Comment choisir un filtre EFU sans cloison ? Méthodes d'efficacité, de résistance, d'étanchéité et d'adaptation complète des machines

Lors de la sélection d'un filtre EFU sans cloisons, l'erreur la plus courante est de ne considérer que le niveau d'efficacité. H14 est écrit dans la fiche technique, le fournisseur a indiqué le prix et la sélection semble terminée. Mais une fois le filtre sans cloison installé dans l'EFU, ses caractéristiques de résistance déterminent directement si le ventilateur est au point de fonctionnement, la méthode d'étanchéité détermine si la structure du caisson doit être modifiée, et la hauteur du pli et l'épaisseur du cadre déterminent si les dizaines de millimètres d'espace dans l'équipement sont suffisants. Choisir un filtre sans cloisons signifie essentiellement choisir un composant qui correspond à l'ensemble de la machine EFU, plutôt que de choisir un dispositif de filtrage indépendant. Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre l'autoproduction de filtres et l'assemblage complet de machines. L'efficacité, la résistance et la structure d'étanchéité du filtre sans cloison peuvent être alignées sur le point de fonctionnement du ventilateur dans le même système, éliminant ainsi le besoin de transférer les paramètres entre l'usine de filtres et l'usine complète de la machine.

Niveau d'efficacité : regardez d'abord ce que le processus exige, puis regardez comment les normes sont divisées

Le niveau d'efficacité du filtre sans cloisons est divisé selon la norme EN 1822. L'efficacité de filtration du H13 pour les particules de 0,3 μm est ≥99,95 %, du H14 est ≥99,995 % et de l'U15 est ≥99,9995 % pour les particules de 0,12 μm. Les chiffres ne semblent pas faire une grande différence, mais dans l'application de l'EFU côté équipement, le choix entre H13 et H14 dépend souvent de la sensibilité de la section du processus aux particules, plutôt que de « plus c'est mieux ».

La sélection de l’efficacité du filtre de l’EFU côté équipement doit être prise en compte ainsi que la division des zones propres. H14 ou supérieur est généralement requis dans la zone d’exposition des plaquettes ou à proximité de l’établi de collage ; H13 peut être suffisant dans la zone du mécanisme de transfert ou dans le microenvironnement interne de l'équipement général. Si le processus de l'équipement implique une interface de liaison sensible au bore, vous devez également confirmer le type de papier filtre : le papier filtre en fibre de verre traditionnel peut libérer du bore, et le matériau filtrant PTFE est une direction facultative. Si le niveau d'efficacité est sélectionné élevé, la résistance augmentera et la consommation électrique et le bruit du ventilateur augmenteront en conséquence ; si le niveau d'efficacité est sélectionné faible, la propreté ne sera pas conforme à la norme. Le point de départ de la sélection est les exigences du processus, et non la note la plus élevée de la liste standard.

Résistance et point de fonctionnement du ventilateur : Pas de cloison ne veut pas dire faible résistance

La caractéristique structurelle du filtre sans cloisons est qu'un adhésif thermofusible est utilisé à la place des cloisons en feuille d'aluminium, ce qui permet d'obtenir une plus grande surface de filtration sous la même épaisseur, mais cela ne signifie pas que sa résistance est nécessairement inférieure à celle des cloisons. La résistance dépend du matériau du papier filtre, de la hauteur des plis, de l'espacement des plis et de la vitesse du vent contraire. Les produits sans cloison avec des hauteurs de plis de 55 mm, 70 mm et 75 mm peuvent réduire la résistance tout en améliorant l'efficacité de la filtration, mais le principe est que l'espacement des plis est uniforme et que la répartition du flux d'air est raisonnable. Si l'espacement des plis est trop rapproché, la résistance de friction du flux d'air dans le canal inter-plis augmentera.

Lors du choix d’un filtre sans cloisons, vous devez regarder ensemble la résistance initiale et la résistance finale . La résistance initiale détermine si le ventilateur se trouve dans la zone à haut rendement après le démarrage, et la résistance finale détermine si le ventilateur dispose de suffisamment d'espace pour maintenir le volume d'air à la fin de la durée de vie du filtre. Le point de fonctionnement du ventilateur de l'EFU est sélectionné en fonction d'une certaine valeur de résistance. Si la résistance initiale du filtre est 20 % supérieure à la valeur de conception, le ventilateur peut s'écarter du point d'efficacité optimal au début ; si le ventilateur ne parvient plus à maintenir le volume d'air lorsque la résistance finale atteint le seuil de remplacement, la propreté baissera avant le remplacement. Dans le projet EFU, Aili Industrial a vérifié le point de fonctionnement du ventilateur en fonction du volume d'air cible et de la courbe de résistance du filtre, de sorte que la plage de changement de résistance du filtre sans cloisons se situe dans la plage réglable du ventilateur.

Méthode de scellement : Le cadre du filtre sans cloisons détermine la manière de l'installer.

Il existe généralement deux manières de sceller le filtre sans cloisons dans l'EFU : un joint d'étanchéité est utilisé pour comprimer le cadre du filtre et le boîtier de l'EFU, ou un réservoir de liquide est utilisé pour sceller. Le joint de compression présente un faible coût et une structure simple, mais présente des exigences élevées en matière de planéité de la surface d'installation du boîtier et d'uniformité de la force de pression ; le joint du réservoir de liquide a une meilleure fiabilité, mais nécessite que la boîte ait une structure de bord de couteau et un espace de réservoir de liquide correspondants, qui peuvent ne pas tenir dans l'EFU ultra-mince.

Lors du choix d'un filtre sans cloisons, la méthode d'étanchéité doit être confirmée ainsi que la structure du caisson EFU. Le matériau et l'épaisseur du cadre du filtre déterminent si le cadre se déformera lorsqu'il sera pressé - le cadre en alliage d'aluminium est suffisamment rigide mais lourd, et le cadre en tôle galvanisée est léger mais à paroi mince et facile à déformer sous la force de préserrage des boulons. Le matériau (polyuréthane ou silicone) et la dureté du joint affectent le rebond en compression. Si la dureté est trop faible, la pression ne sera pas serrée, et si la dureté est trop élevée, une force de compression plus importante sera nécessaire. Les filtres à haute efficacité d'Aili Industrial utilisent un mastic polyuréthane ou silicone. Chaque unité est scannée et testée pour détecter les fuites une par une avant de quitter l'usine. Lorsque l'EFU est assemblé, la surface d'étanchéité du cadre du filtre et de la boîte est marquée avec les exigences de méthode de compression et de quantité de compression dans le diagramme de confirmation.

Adaptation de l'ensemble de la machine : changement de direction et contraintes d'espace

Une autre dimension de sélection pour les filtres sans chicane est la direction du changement. L'EFU côté équipement est installé à l'intérieur de la machine et le remplacement du filtre doit souvent être effectué dans un espace limité. Le remplacement par le bas, le remplacement par le côté ou le remplacement par le haut dépend de l'emplacement d'installation et de la structure environnante de l'EFU. Lors de la sélection d'un filtre, assurez-vous qu'il y a des poignées ou des encoches sur le cadre qui facilitent le retrait et l'installation, et si un espace supplémentaire est nécessaire lorsque le filtre est retiré de la boîte.

L'EFU ultra-mince (comme le modèle de 70 mm d'épaisseur) a des contraintes plus strictes sur l'épaisseur du filtre. Le filtre lui-même sans cloison est plus fin qu'un filtre avec cloison, mais l'épaisseur du cadre et la saillie du joint occupent toujours l'espace de l'axe Z. Lors de la sélection, la hauteur totale, y compris le joint d'étanchéité, doit être comparée à la hauteur libre interne du boîtier EFU, plutôt qu'à la seule épaisseur nominale du filtre. L'EFU ultra-mince de 70 mm d'Aili Industrial peut être configuré avec des spécifications de filtre et des instructions de remplacement selon les dessins de l'équipement. La relation d'assemblage entre le filtre et la boîte est marquée sur le dessin de confirmation.

Des malentendus à éviter

Vous devez éviter de sélectionner des filtres uniquement en fonction du niveau d'efficacité sans vérifier la résistance et le point de fonctionnement du ventilateur. Vous devez éviter d’assimiler l’absence de cloison à une faible résistance. Il faut éviter de choisir des filtres avec des cadres trop épais ou des joints trop saillants dans les EFU ultra-fins. Vous devez éviter de passer des commandes sans confirmer la direction de remplacement. Vous devez éviter d'utiliser les paramètres d'échantillon de filtre pour remplacer les données réelles de volume d'air de la machine complète EFU après l'assemblage. Le cœur de la sélection des filtres sans cloison EFU n'est pas « tant que l'efficacité est suffisamment élevée », mais que l'efficacité, la résistance, l'étanchéité et les méthodes de remplacement forment une correspondance assemblable, exploitable et maintenable avec la machine complète EFU.

Questions et réponses connexes

Dois-je choisir H13 ou H14 pour le filtre sans cloison EFU ?
Regardez la division des zones propres à l'intérieur de l'équipement. H14 est généralement requis dans les zones exposées de la tranche ou à proximité des interfaces de liaison ; H13 peut être suffisant dans les zones de transfert ou dans les microenvironnements généraux. Si l'efficacité est sélectionnée pour être d'un niveau supérieur, la résistance augmentera et la consommation électrique et le bruit du ventilateur augmenteront en conséquence. Il doit être vérifié avec le point de fonctionnement du ventilateur, et vous ne pouvez pas simplement regarder le chiffre d'efficacité.

Un filtre sans chicanes a-t-il une résistance inférieure à celle d’un filtre avec chicanes ?
incertain. La structure sans cloison peut atteindre une plus grande surface de filtration sous la même épaisseur, mais la résistance dépend du papier filtre, de la hauteur du pli et de la vitesse du vent contraire. Lorsque l'espacement des plis est trop rapproché ou que le matériau filtrant est mal sélectionné, la résistance peut ne pas être faible. Lors de la sélection d'un modèle, vous devez regarder la courbe résistance-volume d'air fournie par le fournisseur, plutôt que de vous fier uniquement aux mots « pas de cloisons ».

De combien d'espace un filtre EFU ultra-fin a-t-il besoin ?
Cela dépend du sens de remplacement. Le remplacement par le bas nécessite un espace d'extraction sous le filtre et le remplacement par le côté nécessite un dégagement latéral. Lors de la sélection, vérifiez si le cadre du filtre est doté d'une poignée et s'il doit être incliné lors du retrait. L'espace interne de l'EFU ultra-mince est restreint. Il est recommandé de marquer le chemin de remplacement dans le schéma de confirmation au lieu de porter un jugement sur place après l'arrivée.

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Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Aili Industrial EFU sélection et assistance à l’approvisionnement

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre l'autoproduction de filtres et l'assemblage complet de machines. Le filtre sans cloison peut correspondre aux spécifications de niveau d'efficacité et de résistance en fonction du volume d'air cible de l'EFU et du point de fonctionnement du ventilateur. La structure d'étanchéité et le sens de remplacement sont marqués avec la case dans le schéma de confirmation. Pour les modèles ultra-fins, le rapport d'assemblage entre la hauteur totale du filtre y compris le joint d'étanchéité et la hauteur nette du boîtier peut être vérifié selon les dessins de l'équipement.

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