EFU 寸法の技術要件をどのように記述するか?データ、テスト、および承認の重要なポイント

技術要件に EFU の外形寸法を記述する最も一般的な方法は、「長さ × 幅 × 高さ」の 3 つの数値に公差を加えたものです。天井キールは規格化されており、サイズさえ合っていればよいため、一般的な天井用FFUを購入する場合には、この書き方でかろうじて十分です。ただし、装置側の EFU は装置の板金に埋め込まれ、装置のエアダクトに接続され、ウエハ経路の近くに設置されます。全体のサイズは単に「収まるかどうか」の問題ではなく、取り付けの剛性、密閉性、およびエアダクトの位置合わせに直接関係します。技術要件には呼び径のみが記載されており、サプライヤーが自分の理解に従って作成します。商品到着後、固定穴の位置が合わず、排気口面と機器のエアダクトの位置がずれていることが判明しました。変化を起こすには遅すぎます。 Aili Industrial の 70mm 超薄型 EFU は、最小 300×300mm、最大 1500×1500mm の非標準サイズのカスタマイズをサポートします。設備図面に基づいて、全体寸法、取付穴位置、インターフェース位置を確認図に記入することができます。

まず、公称寸法、はめあい寸法、基準寸法の 3 種類の寸法を区別します。

EFU の全体寸法を技術要件と混同しないでください。少なくとも 3 つのカテゴリに分類し、明確に記述する必要があります。

公称サイズは、EFU ボックスの公称長さ、幅、高さであり、注文書やモデルの識別に使用されます。取り付け寸法とは、取り付け穴の位置と開口部、空気出口フランジの寸法、空気入口の位置、固定耳の間隔など、機器の取り付けに直接関係する寸法です。このタイプのサイズの公差要件は最も厳しく、偏差があるとアセンブリに直接影響します。参考寸法とは、ボックスの最薄部の厚さ、モーターの突出高さ、ジャンクションボックスの位置など、組み立てには関与しないが空間レイアウトに影響を与える寸法です。基準寸法ではより広い公差を与えることができますが、「基準」を明確にマークする必要があります。

技術的要件に「外形寸法: 600×600×70mm」のみが記載されている場合、供給者は長さと幅の公差、および取り付け穴の間隔の公差を±3mm に置くことができます。設備工場では組み立て時に穴の位置が合わないことが判明します。適合寸法を別途記載し、「取付穴の中心線を基準に」と記載するのが正しい書き方です。

主な合わせ面: 取り付け面、空気出口面、固定点

機器側 EFU には、公差と幾何学的要件の特別なマーキングが必要な 3 つの表面があります。

取付面は機器の板金やブラケットにフィットする面です。この表面の平坦度は、長さと幅の公差よりも重要です。取り付け表面が歪んでいると、EFU の固定後にボックスが事前に変形し、フィルター シールとエア ダクトの形状もそれに応じて変化します。技術的要件は、単に長さおよび幅の公差ではなく、「取り付け面の平面度 ≤ 0.5mm/100mm」として記述する必要があります。

排気面は、機器のエアダクトまたは作業エリアに接続される面です。空気出口の辺の長さと対角線の違いは無視されることがよくあります。ボックス内にひし形の変形があると、対角線の長さが不均一になり、空気出口面と機器の空気ダクトフランジの間にくさび形の隙間が生じ、シールストリップがしっかりと密着しなくなります。技術要件に「空気出口の対角長差 ≤ 1mm」の項目を追加する必要がある。

固定点の位置と数は、機器パネルの構造リブに対応する必要があります。穴の間隔に加えて、技術要件には「ボックスの基準端に対する固定穴の中心間の距離」と「固定穴がボックスシートの非補強領域に入ってはいけない」ことも示される必要があります。 Aili Industrial の超薄型 EFU は、側面の空気入口/出口構造のカスタマイズと、機器の空気ダクトへのフランジ インターフェイスの直接接続をサポートします。これらのインターフェイスの寸法は、機器図に基づいて確認図に項目ごとにマークされています。

寸法検査はどのような条件でどのような方法で行うのですか？

技術要件に「図面に従って試験する」と書くだけでは十分ではありません。 EFUの外形寸法の検出結果は、ボックスのフリー状態、フィルタの有無、測定点の選択、測定器の精度などの測定条件に影響されます。これらが技術要件に指定されていない場合、サプライヤーの工場データと機器工場の到着再テストが一致しない可能性があります。

技術要件に規定することを推奨します。測定状態は、フィルターなしでボックスを自由に置き、締め付け力を加えないことです。測定点はボックスの 4 辺の中点、終点から 50mm の位置で、最大値と最小値を取得します。測定具は0.02mm以上の精度を持つノギスまたは巻尺で、平面度はナイフエッジ定規と隙間ゲージを合わせたものです。記録し、工場検査表に添付してください。各EFUの長さ、幅、高さ、対角の実測値を一括購入の場合は、最初の1個は全数検査、バッチは5％検査するなど、抜き取り検査率や判定ルールも取り決めておく必要があります。適合サイズが許容範囲外の場合、バッチは完全な検査のために返送されます。

受付のポイント：到着したらまず確認すること

EFU到着後のサイズ受付の順序は、適合サイズ、呼びサイズの順となります。適合サイズにより取り付け可能かどうかが決まります。公称サイズは外観とスペースマージンにのみ影響します。具体的なアクション: 巻尺を使用して、取り付け穴の距離と固定耳の距離を確認します。直角定規を使用して排気口の対角線を確認します。 EFU を機器の設置面 (固定されていない状態) に置き、平面のフィット感を確認し、隙間ゲージを使用して隙間を測定します。空気入口および空気出口のフランジ寸法が装置の空気ダクトと一致しているかどうかを確認してください。適合寸法が公差を超えている場合は、取り付け前に対処する必要があり、ボルトを締め付けて強制的に締め付けることはできません。

Aili Industrial は、EFU を供給する際に、確認図に従って完全な機械構成を構成します。確認図には全体寸法、取付面、エアダクトフランジ位置を一つずつ記入してあります。検証時に試作機または初号機の測定寸法を確認図と比較し、同じベンチマークに基づいてバッチ実行を行います。非標準サイズのアイテムの場合、確認図はサイズ承認の唯一の基準であり、サンプル冊子の標準モデルのサイズに置き換えることはできません。

避けるべき誤解

公称寸法のみを記載し、はめあいサイズの公差を記載しないことは避けてください。取り付け穴の距離と外観の長さおよび幅を同じ公差内で混合することは避けてください。測定状況に同意せずに「図面による認定」をサプライヤーに要求することは避けるべきです。到着後に対角や平面度を確認せずに長さと幅だけを測るのは避けるべきです。承認の基準として確認図面の代わりにサンプルパラメータを使用することは避けるべきです。 EFU の外形寸法を記述するための技術要件の核心は、「すべての数値を記述する」ことではなく、公称、はめあい、基準の 3 種類の寸法を個別に定義し、テスト条件と合格シーケンスを実行可能なレベルで記述することです。

関連する質問と回答

EFUの外形寸法の一般公差はどのくらいですか?
機器側EFUの適合寸法（取付穴距離、フランジ端）は±0.5～1mm、公称長さ、幅、高さは±1～2mm、参考寸法は±3～5mmを推奨します。具体的な数値は機器取付面の加工精度やシール方法により決定します。シール要件が高くなるほど、はめあいのサイズ公差は厳しくなります。

標準サイズ以外の EFU を受け入れるにはどうすればよいですか?
確認画像をご参照ください。すべての嵌合寸法の公差、基準面、測定位置を確認図に記載する必要があります。到着後、まず取付穴の間隔とフランジサイズを確認し、取付面の平面度や排気口の対角線を確認してください。非標準 EFU の比較に標準モデルのサイズ表を使用することはお勧めできません。

EFU高さは70mmと表記されていますが、到着時の実測は72mmでした。使用できますか?
残りの設置スペースを確認してください。機器の予約高さが 80mm の場合、72mm はまだ範囲内です。予約高さ70mmの場合、2mmのズレがあると上部構造と嵌合しなかったり、干渉したりする可能性があります。技術要件には、公称高さに加えて、ボックスの高さのみに基づいて発注することを避けるために、「モーターの突出部分を含む全高さ」と「最大許容高さ」も記載する必要があります。

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Aili Industrial EFUの選択と調達のサポート

Aili Industrial の 70mm 超薄型 EFU は、最小サイズ 300×300mm、最大サイズ 1500×1500mm の非標準サイズのカスタマイズをサポートします。ボックス材質はアルミ合金、ステンレス、亜鉛メッキ板からお選びいただけます。装置のエアダクトに合わせて、側面吸排気構造とフランジインターフェイスをカスタマイズできます。設備工場は確認図に全体寸法、取付穴位置、インターフェース位置を記入することができます。アイリ工業は確認図に従って試作品とバッチを整理し、確認図とともに寸法データをファイルします。

Aili Industrial EFU 製品とカスタマイズされた構成について学びます。コンパクトモデルもチェックしてみてください。70mmの極薄EFUで機械全体の構造が見えるEFU機器のファンフィルターユニット、非標準インターフェースを表示できますカスタム EFU 。全体寸法やインターフェース構成の確認を容易にするため、機器の設置スペース寸法、合わせ面要件、見積数量をご提出ください。