Wie wähle ich einen EFU-Filter ohne Partition? Effizienz, Widerstandsfähigkeit, Abdichtung und vollständige Maschinenanpassungsmethoden

Bei der Auswahl eines EFU-Filters ohne Trennwände besteht der häufigste Fehler darin, nur auf den Wirkungsgrad zu achten. H14 steht im Lastenheft, der Lieferant hat den Preis angegeben und die Auswahl scheint abgeschlossen zu sein. Aber nachdem der trennwandlose Filter in der EFU installiert ist, bestimmen seine Widerstandseigenschaften direkt, ob sich der Lüfter am Arbeitspunkt befindet, die Dichtungsmethode bestimmt, ob die Kastenstruktur geändert werden muss, und die Faltenhöhe und Rahmendicke bestimmen, ob der Platz im Gerät im Dutzendmillimeterbereich ausreicht. Die Wahl eines Filters ohne Partitionen bedeutet im Wesentlichen die Wahl einer Komponente, die zur gesamten EFU-Maschine passt, und nicht die Wahl eines unabhängigen Filtergeräts. Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst die Filter-Eigenproduktion und die komplette Maschinenmontage. Die Effizienz, der Widerstand und die Dichtungsstruktur des trennwandlosen Filters können an den Betriebspunkt des Ventilators im selben System angepasst werden, wodurch die Notwendigkeit entfällt, Parameter zwischen der Filterfabrik und der gesamten Maschinenfabrik zu übertragen.

Effizienzniveau: Schauen Sie sich zunächst an, was der Prozess erfordert, und schauen Sie sich dann an, wie die Standards aufgeteilt sind

Der Wirkungsgrad des Filters ohne Trennwände ist nach der Norm EN 1822 unterteilt. Die Filtrationseffizienz von H13 für 0,3 μm große Partikel beträgt ≥99,95 %, H14 beträgt ≥99,995 % und U15 beträgt ≥99,9995 % für 0,12 μm große Partikel. Die Zahlen scheinen keinen großen Unterschied zu machen, aber bei der Anwendung von geräteseitigem EFU hängt die Wahl zwischen H13 und H14 oft von der Empfindlichkeit des Prozessabschnitts gegenüber Partikeln ab und nicht von „je höher, desto besser“.

Die Auswahl der Filtereffizienz der geräteseitigen EFU sollte zusammen mit der Aufteilung der Reinbereiche berücksichtigt werden. H14 oder höher ist normalerweise im Wafer-Belichtungsbereich oder in der Nähe der Bonding-Werkbank erforderlich; H13 kann im Bereich des Übertragungsmechanismus oder in der allgemeinen internen Mikroumgebung der Ausrüstung ausreichend sein. Wenn der Anlagenprozess eine borempfindliche Bindungsschnittstelle beinhaltet, müssen Sie auch den Filterpapiertyp bestätigen – herkömmliches Glasfaserfilterpapier kann Bor freisetzen, und PTFE-Filtermaterial ist eine optionale Richtung. Wird der Wirkungsgrad hoch gewählt, erhöht sich der Widerstand und entsprechend erhöhen sich der Stromverbrauch und die Geräuschentwicklung des Lüfters; Wird die Effizienzstufe niedrig gewählt, wird die Sauberkeit nicht dem Standard entsprechen. Ausgangspunkt für die Auswahl sind Prozessanforderungen, nicht die höchste Note auf der Standardliste.

Widerstand und Betriebspunkt des Ventilators: Keine Trennwand bedeutet nicht, dass der Widerstand niedrig ist

Das Konstruktionsmerkmal des Filters ohne Trennwände besteht darin, dass Schmelzklebstoff anstelle von Trennwänden aus Aluminiumfolie verwendet wird, wodurch bei gleicher Dicke eine größere Filterfläche erreicht werden kann. Dies bedeutet jedoch nicht, dass sein Widerstand zwangsläufig geringer ist als bei Trennwänden. Der Widerstand hängt vom Filterpapiermaterial, der Faltenhöhe, dem Faltenabstand und der Gegenwindgeschwindigkeit ab. Trennwandlose Produkte mit Faltenhöhen von 55 mm, 70 mm und 75 mm können den Widerstand verringern und gleichzeitig die Filtereffizienz verbessern. Voraussetzung ist jedoch, dass der Faltenabstand gleichmäßig und die Luftstromverteilung angemessen ist. Wenn der Faltenabstand zu gering ist, erhöht sich der Reibungswiderstand des Luftstroms im Zwischenfaltenkanal.

Wenn Sie einen Filter ohne Trennwände wählen, müssen Sie betrachten . den Anfangswiderstand und den Endwiderstand zusammen Der Anfangswiderstand bestimmt, ob sich der Lüfter nach dem Start in der Hocheffizienzzone befindet, und der Endwiderstand bestimmt, ob der Lüfter am Ende der Filterlebensdauer noch Platz hat, um die Luftmenge aufrechtzuerhalten. Der Lüfterarbeitspunkt von EFU wird basierend auf einem bestimmten Widerstandswert ausgewählt. Liegt der Anfangswiderstand des Filters um 20 % über dem Auslegungswert, kann es sein, dass der Ventilator zu Beginn vom optimalen Wirkungsgradpunkt abweicht; Wenn der Ventilator die Luftmenge nicht mehr aufrechterhalten kann, wenn der Endwiderstand die Austauschschwelle erreicht, sinkt die Sauberkeit vor dem Austausch. Im EFU-Projekt überprüfte Aili Industrial den Betriebspunkt des Ventilators anhand der Zielluftmenge und der Filterwiderstandskurve, sodass der Widerstandsänderungsbereich des Filters ohne Trennwände in den einstellbaren Bereich des Ventilators fällt.

Dichtungsmethode: Der Rahmen des Filters ohne Trennwände bestimmt, wie er installiert wird.

Normalerweise gibt es zwei Möglichkeiten, den Filter ohne Trennwände in der EFU abzudichten: Eine Dichtung wird verwendet, um den Filterrahmen und die EFU-Box zusammenzudrücken, oder ein Flüssigkeitstank wird zur Abdichtung verwendet. Die Kompressionsdichtung ist kostengünstig und einfach aufgebaut, stellt jedoch hohe Anforderungen an die Ebenheit der Boxinstallationsoberfläche und die Gleichmäßigkeit der Presskraft. Die Flüssigkeitstankdichtung ist zuverlässiger, erfordert jedoch eine entsprechende Messerkantenstruktur und einen Flüssigkeitstankraum im Kasten, der möglicherweise nicht in die ultradünne EFU passt.

Bei der Auswahl eines Filters ohne Trennwände muss die Dichtungsmethode zusammen mit der EFU-Boxstruktur bestätigt werden. Das Material und die Dicke des Filterrahmens bestimmen, ob sich der Rahmen beim Drücken verformt – der Rahmen aus Aluminiumlegierung ist steif genug, aber schwer, und der Rahmen aus verzinktem Blech ist leicht, aber dünnwandig und verzieht sich unter der Vorspannkraft der Schrauben leicht. Das Material (Polyurethan oder Silikon) und die Härte der Dichtung beeinflussen den Kompressionsrückprall. Wenn die Härte zu niedrig ist, ist der Druck nicht ausreichend, und wenn die Härte zu hoch ist, ist eine größere Kompressionskraft erforderlich. Die hocheffizienten Filter von Aili Industrial verwenden Polyurethan- oder Silikondichtmittel. Jede Einheit wird einzeln gescannt und auf Dichtheit geprüft, bevor sie das Werk verlässt. Wenn die EFU zusammengebaut ist, wird die Dichtfläche des Filterrahmens und des Kastens im Bestätigungsdiagramm mit der Kompressionsmethode und den Anforderungen an die Kompressionsmenge markiert.

Abstimmung der gesamten Maschine: Richtungswechsel und Platzbeschränkungen

Eine weitere Auswahldimension für bafflelose Filter ist die Richtung der Änderung. Die geräteseitige EFU ist im Inneren der Maschine installiert und der Filterwechsel muss oft auf engstem Raum durchgeführt werden. Der Austausch des Bodens, der Seite oder des Oberteils hängt vom Installationsort und der umgebenden Struktur der EFU ab. Achten Sie bei der Auswahl eines Filters darauf, dass Griffe oder Kerben am Rahmen vorhanden sind, die den Aus- und Einbau erleichtern, und ob beim Herausziehen des Filters aus der Verpackung zusätzlicher Freiraum erforderlich ist.

Bei ultradünnen EFUs (z. B. dem Modell mit einer Dicke von 70 mm) gelten strengere Einschränkungen hinsichtlich der Dicke des Filters. Der Filter selbst ohne Trennwand ist dünner als einer mit Trennwand, aber die Dicke des Rahmens und der Vorsprung der Dichtung nehmen immer noch den Raum auf der Z-Achse ein. Bei der Auswahl sollte die Gesamthöhe einschließlich der Dichtung mit der lichten Innenhöhe des EFU-Kastens verglichen werden und nicht nur mit der Nenndicke des Filters. Die ultradünne 70-mm-EFU von Aili Industrial kann mit Filterspezifikationen und Austauschanweisungen gemäß den Gerätezeichnungen konfiguriert werden. Die Montagebeziehung zwischen Filter und Kasten ist in der Bestätigungszeichnung angegeben.

Missverständnisse, die es zu vermeiden gilt

Sie sollten es vermeiden, Filter nur nach Effizienzgrad auszuwählen, ohne den Widerstand und den Betriebspunkt des Lüfters zu überprüfen. Es sollte vermieden werden, keine Trennwände mit geringem Widerstand gleichzusetzen. Sie sollten es vermeiden, Filter mit zu dicken Rahmen oder übermäßig hervorstehenden Dichtungen in ultradünnen EFUs zu wählen. Sie sollten es vermeiden, Bestellungen aufzugeben, ohne die Ersatzrichtung zu bestätigen. Sie sollten es vermeiden, Filterbeispielparameter zu verwenden, um die tatsächlichen Luftvolumendaten der EFU-Komplettmaschine nach der Montage zu ersetzen. Der Kern der Auswahl von trennwandlosen EFU-Filtern besteht nicht darin, „solange die Effizienz hoch genug ist“, sondern darin, dass Effizienz, Widerstandsfähigkeit, Abdichtung und Austauschmethoden eine montierbare, betriebsfähige und wartbare Übereinstimmung mit der EFU-Komplettmaschine bilden.

Verwandte Fragen und Antworten

Sollte ich H13 oder H14 für den partitionslosen EFU-Filter wählen?
Schauen Sie sich die Aufteilung der sauberen Bereiche innerhalb des Geräts an. H14 ist typischerweise in exponierten Bereichen des Wafers oder in der Nähe von Bondschnittstellen erforderlich; H13 kann in Transferbereichen oder allgemeinen Mikroumgebungen ausreichend sein. Wird der Wirkungsgrad um eine Stufe höher gewählt, erhöht sich der Widerstand und entsprechend erhöhen sich auch die Leistungsaufnahme und Geräuschentwicklung des Lüfters. Es muss anhand des Betriebspunkts des Lüfters überprüft werden, und Sie können nicht nur auf die Effizienzzahl schauen.

Hat ein Filter ohne Leitbleche einen geringeren Widerstand als ein Filter mit Leitblechen?
unsicher. Die trennwandlose Struktur kann bei gleicher Dicke eine größere Filterfläche erreichen, der Widerstand hängt jedoch vom Filterpapier, der Faltenhöhe und der Gegenwindgeschwindigkeit ab. Wenn der Faltenabstand zu gering ist oder das Filtermaterial falsch ausgewählt ist, ist der Widerstand möglicherweise nicht niedrig. Bei der Auswahl eines Modells sollten Sie sich die vom Anbieter bereitgestellte Widerstands-Luftvolumen-Kurve ansehen und sich nicht nur auf die Worte „keine Trennwände“ verlassen.

Wie viel Platz benötigt ein ultradünner EFU-Filter?
Hängt von der Austauschrichtung ab. Für den Bodenaustausch ist Absaugraum unter dem Filter erforderlich, für den Seitenaustausch ist seitlicher Freiraum erforderlich. Achten Sie bei der Auswahl darauf, ob der Filterrahmen über einen Griff verfügt und ob dieser beim Herausziehen gekippt werden muss. Der Innenraum des ultradünnen EFU ist eng. Es wird empfohlen, den Ersatzweg im Bestätigungsdiagramm zu markieren, anstatt nach der Ankunft vor Ort ein Urteil zu fällen.

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Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrial EFU-Auswahl und Beschaffungsunterstützung

Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst die Filter-Eigenproduktion und die komplette Maschinenmontage. Der trennwandlose Filter kann den Wirkungsgrad und die Widerstandsspezifikationen entsprechend dem EFU-Zielluftvolumen und dem Betriebspunkt des Ventilators anpassen. Die Dichtungsstruktur und die Austauschrichtung sind zusammen mit dem Kästchen im Bestätigungsdiagramm markiert. Bei ultradünnen Modellen kann das Montageverhältnis zwischen der Gesamthöhe des Filters einschließlich der Dichtung und der Nettohöhe des Kastens anhand der Gerätezeichnungen überprüft werden.

Erfahren Sie mehr über die EFU-Produkte und kundenspezifischen Konfigurationen von Aili Industrial. Schauen Sie sich die Kompaktmodelle an.70 mm ultradünnes EFU , die gesamte Maschinenstruktur kann betrachtet werdenEFU-Geräteventilator-Filtereinheit , nicht standardmäßige Schnittstelle kann angezeigt werdenAngepasstes EFU , Filterpaket kann angezeigt werdenHEPA- und ULPA-Luftfilter . Bitte reichen Sie die Anforderungen an den Reinheitsgrad der Ausrüstung, das EFU-Modell und die Abmessungen des Installationsraums ein, um die Bestätigung der Filtereffizienz, des Widerstands und der Dichtungskonfiguration zu erleichtern.