Comment configurer l'équipement d'emballage avancé EFU ? Points clés de la zone propre, de la filtration du volume d'air et de l'interface de l'équipement

La configuration EFU d'équipements d'emballage avancés et le plafond traditionnel de salle blanche FFU sont deux ensembles de logique. Le tube FFU au plafond fait référence au nombre de changements d'air dans le grand espace, et le tube EFU côté équipement fait référence au microenvironnement local sur le trajet de mouvement de la tranche ou du substrat à l'intérieur de l'équipement. Les processus d'emballage avancés (liaison hybride, brasage par refusion à l'acide formique et brasage flip-chip) ne sont pas beaucoup plus tolérants aux contaminants particulaires et moléculaires que le processus précédent, mais l'espace sur l'axe Z laissé pour le module de purification à l'intérieur de l'équipement n'est souvent que de quelques dizaines de millimètres. Lors de la configuration de l'EFU, vous devez d'abord définir clairement les zones propres à l'intérieur de l'équipement, puis sélectionner le type en fonction du volume d'air et du niveau de filtration de chaque zone, et enfin confirmer si les interfaces de l'EFU et la commande principale de l'équipement, le conduit d'air et l'interface d'installation peuvent être alignés. Ai Li industrielL'EFU ultra-mince de 70 mm est spécialement conçu pour les micro-environnements côté appareil tels que EFEM et Load Port. Il prend en charge les niveaux de filtre de H13/H14 à U15/U16 et l'interface de contrôle RS485/Modbus. Il peut vérifier la configuration complète de la machine selon les dessins de l'équipement dans un espace limité.

Zone propre : commencez par tracer des limites, puis déterminez les niveaux

Les exigences de propreté au sein des équipements d’emballage avancés ne sont pas uniformes. La propreté de la zone de travail de la machine de collage hybride peut atteindre le niveau ISO 3. La configuration EFU de l'équipement de soudage par refusion à l'acide formique est marquée par une efficacité H14, une vitesse du vent réglable et une fonction de communication. Différentes sections du processus ont des exigences différentes en matière de particules et d'AMC, et l'EFU ne peut pas être une solution unique pour l'ensemble de la machine.

Avant la configuration, l'intérieur de l'équipement doit être divisé en trois types de zones : la zone exposée plaquette/substrat (EFEM interne, interface Load Port, établi de liaison) nécessite le niveau de propreté le plus élevé et un flux laminaire stable ; la zone du mécanisme de transmission (course du robot, rail de guidage) doit supprimer la diffusion des particules provoquée par le mouvement ; la périphérie de la chambre de traitement (près du brasage par refusion, tête de placement) peut devoir traiter des polluants moléculaires générés par le processus lui-même. Le nombre d'EFU, l'emplacement d'installation et le niveau de filtration dans chaque zone doivent être confirmés séparément, plutôt que répartis uniformément en fonction de la zone extérieure de l'équipement.

Ai Li IndustrielLes scénarios d'application de l'EFU ultra-mince de 70 mm couvrent clairement les micro-environnements des équipements semi-conducteurs tels que l'EFEM, le port de chargement et les trieurs de plaquettes. Il prend en charge le filtre ultra-fin PTFE sans bore en option pour répondre aux besoins sensibles des processus avancés de pollution par le bore.

Volume d'air et filtration : « assez » côté équipement est plus difficile que « grand »

La difficulté de sélectionner le volume d'air de l'EFU côté équipement n'est pas la valeur maximale, mais l'uniformité et la stabilité à la vitesse du vent cible . La surface de sortie d'air de l'EFU à l'intérieur des équipements d'emballage avancés est souvent proche du trajet de la tranche, et des vitesses de vent inégales se traduiront directement par des turbulences locales ou un dépôt de particules. Aili Industrial 70 mm EFU prend en charge le réglage continu de la vitesse du vent en surface de 0,35 à 0,45 m/s, et l'uniformité du flux d'air sur la surface de sortie est contrôlée en fonction des exigences de l'équipement. Pour les processus tels que le brasage par refusion à l'acide formique, l'EFU doit également maintenir une efficacité de filtration stable dans des atmosphères corrosives ou des environnements à haute température. Le niveau H14 est un point de départ courant. Pour la méthode de calcul de la surface du filtre et de la vitesse du vent face, veuillez vous référer àComment calculer la vitesse du vent à la surface de l'EFU ? Comment déterminer la zone de filtration efficace et la vitesse moyenne du vent .

La sélection du niveau de filtration doit faire la distinction entre les lignes de particules et AMC. La filtration des particules détermine H13/H14 ou U15/U16 selon la section du procédé ; Le contrôle AMC nécessite une confirmation supplémentaire du type de filtre. Le papier filtre traditionnel en fibre de verre peut libérer du bore, ce qui présente un risque de contamination de l'interface de liaison dans les emballages avancés. Un filtre PTFE sans bore est une option. Si le processus de l'équipement implique des substances volatiles organiques ou des gaz acides, un filtre chimique doit être configuré à l'extérieur ou à l'intérieur de l'EFU. Cependant, cela augmentera la résistance au vent et le point de fonctionnement du ventilateur devra être revérifié lors de la sélection du modèle. Pour les types de correspondance de filtres, veuillez vous référer àles filtres à air HEPA et ULPA .Instructions dans

Actions clés pour la vérification du volume d'air : Ne vous contentez pas de regarder le volume d'air nominal sur l'échantillon EFU. Les fournisseurs sont tenus de fournir des données sur la distribution de la vitesse du vent sur la surface de sortie d'air dans des conditions d'installation cibles (y compris les filtres et la contre-pression interne de l'équipement). Le côté sortie d’air de l’EFU à l’intérieur de l’équipement fait souvent face au bras robotique ou à la plate-forme porteuse. La contre-pression est différente de celle d'une plate-forme ouverte et le volume d'air nominal peut chuter de plus de 20 % dans l'équipement.

Interface de l'équipement : trois interfaces : électrique, conduit d'air et installation

La plus grande différence entre l’EFU côté appareil et la FFU générale réside dans l’interface. Le FFU universel est installé en fonction de la quille du plafond et contrôlé par l'interrupteur mural ; l'EFU côté équipement doit être intégré dans la tôle de l'équipement, connecté au PLC de l'équipement et connecté au conduit d'air de l'équipement. Lors de la configuration, vous devez confirmer les trois interfaces une par une.

Interface électrique . Le réglage de la vitesse et le retour d'état de l'EFU doivent être liés à la commande principale de l'équipement. Ai Li IndustrielL'EFU ultra-mince de 70 mm prend en charge le protocole RS485/Modbus et peut être lié et contrôlé en groupe avec l'automate de l'équipement. Veuillez vous référer au schéma de contrôle.l'unité de filtre de ventilateur d'équipement EFU de régulation de vitesse CC . Instructions dans Ce qui doit être confirmé est : si l'EFU accepte les commandes de vitesse 0-10 V ou Modbus, si l'alarme de défaut est émise via des contacts secs ou des méthodes de communication, et si la commande principale de l'équipement peut lire la vitesse réelle de l'EFU et la différence de pression du filtre. Si l'équipement nécessite que l'EFU démarre à l'avance avant que la tranche n'entre dans la zone de travail et retarde l'arrêt une fois le processus terminé, il convient de clarifier si cette logique de synchronisation doit être contrôlée par l'automate de l'équipement ou par l'EFU elle-même lors de la phase de configuration.

Interface de conduit d'air . L'EFU à l'intérieur de l'équipement ne fournit souvent pas d'air de manière indépendante, mais coopère avec le conduit d'air de l'équipement ou le chemin d'air de retour. Support industriel AiliLa structure d'entrée d'air latérale/sortie d'air latérale EFU personnalisée , l'interface de bride et le conduit d'air de l'équipement sont directement connectés. Il est nécessaire de confirmer : la méthode de connexion entre la sortie d'air de l'EFU et le conduit d'air de l'équipement (taille de la bride, méthode d'étanchéité), si le chemin d'air de retour passe par le côté entrée d'air de l'EFU et s'il y a suffisamment d'espace d'air de retour à l'intérieur de l'équipement. Si l'EFU est installé dans une cavité fermée, la température de l'air d'entrée peut être supérieure à la température ambiante de l'atelier. Lors de la sélection, la température réelle de l'air d'entrée dans l'équipement doit être utilisée pour vérifier l'augmentation de la température du moteur.

Installez l'interface . Les équipements d'emballage avancés sont sensibles aux micro-vibrations et la rigidité de montage de l'EFU affecte directement la précision du collage.Les oreilles de montage et les points de fixation de l'EFU ultra-mince de 70 mm doivent correspondre aux nervures structurelles du panneau d'équipement pour éviter que les points de fixation ne tombent au milieu de la plaque fine et provoquent des vibrations locales. L'EFU ultra-mince d'Aili Industrial utilise un moteur à courant continu sans balais personnalisé et une roue éolienne en alliage d'aluminium équilibrée dynamiquement de haute précision pour réduire le risque de transmission de vibrations aux dispositifs optiques de précision ou aux étages de tranches. Lors de la confirmation de l'interface d'installation, la position du point fixe, l'épaisseur du panneau de l'équipement et la méthode de renforcement doivent être inclus dans les dessins de l'équipement pour vérification. La méthode de vérification du chemin de transmission des vibrations peut être référencée àComment contrôler les vibrations de l'EFU ultra-mince ? les sources de vibrations, la rigidité de l'installation et le contrôle de résonance côté équipement .Instructions sur

Prototype et lot : séquence de vérification de l'EFU côté appareil

La configuration EFU des équipements d'emballage avancés ne peut pas être ignorée via l'étape de prototype et directement regroupée. Ce que le prototype doit vérifier, ce ne sont pas les paramètres évalués de l'unité EFU, mais les performances réelles après son installation dans l'équipement : répartition de la vitesse du vent sur le trajet de la plaquette, stabilité de fonctionnement continu dans des conditions d'augmentation de la température interne de l'équipement, si l'action de verrouillage de l'EFU et de la commande principale de l'équipement est correcte et si la superposition des vibrations lorsque plusieurs EFU fonctionnent en même temps se situe dans la plage acceptable. Le modèle EFU confirmé, les paramètres de contrôle et l'interface d'installation sont solidifiés dans la nomenclature de l'équipement. Le lot EFU correspond aux dessins des équipements et aux enregistrements des prototypes un par un. Les exemples de paramètres ne peuvent pas être utilisés pour remplacer les données de ce projet.

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. Pour les machines complètes associées, veuillez vous référer àSelon la description structurelle sur la page de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU , les modèles ultra-minces peuvent organiser la vérification des prototypes et le durcissement des lots selon les dessins de l'équipement, et archiver les données sur la distribution de la vitesse du vent, l'augmentation de la température et les vibrations avec des dessins de confirmation, ce qui permet aux fabricants d'équipements de réaliser des prototypes et des lots dans le même système de fabrication. Il est plus facile de maintenir la cohérence des versions que la coordination entre fournisseurs.

Comment générer des résultats de vérification de configuration exécutables

Confirmez d'abord la division des zones propres à l'intérieur de l'équipement et la vitesse du vent cible dans chaque zone, puis demandez au fournisseur de fournir les données de distribution de la vitesse du vent, le tableau des points Modbus et le schéma d'interface d'installation dans des conditions de contre-pression au sein de l'équipement pour le modèle ultra-mince à acheter. Ajoutez la zone propre, le niveau de filtration, le tableau des points électriques, la bride du conduit d'air et les points de fixation d'installation à la liste supplémentaire, puis organisez la comparaison après réponse du fournisseur. La configuration EFU confirmée correspond à la nomenclature de l'équipement et les exemples de paramètres ne peuvent pas être utilisés pour remplacer ces données de projet. Dans la fourniture EFU, Aili Industrial configure la machine complète selon le dessin de confirmation et les exigences réelles. Le ventilateur, le filtre, le boîtier et la commande correspondent à chaque élément de la liste de commande, ce qui permet à l'usine d'équipement de configurer la configuration EFU de l'équipement d'emballage avancé selon les conditions complètes vérifiables de la machine.

Des malentendus à éviter

Il convient d'éviter de répartir uniformément l'EFU selon la zone extérieure de l'équipement sans diviser la zone propre. Il convient d'éviter d'utiliser le volume d'air nominal du banc ouvert pour remplacer le volume d'air sous la condition de contre-pression à l'intérieur de l'équipement. Il convient d'éviter de confirmer uniquement la « communication de support » sans vérifier le tableau des points Modbus et le timing start-stop. Il faut éviter d'ignorer l'effet d'amplification de la rigidité du panneau de l'équipement sur les vibrations de l'EFU, et il faut éviter de sauter le prototype et directement le lot. Le cœur de la configuration EFU des équipements d'emballage avancés n'est pas « de les intégrer et d'avoir suffisamment de volume d'air », mais de former une boucle fermée vérifiable entre la zone propre, la filtration du volume d'air et l'interface de l'équipement.

Questions et réponses connexes

L'espace interne des équipements d'emballage avancés n'est que de 80 à 100 mm. Comment choisir l'EFU ?
Vérifier en priorité la hauteur totale de l'EFU, y compris le filtre. Ai Li IndustrielL'épaisseur de l'armoire de l'EFU ultra-mince de 70 mm est de 70 mm (hors partie filtre), laissant de l'espace pour l'installation du filtre et des conduits d'air sur l'axe Z de l'équipement. Si l'espace est plus restreint, vous devez confirmer s'il accepte une structure d'entrée d'air latérale ou une bride non standard pour réduire la hauteur d'installation.

Quelles sont les exigences particulières des équipements de liaison hybride pour l’EFU ?
La propreté de la zone de travail de collage hybride peut atteindre le niveau ISO 3, et l'EFU a besoin d'une protection contre le flux laminaire couvrant l'interface de collage des tranches. Dans le même temps, les équipements de collage sont extrêmement sensibles aux micro-vibrations, et l'équilibre du moteur et la rigidité de l'installation de l'EFU doivent être confirmés avant le volume d'air. AMC doit faire attention à savoir si le filtre contient du bore.

L'interface Modbus de l'EFU peut-elle communiquer directement avec l'automate de mon équipement ?
Le matériel est généralement correct, mais vous devez vérifier trois choses : si les paramètres de communication de l'EFU (débit en bauds, chiffre de contrôle, adresse esclave) sont configurables, si la table d'adresses de registre est fournie avec le produit et si la définition du code d'erreur est claire. Seule l'écriture de 'Support Modbus' sans fournir l'EFU de la table de points consommera des heures de travail supplémentaires dans la phase de débogage lors de l'intégration.

Articles connexes

À quels appareils l'EFU ultra-fin de 70 mm est-il adapté ? Description des dimensions, performances et conditions d'installation

Comment concevoir un conduit d'air EFU ultra-fin ? Structure compacte, organisation des flux d'air et vérification du prototype

Comment gérer la dissipation thermique ultra-mince de l'EFU ? Source d'augmentation de la température, coordination du trajet de l'air et vérification du fonctionnement à long terme

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Aili Industrial EFU sélection et assistance à l’approvisionnement

Ai Li industrielL'EFU ultra-mince de 70 mm est spécialement conçu pour le micro-environnement des équipements semi-conducteurs, couvrant l'EFEM, le port de charge, le tri des plaquettes, l'équipement de liaison et d'autres scénarios. Il prend en charge les niveaux de filtre H13/H14 à U15/U16, le contrôle RS485/Modbus, la personnalisation des entrées/sorties d'air latérales et les options de filtre PTFE sans bore. L'usine d'équipement peut vérifier l'espace d'installation de l'EFU, l'interface du conduit d'air et le tableau des points de contrôle selon les dessins de l'équipement, et solidifier ensemble les données de vérification du prototype et la configuration du lot.

Découvrez les produits Aili Industrial EFU et les configurations personnalisées. Découvrez les modèles compacts.EFU ultra-mince de 70 mm , toute la structure de la machine peut être visualiséeUnité de filtre de ventilateur d'équipement EFU , interface non standard visibleEFU personnalisé , le schéma de contrôle peut être consultéUnité de filtre de ventilateur d'équipement EFU de régulation de vitesse cc , l'ensemble de filtres peut être consultéFiltres à air HEPA et ULPA . Veuillez soumettre la division de la zone propre, la taille de l'espace d'installation et la quantité estimée de l'équipement pour faciliter la confirmation du modèle correspondant et de la configuration de l'interface.