に圧縮されません。より実用的な方法は、ガスケットが徐々に均等に圧縮されるように、中間から両端に向かって対称的に段階的に締め付け、毎回定格トルクの一部で締め付けることです。関連する仕様では、設置後にユニット全体が平らであること、ファン ボックスとフィルターの間、およびフィルター ユニットと設置フレームの間に信頼性の高い密閉手段が必要であることも必要です。
外周クリアランス。 EFU をデバイスに取り付けた後、ボックスと取り付けフレームの間に設計上のギャップや取り付けのずれが生じる場合があります。これらの隙間がシール パスの外側にある場合は、シール剤またはシール ストリップで埋める必要があります。シール経路に落ちた場合、ガスケットの幅と圧縮率がこの隙間をカバーできる必要があります。 「ガスケットが十分に厚いので押さえられる」と考えるのではなく、実際の隙間のサイズを取り付け前に測定する必要があります。取付穴位置とシール面の関係はこちらをご参照ください。カスタムEFUの取付穴位置の確認方法は?データム、公差、固定およびシール面の検査における固定およびシール面の検証方法。
シーリング施工が完了した後の受入検査では、「締まりそう」だけではなく「バイパスがあるかどうか」を判断できる必要があります。
光透過検査はメカニカルコンプレッションシールに適しています。暗い環境で、EFU の空気出口側から光源を使用してシール面を照らし、空気入口側から光が差し込むかどうかを観察します。半透明の場所は、ガスケットが圧縮されていない領域または隙間がある領域に対応します。この方法は簡単ですが、小さなギャップに対する感度が限られており、予備的なスクリーニングに適しています。
圧縮測定はより直接的です。ボルトを締める前に、シールガスケットのいくつかの代表的な位置に軟質リード線または特別な圧縮測定ピースを配置します。締め付け後の厚み変化を取り出し、圧縮率が25%~50%の範囲内にあるかどうかを計算します。測定点は、不均一な圧縮が最も発生しやすいシール面の 4 辺の中点と角をカバーする必要があります。
漏れのスキャンは、受け入れの最終確認です。清浄度要件のある機器側 EFU の場合、取り付け後にシール インターフェースの漏れをスキャンして、フィルタされていないエア バイパスがないことを確認する必要があります。スキャン方法は、高効率フィルタの漏れ検出の一般的な手法を参照し、EFU の動作中にパーティクル カウンタを使用してシール表面の周囲を検出します。関連する仕様では、高効率フィルターの周囲の領域とインターフェースが取り付け後に密閉され、漏れがないこと、およびデバッグ前にスキャンと漏れ検出を実行する必要があります。スキャンで局所カウントが高すぎることが判明した場合は、その場所のシールを締め直すか、接着剤を充填する必要があります。
EFUの供給において、Aili Industrialは機器の図面に従ってシール構造と圧縮方法をマークすることができます。シーリングガスケットの圧縮量は、プロトタイプまたは最初のユニットの組み立て中に測定され、スキャンされたリーク検出データと確認図面は、バッチシーリング構成の比較ベンチマークとして一緒にファイルされます。
必要な圧縮量を図面に記さずに、ガスケットの位置だけを描くことは避けてください。フレームの平面度を確認せずに直接 EFU ボルトを締めるのは避けてください。ガスケットを端から順番に締めると不均一な圧縮が発生するので避けてください。スキャンリーク検出のみを光透過検査に置き換えることは避けるべきです。 EFU が動作していないときにシールの受け入れを実行することは避けてください。 EFUの取り付けシール確認の核心は、「シールガスケットが配置されているかどうか」ではなく、測定可能で追跡可能な閉ループを形成するための図面マーキング、取り付け条件、および受け入れ方法です。
EFUガスケットの圧縮率はどのくらいですか?
メカニカルコンプレッションシールの圧縮率の基準範囲は25%~50%で、シールガスケットの厚さは通常6~8mmです。圧縮率が下限値を下回ると、シールガスケットの嵌合圧力が不足し、シールガスケットの圧着力が低下します。上限を超えるとシールガスケットが変形しすぎて反発力がなくなり、長期使用後に漏れやすくなります。具体的な値はガスケットの材質および供給者の要求に従って確認する必要があります。
光透過検査中に光漏れが見つからなかった場合でも、漏れをスキャンする必要がありますか?
することをお勧めします。半透明検査では小さな隙間に対する感度が限られており、ミクロンレベルの隙間では EFU シール面のバイパスが発生する可能性があります。清浄度レベル要件のある機器側のアプリケーションの場合、スキャンと漏れ検出はシールの完全性を確認する最終手段であり、試運転前に完了して記録する必要があります。
EFU は装置の板金上に取り付けられます。板金の凹凸にどう対処するか?
まず平坦度の偏差の範囲と度合いを測定します。局所的な低いポイントは薄いガスケットを使用して移行できますが、大きな凹凸のある領域ではフレームをトリミングするか、移行取り付けプレートを追加する必要があります。ボルトのトルクを増やして強制的に平らにすることは推奨されません。これは、ボックスの事前変形を引き起こし、フィルター シールとエア ダクトの形状に影響を与えるためです。
カスタムEFUの取付穴位置の確認方法は?データム、公差、取り付けおよびシール面の検査
パーティションなしの EFU フィルターを選択するにはどうすればよいですか?効率、抵抗、シール、および完全な機械マッチング方法
ウェーハ処理装置 EFU プロジェクトを検証するにはどうすればよいですか?プロトタイプ、最初の単体テスト、バッチ確認
チェック項目 |
重要なポイントを確認する |
|---|---|
図面シール注釈 |
シール面位置、圧縮方法、圧縮量要件 |
フレームの平面度 |
取り付け前にナイフエッジ定規を使用してチェックし、公差を超えている場合は修正します。 |
固定順序 |
中間から両端まで対称に締めてください。 |
圧縮測定 |
四辺の中点とコーナー、圧縮率25%~50% |
漏れをスキャンする |
EFU の動作中にシーリング インターフェイスをスキャンしてデータを記録する |
Aili Industrial の 70mm 超薄型 EFU は、機械的圧縮とフランジ インターフェイスのカスタマイズをサポートしています。確認図にはシール面の位置、ガスケットの種類、圧縮量の要件が記されています。装置工場は、装置の設置面に基づいて、フレームの平面度条件とシール方法の要件を提出できます。アイリ工業はそれに応じてシール構造と固定点レイアウトを適合させます。試作段階で圧縮量を測定し、スキャン漏れ検出記録を完成させます。
Aili Industrial EFU 製品とカスタマイズされた構成について学びます。コンパクトモデルもチェックしてみてください。70mmの極薄EFUで機械全体の構造が見えるEFU装置のファンフィルターユニット、非標準インターフェース、シール構造をご覧いただけますカスタムEFU 。シール形状や合格方法の確認を容易にするために、機器の設置面の図面、シール方法、清浄度要件を提出してください。