パーティションなしの EFU フィルターを選択するにはどうすればよいですか?効率、抵抗、シール、および完全な機械マッチング方法

パーティションのない EFU フィルターを選択する場合、最もよくある間違いは、効率レベルのみに注目することです。仕様書にはH14と記載されており、業者が価格を見積もって選定は完了したようです。しかし、パーティションレスフィルターをEFUに取り付けた後は、その抵抗特性がファンが動作点にあるかどうかを直接決定し、シール方法はボックス構造を変更する必要があるかどうかを決定し、プリーツの高さとフレームの厚さは装置内の数十ミリメートルのスペースが十分かどうかを決定します。パーティションのないフィルターを選択するということは、本質的に、独立したフィルター デバイスを選択するのではなく、EFU マシン全体に適合するコンポーネントを選択することを意味します。 Aili Industrial の EFU 製造システムは、フィルターの自社生産と完全な機械の組み立てをカバーします。パーティションレスフィルターの効率、抵抗、シール構造は、同じシステム内のファンの動作点に合わせることができるため、フィルター工場と完全な機械工場の間でパラメーターを転送する必要がありません。

効率レベル: まずプロセスに何が必要かを確認し、次に基準がどのように分割されているかを確認します。

仕切りのないフィルターの効率レベルは、EN 1822 規格に従って分割されます。 0.3μm粒子に対するH13の濾過効率は99.95%以上、H14は99.995%以上、0.12μm粒子に対するU15の濾過効率は99.9995%以上です。数値には大きな違いはないように見えますが、装置側の EFU アプリケーションでは、H13 と H14 のどちらを選択するかは、多くの場合、「高いほど良い」というよりは、粒子に対するプロセス セクションの感度に依存します。

装置側 EFU のフィルタ効率の選択は、クリーンエリアの分割と合わせて考慮する必要があります。通常、ウェハ露光エリアまたはボンディング作業台の近くでは H14 以上が必要です。搬送機構領域や一般的な装置内部の微小環境では、H13 で十分な場合があります。装置プロセスにホウ素に敏感な結合界面が含まれる場合は、濾紙のタイプも確認する必要があります。従来のガラス繊維濾紙ではホウ素が放出される可能性があり、PTFE 濾過材はオプションです。効率レベルを高く選択すると、抵抗が増加し、それに応じてファンの電力消費と騒音も増加します。効率レベルを低く選択すると、清浄度が基準を満たさなくなります。選択の出発点は、標準リストの最高グレードではなく、プロセス要件です。

抵抗とファンの動作点: パーティションがないからといって抵抗が低いわけではありません

隔壁なしフィルタの構造上の特徴は、アルミ箔隔壁の代わりにホットメルト接着剤を使用しているため、同じ厚さでより大きなろ過面積が得られますが、必ずしも隔壁ありに比べて抵抗が低いわけではありません。抵抗は濾紙の材質、プリーツの高さ、プリーツの間隔、向かい風速によって異なります。プリーツ高さ55mm、70mm、75mmのパーティションレス製品は、ろ過効率を向上させながら抵抗を低減できますが、プリーツの間隔が均等であり、風量分布が合理的であることが前提となります。プリーツの間隔が近すぎると、プリーツ間流路内の空気流の摩擦抵抗が増加します。

仕切りのないフィルターを選択する場合は、初期抵抗と最終抵抗を合わせて確認する必要があります。初期抵抗は、ファンが始動後に高効率ゾーンにあるかどうかを決定し、最終抵抗は、フィルターの寿命の終わりにファンが風量を維持する余地があるかどうかを決定します。 EFU のファン動作点は、特定の抵抗値に基づいて選択されます。フィルターの初期抵抗が設計値より 20% 高い場合、ファンは初期の最適効率点から逸脱する可能性があります。最終抵抗が交換閾値に達したときにファンが風量を維持できなくなると、交換前に清浄度が低下します。 EFUプロジェクトでは、Aili Industrialは目標風量とフィルター抵抗曲線に従ってファンの動作点をチェックし、仕切りのないフィルターの抵抗変化範囲がファンの調整可能な範囲内に収まるようにしました。

シール方法: 仕切りのないフィルターのフレームによって取り付け方法が決まります。

EFU 内で隔壁を使用せずにフィルターを密閉するには、通常 2 つの方法があります。1 つはシーリング ガスケットを使用してフィルター フレームと EFU ボックスを圧縮する方法、もう 1 つは液体タンクを使用して密閉する方法です。コンプレッションシールは低コストでシンプルな構造ですが、ボックス設置面の平面度や押圧力の均一性などの要求が高く、液体タンクのシールは信頼性が優れていますが、ボックスには対応するナイフエッジ構造と液体タンクのスペースが必要であり、超薄型 EFU には適合しない可能性があります。

仕切りのないフィルタを選択する場合は、EFUボックスの構造と併せてシール方法も確認する必要があります。フィルターフレームがプレスされたときに変形するかどうかは、フィルターフレームの材質と厚さによって決まります。アルミニウム合金フレームは十分な剛性がありますが重く、亜鉛メッキ板フレームは軽いですが肉厚が薄く、ボルトの仮締め力で歪みやすくなります。ガスケットの材質（ポリウレタンかシリコン）と硬さは圧縮反発力に影響します。硬度が低すぎると締め付けが不十分となり、硬度が高すぎるとより大きな圧縮力が必要になります。 Aili Industrialの高効率フィルターはポリウレタンまたはシリコーンシーラントを使用しています。各ユニットは工場から出荷される前に 1 つずつスキャンされ、漏れがないかテストされます。 EFUを組み立てる際、フィルター枠とボックスのシール面に圧縮方法と圧縮量の要件を確認図に記入します。

マシン全体のマッチング: 方向とスペースの制約を変更する

バッフルレスフィルターのもう 1 つの選択要素は、変化の方向です。装置側 EFU は装置内に設置されており、フィルタ交換は限られたスペース内で行う必要がある場合が多いです。 EFUの設置場所や周囲の構造により、底部交換、側面交換、または上部交換が異なります。フィルターを選択するときは、取り外しと取り付けを容易にするハンドルや切り込みがフレームにあるかどうか、フィルターを箱から取り出すときに追加のクリアランスが必要かどうかを確認してください。

超薄型 EFU (厚さ 70mm モデルなど) では、フィルターの厚さに対する制約が厳しくなります。隔壁のないフィルター自体は隔壁ありのものに比べて薄くなりますが、フレームの厚みとガスケットの出っ張りがZ軸のスペースを占有します。選択するときは、シーリング ガスケットを含む全体の高さをEFU ボックスの内部のクリアな高さと比較する必要があります。 フィルターの公称厚さだけではなく、Aili Industrialの70mm超薄型EFUは、装置図面に従ってフィルタ仕様と交換方向を設定できます。フィルターとボックスの組立関係は確認図に記載されております。

避けるべき誤解

抵抗とファンの動作点を確認せずに、効率レベルのみに基づいてフィルタを選択することは避けてください。パーティションがないことを抵抗が低いとみなすことは避けてください。超薄型 EFU では、厚すぎるフレームや過度に突き出たガスケットを備えたフィルターを選択することは避けてください。交換方向を確認せずに注文することは避けてください。組み立て後にフィルター サンプル パラメーターを使用して、EFU 完成機の実際の風量データを置き換えることは避けてください。 EFU パーティションレス フィルターの選択の核心は、「効率が十分に高ければ」ということではなく、効率、抵抗、シール、交換方法が EFU 完成機と組み立て可能、操作可能、保守可能に適合するかどうかです。

関連する質問と回答

EFU パーティションレス フィルターには H13 または H14 を選択する必要がありますか?
装置内のクリーンエリアの分割に注目してください。 H14 は通常、ウェーハの露出領域または接合界面近くに必要です。 H13 は、搬送エリアまたは一般的な微小環境では十分な場合があります。効率を 1 段階高くすると抵抗が増加し、ファンの消費電力と騒音が増加します。ファンの動作点で確認する必要があり、効率の数値だけを見ることはできません。

バッフルのないフィルターはバッフルのあるフィルターよりも抵抗が低くなりますか?
不確かな。隔壁レス構造は同じ厚さでより大きなろ過面積を実現できますが、抵抗はろ紙、プリーツの高さ、向かい風速によって異なります。プリーツの間隔が狭すぎたり、フィルター材質の選択が適切でなかった場合、抵抗値が低くならない場合があります。モデルを選択するときは、「仕切りなし」という言葉だけに頼るのではなく、サプライヤーが提供する抵抗と風量の曲線を確認する必要があります。

超薄型 EFU フィルターにはどれくらいのスペースが必要ですか?
交換方向により異なります。底面交換にはフィルターの下に抽出スペースが必要で、側面交換には側面のクリアランスが必要です。フィルター枠に取っ手が付いているか、傾けて引き出す必要があるかを確認して選択してください。超薄型 EFU の内部空間は非常に狭いです。到着後の現場判断ではなく、交換経路を確認図に記入することをお勧めします。

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Aili Industrial EFUの選択と調達のサポート

Aili Industrial の EFU 製造システムは、フィルターの自社生産と完全な機械の組み立てをカバーします。パーティションレスフィルターは、EFU の目標風量とファンの動作点に応じて、効率レベルと抵抗の仕様を一致させることができます。シール構造と交換方向は確認図の枠内に併記してあります。超薄型モデルの場合、シールガスケットを含むフィルタ全高とボックス正味高さの組立関係を設備図より確認できます。

Aili Industrial EFU 製品とカスタマイズされた構成について学びます。コンパクトモデルもチェックしてみてください。70mmの極薄EFUで機械全体の構造が見えるEFU機器のファンフィルターユニット、非標準インターフェースを表示できますカスタマイズされたEFU 、フィルタリングパッケージが表示可能HEPAおよびULPAエアフィルター。フィルターの効率、抵抗、シール構成の確認を容易にするために、装置の清浄度レベルの要件、EFU のモデル、設置スペースの寸法を提出してください。