Как настроить современное упаковочное оборудование EFU? Ключевые точки чистой зоны, объемной фильтрации воздуха и интерфейса оборудования

Конфигурация EFU современного упаковочного оборудования и традиционный потолочный FFU для чистых помещений представляют собой два набора логических схем. Трубка FFU на потолке относится к количеству воздухообменов в большом пространстве, а трубка EFU на стороне оборудования относится к локальной микросреде на пути движения пластины или подложки внутри оборудования. Передовые процессы упаковки — гибридное соединение, пайка оплавлением муравьиной кислотой и пайка флип-чипа — не намного более устойчивы к частицам и молекулярным загрязнениям, чем предыдущий процесс, но пространство по оси Z, оставленное для модуля очистки внутри оборудования, часто составляет всего несколько десятков миллиметров. При настройке EFU необходимо сначала четко определить чистые зоны внутри оборудования, затем выбрать тип в соответствии с объемом воздуха и уровнем фильтрации каждой зоны и, наконец, подтвердить, можно ли совместить интерфейсы EFU и основного управления оборудованием, воздуховода и интерфейса установки. Ай Ли ИндастриалУльтратонкий EFU толщиной 70 мм специально разработан для микросред на стороне устройства, таких как EFEM и порт загрузки. Он поддерживает уровни фильтров от H13/H14 до U15/U16 и интерфейс управления RS485/Modbus. Он может проверить полную конфигурацию машины в соответствии с чертежами оборудования в ограниченном пространстве.

Чистая территория: сначала нарисуйте границы, затем определите уровни

Требования к чистоте современного упаковочного оборудования не одинаковы. Чистота рабочей зоны гибридной паяльной машины может достигать уровня 3 по ISO. Конфигурация EFU оборудования для пайки оплавлением муравьиной кислотой отличается эффективностью H14, регулируемой скоростью ветра и функцией связи. Различные участки процесса предъявляют разные требования к частицам и AMC, и EFU не может быть универсальным для всей машины.

Перед настройкой внутреннюю часть оборудования следует разделить на три типа зон: открытая зона пластины/подложки (внутренний EFEM, интерфейс порта загрузки, рабочий стол для склеивания) требует высочайшего уровня чистоты и стабильного ламинарного потока; зона механизма передачи (ход робота, направляющая) должна подавлять диффузию частиц, вызванную движением; периферия технологической камеры (возле пайки оплавлением, установочной головкой), возможно, придется иметь дело с молекулярными загрязнителями, образующимися в самом процессе. Количество, место установки и уровень фильтрации ЭФУ в каждой зоне следует подтверждать отдельно, а не равномерно распределять по внешней зоне оборудования.

Ай Ли ИндастриалСценарии применения ультратонкого EFU толщиной 70 мм четко охватывают микросреду полупроводникового оборудования, такого как EFEM, порт загрузки и сортировщики пластин. Он поддерживает дополнительный фильтр сверхтонкой очистки без бора из ПТФЭ, позволяющий удовлетворить чувствительные потребности современных процессов в борьбе с загрязнением бором.

Объем воздуха и фильтрация: «достаточный» со стороны оборудования сложнее, чем «большой»

Сложность подбора объема воздуха ЭФУ со стороны оборудования заключается не в максимальном значении, а в равномерности и устойчивости при заданной скорости ветра . Поверхность выхода воздуха EFU внутри современного упаковочного оборудования часто находится рядом с траекторией пластины, и неравномерная скорость ветра напрямую приводит к локальной турбулентности или осаждению частиц. Aili Industrial 70 мм EFU поддерживает бесступенчатую регулировку скорости приземного ветра от 0,35 до 0,45 м/с, а равномерность воздушного потока на выходной поверхности контролируется в соответствии с требованиями оборудования. Для таких процессов, как пайка оплавлением в муравьиной кислоте, EFU также должен поддерживать стабильную эффективность фильтрации в агрессивных средах или в условиях высоких температур. Уровень H14 является общей отправной точкой. Метод расчета площади фильтра и скорости встречного ветра см.Как рассчитать скорость приземного ветра EFU? Как определить эффективную площадь фильтрации и среднюю скорость ветра .

При выборе уровня фильтрации следует различать линии частиц и AMC. Фильтрация частиц определяет H13/H14 или U15/U16 в зависимости от технологического участка; Управление AMC требует дополнительного подтверждения типа фильтра. Традиционная фильтровальная бумага из стекловолокна может выделять бор, создавая риск загрязнения поверхности склеивания в современной упаковке. Опционально предлагается фильтровальная бумага из ПТФЭ, не содержащая бора. Если в процессе работы оборудования участвуют летучие органические вещества или кислотные газы, химический фильтр необходимо установить снаружи или внутри EFU. Однако это увеличит сопротивление ветру, и при выборе модели необходимо перепроверить рабочую точку вентилятора. Типы соответствия фильтров см.воздушным фильтрам HEPA и ULPA .Инструкции по

Ключевые действия по проверке объема воздуха : Не просто смотрите на номинальный объем воздуха в образце EFU. Поставщики обязаны предоставить данные о распределении скорости ветра на поверхности выхода воздуха в целевых условиях установки (включая фильтры и внутреннее противодавление оборудования). Сторона выпуска воздуха EFU внутри оборудования часто обращена к роботизированной руке или несущей платформе. Противодавление отличается от давления на открытой платформе, а номинальный объем воздуха в оборудовании может упасть более чем на 20%.

Интерфейс оборудования: три интерфейса: электрический, воздуховод и монтаж.

Самая большая разница между EFU на стороне устройства и обычным FFU — это интерфейс. Универсальный ФФУ устанавливается в соответствии с потолочным килем и управляется настенным выключателем; EFU со стороны оборудования должен быть встроен в листовой металл оборудования, подключен к ПЛК оборудования и подключен к воздуховоду оборудования. При настройке необходимо поочередно подтвердить три интерфейса.

Электрический интерфейс . Настройка скорости и обратная связь о состоянии EFU должны быть связаны с основным элементом управления оборудованием. Ай Ли ИндастриалУльтратонкий EFU толщиной 70 мм поддерживает протокол RS485/Modbus и может осуществлять связь и групповое управление с помощью ПЛК оборудования. Схему управления можно посмотретьрегулированию скорости постоянного тока оборудования ЭФУ блоку вентиляторного фильтра . Инструкции по Необходимо подтвердить следующее: принимает ли EFU команды скорости 0–10 В или Modbus, выводится ли сигнал неисправности через сухие контакты или методы связи, а также может ли главный блок управления оборудованием считывать фактическую скорость EFU и разницу давления в фильтре. Если оборудование требует, чтобы EFU запускался заранее до того, как пластина попадет в рабочую зону, и задерживал отключение после завершения процесса, то, должна ли эта логика синхронизации управляться ПЛК оборудования или самим EFU, следует уточнить на этапе настройки.

Интерфейс воздуховода . ЭФУ внутри оборудования зачастую не осуществляет подачу воздуха самостоятельно, а взаимодействует с воздуховодом оборудования или трактом возврата воздуха. Промышленная поддержка АйлиИндивидуальная EFU , фланцевый интерфейс и воздуховод оборудования соединены напрямую. конструкция бокового воздухозаборника/бокового выпуска воздуха Необходимо подтвердить: способ соединения между воздуховыпускным отверстием EFU и воздуховодом оборудования (размер фланца, метод уплотнения), проходит ли путь возвратного воздуха через сторону входа воздуха EFU и имеется ли достаточное пространство для возвратного воздуха внутри оборудования. Если ЭФУ установлен в закрытой полости, температура входящего воздуха может быть выше температуры окружающей среды цеха. При выборе для проверки повышения температуры двигателя необходимо использовать фактическую температуру воздуха на входе в оборудование.

Установите интерфейс . Современное упаковочное оборудование чувствительно к микровибрации, а жесткость крепления ЭФУ напрямую влияет на точность склеивания.Монтажные проушины и точки крепления ультратонкого EFU толщиной 70 мм должны соответствовать ребрам конструкции панели оборудования, чтобы предотвратить падение точек крепления в середину тонкой пластины и возникновение местной вибрации. Ультратонкий EFU от Aili Industrial использует специальный бесщеточный двигатель постоянного тока и высокоточное динамически сбалансированное ветровое колесо из алюминиевого сплава, чтобы снизить риск передачи вибрации на прецизионные оптические устройства или пластины. При подтверждении интерфейса установки положение фиксированной точки, толщина панели оборудования и метод армирования должны быть включены в чертежи оборудования для проверки. Метод проверки пути передачи вибрации можно найти в разделеКак контролировать вибрацию ультратонкого ЭФУ? источникам вибрации, жесткости установки и проверке резонанса со стороны оборудования .Указания по

Прототип и партия: Последовательность проверки EFU на стороне устройства

Конфигурацию EFU передового упаковочного оборудования нельзя пропустить на стадии прототипа и сразу собрать в партию. В прототипе необходимо проверить не номинальные параметры блока ЭФУ, а фактические характеристики после установки в оборудование : распределение скорости ветра на пути пластины, стабильность непрерывной работы при условии повышения внутренней температуры оборудования, правильность блокирующего действия ЭФУ и основного управления оборудованием, а также находится ли суперпозиция вибрации при одновременной работе нескольких ЭФУ в пределах допустимого диапазона. Подтвержденная модель EFU, параметры управления и интерфейс установки закрепляются в спецификации оборудования. ЭФУ партии соответствует чертежам оборудования и записям прототипов поочередно. Параметры образца не могут быть использованы для замены данных этого проекта.

Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и элементы управления собственной разработки. Информацию о соответствующих комплектных машинах см.Согласно структурному описанию на странице блока вентиляторного фильтра оборудования EFU , сверхтонкие модели могут организовывать проверку прототипа и пакетную обработку согласно чертежам оборудования, а также архивировать данные о распределении скорости ветра, повышении температуры и вибрации с чертежами подтверждения, что облегчает производителям оборудования комплектацию прототипов и партий в одной производственной системе. Легче поддерживать согласованность версий, чем координацию между поставщиками.

Как сгенерировать результаты проверки исполняемой конфигурации

Сначала подтвердите разделение чистых зон внутри оборудования и целевую скорость ветра в каждой зоне, а затем попросите поставщика предоставить данные о распределении скорости ветра, таблицу точек Modbus и диаграмму интерфейса установки в условиях противодавления внутри оборудования для приобретаемой сверхтонкой модели. Добавьте чистую зону, уровень фильтрации, таблицу электрических точек, фланец воздуховода и точки крепления установки в дополнительный список, а затем организуйте сравнение после ответа поставщика. Подтвержденная конфигурация EFU соответствует спецификации оборудования, и образцы параметров не могут использоваться для замены этих данных проекта. При поставке EFU компания Aili Industrial настраивает всю машину в соответствии с подтверждающим чертежом и фактическими требованиями. Вентилятор, фильтр, коробка и система управления соответствуют каждой позиции в списке заказа, что позволяет производителю оборудования настроить конфигурацию EFU современного упаковочного оборудования в соответствии с поддающимися проверке состояниями всей машины.

Недоразумения, которых следует избегать

Следует избегать равномерного распределения ЭФУ по внешней площади оборудования без разделения чистой зоны. Следует избегать использования номинального объема воздуха открытого стенда для замены объема воздуха в условиях противодавления внутри оборудования. Следует избегать только подтверждения «поддержки связи» без проверки таблицы точек Modbus и времени пуска и остановки. Следует избегать игнорирования эффекта усиления жесткости панели оборудования на вибрацию ЭФУ, а также следует избегать пропуска прототипа и непосредственно партии. Суть конфигурации EFU передового упаковочного оборудования заключается не в том, чтобы «вместить его и иметь достаточный объем воздуха», а в том, чтобы сформировать поддающийся проверке замкнутый контур между чистой зоной, объемной фильтрацией воздуха и интерфейсом оборудования.

Связанные вопросы и ответы

Внутреннее пространство современного упаковочного оборудования составляет всего 80-100 мм. Как выбрать ЭФУ?
Уделяйте приоритетное внимание проверке общей высоты EFU, включая фильтр. Ай Ли ИндастриалТолщина корпуса ультратонкого ЭФУ 70 мм составляет 70 мм (без учета фильтрующей части), что оставляет место для установки фильтра и воздуховодов по оси Z оборудования. Если пространство ограничено, вам необходимо подтвердить, принимает ли оно конструкцию бокового воздухозаборника или нестандартный фланец для уменьшения высоты установки.

Какие особые требования предъявляются к оборудованию гибридного склеивания для EFU?
Чистота рабочей зоны гибридной сварки может достигать уровня 3 по ISO, а EFU требует защиты от ламинарного потока, охватывающей интерфейс сварки пластин. В то же время оборудование для склеивания чрезвычайно чувствительно к микровибрациям, поэтому баланс двигателя и жесткость установки EFU должны быть подтверждены более приоритетно, чем объем воздуха. AMC необходимо обратить внимание на то, содержит ли фильтр бор.

Может ли интерфейс Modbus EFU напрямую взаимодействовать с ПЛК моего оборудования?
Аппаратное обеспечение обычно в порядке, но вам необходимо проверить три вещи: настраиваются ли параметры связи EFU (скорость передачи данных, контрольная цифра, адрес подчиненного устройства), поставляется ли с продуктом таблица адресов регистров и четко ли определено определение кода неисправности. Только написание «Поддержки Modbus» без предоставления EFU таблицы точек потребует дополнительных человеко-часов на этапе отладки во время интеграции.

Похожие статьи

Для каких устройств подходит ультратонкий EFU толщиной 70 мм? Описание размеров, характеристик и условий установки

Как спроектировать ультратонкий воздуховод ЭФУ? Компактная конструкция, организация воздушного потока и проверка прототипа

Как бороться с отводом тепла от ультратонких ЭФУ? Источник повышения температуры, координация воздушного пути и проверка долгосрочной работы

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка выбора и закупок Aili Industrial EFU

Ай Ли ИндастриалУльтратонкий EFU толщиной 70 мм специально разработан для микросреды полупроводникового оборудования, включая EFEM, порт загрузки, оборудование для сортировки пластин, оборудование для склеивания и другие сценарии. Он поддерживает уровни фильтров от H13/H14 до U15/U16, управление RS485/Modbus, настройку бокового воздухозаборника/выпуска и варианты фильтров из ПТФЭ без бора. Завод оборудования может проверить пространство для установки EFU, интерфейс воздуховода и таблицу точек управления в соответствии с чертежами оборудования, а также объединить данные проверки прототипа и конфигурацию партии.

Узнайте о продуктах Aili Industrial EFU и индивидуальных конфигурациях. Обратите внимание на компактные модели.Ультратонкий EFU толщиной 70 мм , можно просмотреть всю конструкцию машиныБлок фильтра вентилятора оборудования EFU , можно просмотреть нестандартный интерфейсИндивидуальный EFU , схему управления можно просмотретьБлок фильтра вентилятора оборудования ЭФУ, регулирующий скорость постоянного тока , можно просмотреть пакет фильтровВоздушные фильтры HEPA и ULPA . Пожалуйста, укажите разделение чистой зоны, размер места для установки и предполагаемое количество оборудования, чтобы облегчить подтверждение соответствующей модели и конфигурации интерфейса.