Làm cách nào để chọn bộ lọc EFU mà không cần phân vùng? Hiệu quả, sức đề kháng, niêm phong và phương pháp khớp máy hoàn chỉnh

Khi chọn bộ lọc EFU không có phân vùng, lỗi phổ biến nhất là chỉ nhìn vào mức hiệu quả. H14 được viết trong bảng thông số kỹ thuật, nhà cung cấp báo giá và việc lựa chọn dường như đã hoàn tất. Nhưng sau khi bộ lọc không có phân vùng được lắp đặt trong EFU, các đặc tính điện trở của nó sẽ trực tiếp xác định xem quạt có ở điểm làm việc hay không, phương pháp bịt kín xác định xem cấu trúc hộp có cần được sửa đổi hay không, chiều cao nếp gấp và độ dày khung xác định xem không gian hàng chục milimet trong thiết bị có đủ hay không. Chọn bộ lọc không có phân vùng về cơ bản có nghĩa là chọn một thành phần phù hợp với toàn bộ máy EFU, thay vì chọn thiết bị lọc độc lập. Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm việc tự sản xuất bộ lọc và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Hiệu suất, điện trở và cấu trúc bịt kín của bộ lọc không phân vùng có thể được căn chỉnh với điểm làm việc của quạt trong cùng một hệ thống, loại bỏ nhu cầu truyền thông số giữa nhà máy sản xuất bộ lọc và nhà máy sản xuất máy hoàn chỉnh.

Mức độ hiệu quả: trước tiên hãy xem quy trình yêu cầu những gì, sau đó xem xét cách phân chia các tiêu chuẩn

Mức hiệu quả của bộ lọc không có phân vùng được chia theo tiêu chuẩn EN 1822. Hiệu suất lọc của H13 đối với các hạt 0,3μm là ≥99,95%, H14 là ≥99,995% và U15 là ≥99,9995% đối với các hạt 0,12μm. Các con số dường như không tạo ra nhiều khác biệt, nhưng trong ứng dụng EFU phía thiết bị, việc lựa chọn giữa H13 và H14 thường phụ thuộc vào độ nhạy của bộ phận xử lý với các hạt chứ không phải 'càng cao càng tốt'.

Việc lựa chọn hiệu quả bộ lọc của EFU phía thiết bị cần được xem xét cùng với việc phân chia các khu vực sạch. H14 hoặc cao hơn thường được yêu cầu ở khu vực tiếp xúc với tấm bán dẫn hoặc gần bàn làm việc liên kết; H13 có thể đủ trong khu vực cơ chế chuyển giao hoặc trong môi trường vi mô bên trong thiết bị chung. Nếu quy trình thiết bị liên quan đến giao diện liên kết nhạy cảm với boron, bạn cũng cần xác nhận loại giấy lọc - giấy lọc sợi thủy tinh truyền thống có thể giải phóng boron và vật liệu lọc PTFE là hướng tùy chọn. Nếu chọn mức hiệu suất cao, điện trở sẽ tăng, mức tiêu thụ điện năng và tiếng ồn của quạt cũng sẽ tăng tương ứng; nếu chọn mức hiệu suất thấp thì độ sạch sẽ không đạt tiêu chuẩn. Điểm khởi đầu của việc lựa chọn là yêu cầu về quy trình chứ không phải điểm cao nhất trong danh sách tiêu chuẩn.

Điểm hoạt động của điện trở và quạt: Không có vách ngăn không có nghĩa là điện trở thấp

Đặc điểm cấu trúc của bộ lọc không có vách ngăn là chất kết dính nóng chảy được sử dụng thay cho vách ngăn lá nhôm, có thể đạt được diện tích lọc lớn hơn trong cùng độ dày, nhưng điều này không có nghĩa là điện trở của nó nhất thiết phải thấp hơn so với vách ngăn. Lực cản phụ thuộc vào vật liệu giấy lọc, chiều cao nếp gấp, khoảng cách nếp gấp và tốc độ gió đầu. Các sản phẩm không có vách ngăn với chiều cao nếp gấp 55mm, 70mm và 75mm có thể giảm lực cản đồng thời cải thiện hiệu quả lọc, nhưng điều kiện tiên quyết là khoảng cách các nếp gấp đều và phân bổ luồng khí hợp lý. Nếu khoảng cách giữa các nếp gấp quá gần, lực cản ma sát của luồng không khí trong kênh giữa các nếp gấp sẽ tăng lên.

Khi chọn bộ lọc không có phân vùng, bạn phải xem xét điện trở ban đầu và điện trở cuối cùng. Điện trở ban đầu xác định xem quạt có ở vùng hiệu suất cao sau khi khởi động hay không và điện trở cuối cùng xác định xem quạt có còn chỗ để duy trì lượng không khí khi hết tuổi thọ của bộ lọc hay không. Điểm làm việc của quạt EFU được chọn dựa trên một giá trị điện trở nhất định. Nếu điện trở ban đầu của bộ lọc cao hơn 20% so với giá trị thiết kế, quạt có thể lệch khỏi điểm hiệu suất tối ưu lúc đầu; nếu quạt không còn có thể duy trì lượng không khí khi điện trở cuối cùng đạt đến ngưỡng thay thế thì độ sạch sẽ giảm xuống trước khi thay thế. Trong dự án EFU, Aili Industrial đã kiểm tra điểm làm việc của quạt theo thể tích không khí mục tiêu và đường cong trở kháng của bộ lọc, sao cho phạm vi thay đổi điện trở của bộ lọc không có vách ngăn nằm trong phạm vi có thể điều chỉnh của quạt.

Phương pháp niêm phong: Khung của bộ lọc không có phân vùng xác định cách cài đặt nó.

Thông thường có hai cách để bịt kín bộ lọc không có vách ngăn trong EFU: dùng miếng đệm kín để nén khung bộ lọc và hộp EFU, hoặc dùng bình chứa chất lỏng để bịt kín. Phốt nén có chi phí thấp và cấu trúc đơn giản nhưng có yêu cầu cao về độ phẳng của bề mặt lắp đặt hộp và tính đồng nhất của lực ép; Phớt bình chứa chất lỏng có độ tin cậy tốt hơn, nhưng yêu cầu hộp phải có cấu trúc cạnh dao và không gian chứa chất lỏng tương ứng, có thể không vừa với EFU siêu mỏng.

Khi chọn bộ lọc không có phân vùng, phương pháp niêm phong phải được xác nhận cùng với cấu trúc hộp EFU. Chất liệu và độ dày của khung lọc quyết định khung có bị biến dạng khi ép hay không - khung hợp kim nhôm đủ cứng nhưng nặng, khung tôn mạ kẽm nhẹ nhưng thành mỏng và dễ cong vênh dưới lực siết chặt của bu lông. Chất liệu (polyurethane hoặc silicone) và độ cứng của miếng đệm ảnh hưởng đến khả năng bật lại lực nén. Nếu độ cứng quá thấp thì áp suất sẽ không chặt, còn nếu độ cứng quá cao thì cần lực nén lớn hơn. Bộ lọc hiệu quả cao của Aili Industrial sử dụng chất bịt kín polyurethane hoặc silicone. Mỗi thiết bị đều được quét và kiểm tra rò rỉ từng cái một trước khi rời khỏi nhà máy. Khi EFU được lắp ráp, bề mặt bịt kín của khung bộ lọc và hộp được đánh dấu bằng phương pháp nén và các yêu cầu về lượng nén trong sơ đồ xác nhận.

Khớp toàn bộ máy: thay đổi hướng và hạn chế về không gian

Một khía cạnh lựa chọn khác cho các bộ lọc không có vách ngăn là hướng thay đổi. EFU phía thiết bị được lắp đặt bên trong máy và việc thay thế bộ lọc thường cần được hoàn thành trong một không gian hạn chế. Thay thế phần dưới, phần bên hoặc phần trên tùy thuộc vào vị trí lắp đặt và cấu trúc xung quanh của EFU. Khi chọn bộ lọc, hãy đảm bảo có tay cầm hoặc rãnh khía trên khung để thuận tiện cho việc tháo và lắp đặt cũng như có cần thêm khoảng trống khi bộ lọc được kéo ra khỏi hộp hay không.

EFU siêu mỏng (chẳng hạn như mẫu có độ dày 70mm) có các ràng buộc chặt chẽ hơn về độ dày của bộ lọc. Bản thân bộ lọc không có vách ngăn sẽ mỏng hơn bộ lọc có vách ngăn, nhưng độ dày của khung và phần nhô ra của miếng đệm vẫn chiếm không gian trục Z. Khi lựa chọn, tổng chiều cao bao gồm cả miếng đệm kín phải được so sánh với chiều cao rõ ràng bên trong hộp EFU, thay vì chỉ độ dày danh nghĩa của bộ lọc. EFU siêu mỏng 70mm của Aili Industrial có thể được cấu hình với các thông số kỹ thuật của bộ lọc và hướng thay thế theo bản vẽ thiết bị. Mối quan hệ lắp ráp giữa bộ lọc và hộp được đánh dấu trên bản vẽ xác nhận.

Những hiểu lầm cần tránh

Bạn nên tránh việc chỉ chọn bộ lọc dựa trên mức hiệu suất mà không kiểm tra điện trở và điểm hoạt động của quạt. Bạn nên tránh đánh đồng không có phân vùng với điện trở thấp. Bạn nên tránh lựa chọn các bộ lọc có khung quá dày hoặc các miếng đệm nhô ra quá mức trong các EFU siêu mỏng. Bạn nên tránh đặt hàng mà không xác nhận hướng thay thế. Bạn nên tránh sử dụng các thông số mẫu bộ lọc để thay thế dữ liệu thể tích không khí thực tế của máy hoàn chỉnh EFU sau khi lắp ráp. Cốt lõi của việc lựa chọn bộ lọc không phân vùng EFU không phải là 'miễn là hiệu suất đủ cao', mà là các phương pháp hiệu quả, điện trở, bịt kín và thay thế tạo thành một sự phù hợp có thể lắp ráp, vận hành và bảo trì với máy hoàn chỉnh EFU.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Tôi nên chọn H13 hay H14 cho bộ lọc không phân vùng EFU?
Nhìn vào sự phân chia khu vực sạch sẽ bên trong thiết bị. H14 thường được yêu cầu ở những khu vực lộ thiên của tấm bán dẫn hoặc gần các bề mặt liên kết; H13 có thể đủ trong các khu vực chuyển giao hoặc môi trường vi mô chung. Nếu hiệu suất được chọn cao hơn một mức, điện trở sẽ tăng lên và mức tiêu thụ điện năng cũng như tiếng ồn của quạt sẽ tăng tương ứng. Nó cần được kiểm tra bằng điểm vận hành của quạt và bạn không thể chỉ nhìn vào con số hiệu suất.

Bộ lọc không có vách ngăn có điện trở thấp hơn bộ lọc có vách ngăn không?
không chắc chắn. Cấu trúc không có vách ngăn có thể đạt được diện tích lọc lớn hơn với cùng độ dày, nhưng điện trở phụ thuộc vào giấy lọc, chiều cao nếp gấp và tốc độ gió ngược. Khi khoảng cách các nếp gấp quá gần hoặc vật liệu lọc được chọn không đúng cách, điện trở có thể không thấp. Khi chọn model, bạn nên nhìn vào đường cong thể tích sức cản không khí do nhà cung cấp cung cấp, thay vì chỉ dựa vào dòng chữ “không có vách ngăn”.

Bộ lọc EFU siêu mỏng cần bao nhiêu không gian?
Phụ thuộc vào hướng thay thế. Việc thay thế phía dưới yêu cầu không gian khai thác bên dưới bộ lọc và việc thay thế bên cạnh yêu cầu khoảng trống bên. Khi chọn, hãy xác nhận xem khung bộ lọc có tay cầm hay không và có cần nghiêng khi kéo ra không. Không gian bên trong của EFU siêu mỏng rất chật. Nên đánh dấu đường dẫn thay thế trong sơ đồ xác nhận thay vì đưa ra đánh giá tại chỗ sau khi đến nơi.

Bài viết liên quan

Làm thế nào để tính tốc độ gió bề mặt EFU? Cách xác định diện tích lọc hiệu quả và tốc độ gió trung bình

Làm thế nào để chọn bộ lọc EFU siêu mỏng? Kích thước, diện tích hiệu dụng, điện trở và hướng thay thế

Làm thế nào để xác nhận con dấu lắp đặt EFU? Bản vẽ thiết bị, điều kiện lắp đặt và phương pháp nghiệm thu

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ lựa chọn và mua sắm EFU công nghiệp Aili

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm việc tự sản xuất bộ lọc và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Bộ lọc không phân vùng có thể phù hợp với mức hiệu suất và thông số điện trở tùy theo thể tích không khí mục tiêu EFU và điểm vận hành quạt. Cấu trúc niêm phong và hướng thay thế được đánh dấu cùng với hộp trong sơ đồ xác nhận. Đối với các mẫu siêu mỏng, có thể kiểm tra mối quan hệ lắp ráp giữa tổng chiều cao của bộ lọc bao gồm miếng đệm kín và chiều cao thực của hộp theo bản vẽ thiết bị.

Tìm hiểu về các sản phẩm EFU công nghiệp của Aili và cấu hình tùy chỉnh. Kiểm tra các mô hình nhỏ gọn.EFU siêu mỏng 70mm , có thể xem được toàn bộ kết cấu máyBộ lọc quạt thiết bị EFU , giao diện không chuẩn có thể được xemEFU tùy chỉnh , gói lọc có thể được xemBộ lọc không khí HEPA và ULPA . Vui lòng gửi các yêu cầu về mức độ sạch của thiết bị, kiểu máy EFU và kích thước không gian lắp đặt để tạo điều kiện thuận lợi cho việc xác nhận hiệu quả của bộ lọc, điện trở và cấu hình bịt kín.