Как выбрать оборудование для нанесения тонких пленок EFU? Место для установки, организация воздушного потока и способ подключения управления

Как выбрать оборудование для нанесения тонких пленок EFU? Вы не можете сначала выбрать ЭФУ, а затем подключить его к оборудованию. Внутри оборудования для нанесения тонких пленок находятся вакуумные камеры, газопроводы и нагревательные компоненты. Помещение компактное, много технологических выхлопов. Положение установки, направление подачи воздуха и метод управления EFU должны быть противоположны области переноса пластины и отверстию полости. Сначала определите путь пластины и ключевые области, которые необходимо защитить, а затем объедините доступное пространство внутри оборудования, направление выхлопа процесса и интерфейс управления, чтобы определить, где установить EFU, сколько блоков установить и как их связать. Производственная система EFU компании Ai Li Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и полную сборку машин. Место для установки, организация воздушного потока и связь управления оборудованием для осаждения тонких пленок EFU можно проверить по чертежам оборудования в той же производственной системе. Нет необходимости передавать параметры между заводом-изготовителем вентиляторов, заводом-изготовителем фильтров и заводом-контроллером. Вот почему многие производители оборудования для осаждения тонких пленок при выборе EFU обращаются к плану конечного решения для промышленного оборудования Ai Li.

Место для установки: сначала измерьте чистый размер, затем посмотрите на источник тепла и трубопроводы.

Внутреннее пространство оборудования для нанесения тонких пленок компактно, и место установки EFU должно в первую очередь соответствовать требованиям к чистому размеру. Перед выбором необходимо подтвердить имеющуюся длину, ширину и высоту, путь установки, зазор для воздухозаборника и направление снятия. Внутри оборудования расположены нагревательные элементы, газопроводы и вакуумные камеры. Место установки ЭФУ должно находиться вдали от источников тепла и трубопроводов, чтобы предотвратить вдыхание ЭФУ высокотемпературного газа или воздействие на трубопроводы. Он дает только доступную высоту и не указывает расположение источника тепла и труб. EFU может не подходить или использоваться неправильно.

Ай Ли ИндастриалДля продуктов EFU и индивидуальных конфигураций указаны габаритные размеры и интерфейсы установки по моделям. При проверке места для установки производитель оборудования для осаждения тонкой пленки может напрямую соответствовать конкретной модели и сравнить внутренние размеры, источник тепла и расположение трубопровода оборудования с внешним видом устройства на том же изображении. Для проектов с компактным пространством см.ультратонкого EFU толщиной 70 мм .Описание компактной модели на странице

Организация воздушного потока: сначала необходимо разграничить пути пластин и отверстия полостей.

Основное внимание при очистке оборудования для осаждения тонких пленок уделяется зоне переноса пластин и отверстию полости. Направление подачи воздуха, зона покрытия и входное отверстие для выхода воздуха из ЭФУ должны соответствовать ходу пластины и отверстию полости. Сначала отметьте область пластины, которую необходимо защитить, источник риска частиц и допустимое направление потока воздуха, а затем определите расположение и количество ЭФУ. Граница воздушного потока неясна, и независимо от того, насколько велик объем воздуха, он может оказаться не в состоянии защитить ключевые места. Если внутри оборудования имеется интерфейс технологического выхлопа или вакуумного насоса, необходимо также определить, не противоречит ли направление выхлопа направлению подачи воздуха в EFU.

Информацию о взаимосвязи между границей воздушного потока и защитным эффектом см.Почему один и тот же объем воздуха оказывает разное очищающее и защитное действие? В описании совместно оцениваются направление подачи воздуха, граничные условия и распределение скорости ветра. Нанесение тонкой пленки — это приложение на стороне устройства, см.Как настроить полупроводниковое оборудование EFU? ключевым точкам: чистая зона, фильтрация объема воздуха и интерфейс оборудования .Идеи разделения зон по

Объем воздуха и фильтрация: подбираются в соответствии с требованиями к зоне пластин.

Объем воздуха и уровень фильтрации оборудования для осаждения тонких пленок EFU должны подбираться в соответствии с потребностями зоны переноса пластин и отверстия полости. Целевой объем воздуха определяется размером защитной зоны и допустимой скоростью ветра, а уровень фильтрации определяется требованиями контроля частиц. По мере увеличения уровня фильтрации, роста сопротивления и отклонения рабочей точки вентилятора необходимо перепроверить объем воздуха всей машины. Пространство для оборудования компактно, площадь фильтрации ограничена, а скорость и сопротивление приземного ветра могут быть выше, чем у обычных моделей. При выборе проверяйте данные испытаний всей машины, а не только значения выборки фильтра.

Метод расчета объема воздуха и скорости приземного ветра см.Как рассчитать номинальный объем воздуха EFU? Зона подачи воздуха, целевая скорость ветра и метод преобразования единиц измерения , а такжеКак рассчитать скорость приземного ветра EFU? как определить эффективную площадь фильтрации и среднюю скорость ветра . Этапы расчета заключаются в том, Пакеты фильтров можно посмотретьвоздушных фильтров HEPA и ULPA .Описания номиналов на странице

Координация процесса вытяжки: подача и вытяжка воздуха не могут мешать друг другу

В процессе осаждения тонкой пленки образуются технологические выхлопы и побочные продукты, поэтому подача воздуха в ЭФУ и технологические выхлопы должны быть скоординированы. Если направление подачи воздуха EFU находится прямо напротив выпускного отверстия, чистый воздух может забираться непосредственно вытяжным воздухом и не сможет покрыть защищаемую зону; Если направление выхлопного воздуха прямо противоположно воздухозаборнику EFU, EFU может вдыхать воздух, содержащий частицы или побочные продукты. При настройке подтвердите расположение, направление выхлопа и объем выхлопного отверстия для выпуска воздуха, а затем определите направление подачи воздуха EFU и источник впуска воздуха, чтобы избежать помех между ними.

О методе координации технологического отвода и подачи воздуха в ЭФУ см.Как настроить травильное оборудование ЭФУ? как координировать подачу чистого воздуха, технологические выхлопы и агрессивную среду .Идеи координации о том,

Связь управления: синхронизирована с рабочим состоянием оборудования для осаждения тонких пленок.

Оборудование для осаждения тонких пленок EFU обычно необходимо привязать к состоянию оборудования. На каждом этапе простоя, укладки и обслуживания оборудования привод ЭФУ может быть разным. Интерфейс управления должен иметь четкие протоколы, терминалы, адреса и методы обратной связи, чтобы гарантировать, что EFU может переключаться в зависимости от состояния устройства, а не всегда работать на полной скорости или постоянно отключаться. Внутреннее пространство оборудования компактно, а прокладка кабеля управления и доступность клемм также должны быть подтверждены на этапе выбора.

Информацию о проектах, включающих многоскоростное регулирование скорости, см.Как настроить многоскоростную регулировку скорости EFU? подключении оборудования, нештатное состояние и точки приемки . Логика разделения передач и связей при Для проектов, требующих решений по регулированию скорости постоянного тока, см.блока фильтров вентилятора оборудования ЭФУ, регулирующего скорость постоянного тока .Инструкции по управлению на странице

Повышение температуры и рассеивание тепла: источник тепла оборудования для осаждения влияет на EFU.

Внутри оборудования для нанесения тонких пленок имеются нагревательные компоненты, и температура окружающей среды может быть выше, чем у обычного оборудования. Двигатель и драйвер EFU работают в условиях высокой температуры, поэтому повышение температуры может быть выше. При выборе подтвердите внутреннюю температуру окружающей среды оборудования и данные о повышении температуры EFU в целевых условиях эксплуатации, а также наличие достаточных условий рассеивания тепла в коробке. Если температура окружающей среды высокая, а условия отвода тепла плохие, температура ЭФУ повысится, что может повлиять на срок службы и стабильность.

О методе оценки повышения температуры двигателя см.Как определить повышение температуры двигателя EFU? условий измерения, нагрузки, тепловыделения и подтверждения предельных значений . Методы проверки Методы проверки теплоотвода ультратонких моделей см.Как выбрать ультратонкий ЭФУ? пространству, статическому давлению объема воздуха, рассеиванию тепла и точкам обслуживания .Инструкции по

Проверка прототипа: проекты оборудования для осаждения тонких пленок должны быть протестированы перед серийным производством.

Оборудование для нанесения тонких пленок EFU представляет собой компактную конструкцию со стороны оборудования. Новая структура или новые проекты интерфейсов должны быть сначала прототипированы или проверены. Прототип должен проверить помехи в сборке, объем воздуха, статическое давление, мощность, повышение температуры, вибрацию, шум и логику связи, чтобы подтвердить, что характеристики не отклоняются от целевых при внутренних условиях оборудования. Данные прототипа и подтверждающие чертежи архивируются вместе и служат основой для проверки последующих партий.

В рамках проекта EFU по оборудованию для осаждения тонких пленок Aili Industries организует проверку прототипа или первого устройства в соответствии с чертежами оборудования, сохраняет данные о сборке, производительности, повышении температуры, вибрации и связи вместе с подтверждающими чертежами, а затем закрепляет конфигурацию партии. Заводы по производству оборудования комплектуют прототипы и партии в рамках одной и той же производственной системы, что упрощает поддержание согласованности версий по сравнению с координацией между поставщиками. Сопутствующие машины можно отнести кблока фильтров вентилятора оборудования EFU см. в разделе «Нестандартный интерфейс».Структурное описание на странице «Настройка EFU» .Инструкции по настройке на странице

Решение EFU для оборудования для нанесения тонких пленок Aili Industrial

Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и элементы управления собственной разработки. Место для установки, организация воздушного потока и связь управления оборудованием для осаждения тонких пленок EFU можно проверить по чертежам оборудования в рамках одной производственной системы без необходимости передачи параметров между несколькими поставщиками. Для компактных проектов со стороны оборудования, таких как оборудование для осаждения тонких пленок, Aili Industrial может организовать проверку прототипа и периодическое отверждение в соответствии с подтверждающим чертежом, а также уменьшить установочные размеры, направление подачи воздуха, интерфейсы управления и пути обслуживания до проверяемых полных данных о машине. Сопутствующие машины можно отнести к«Блок фильтра вентилятора оборудования EFU» .Инструкции на странице

Как сформировать исполняемые результаты подтверждения

Сначала выполните предварительную проверку информации, а затем проведите техническое подтверждение приобретаемой модели. В дополнительный список включите пространство для установки, организацию воздушного потока, объемную фильтрацию воздуха, технологический выхлоп, связь управления, повышение температуры и рассеивание тепла, а также проверку прототипа. Сравнение будет организовано после ответа поставщика. Для выполнения заказа используются подтвержденная модель, конфигурация и интерфейс EFU, а образцы параметров не могут быть использованы для замены данных проекта. Aili Industrial настраивает всю машину в соответствии с подтверждающим чертежом и фактическими требованиями при поставке EFU. Вентиляторы, фильтры, шкафы и элементы управления соответствуют каждой позиции в списке заказа, что позволяет производителю оборудования для осаждения тонких пленок выбирать EFU на основе поддающихся проверке состояния всего оборудования.

Недоразумения, которых следует избегать

Следует избегать сначала выбора EFU, а затем поиска места установки. Следует избегать оценки объема воздуха только на основании внешнего вида оборудования без определения границ защитной зоны. Следует избегать игнорирования источников тепла и обхода трубопроводов. Следует избегать игнорирования влияния отработанного технологического воздуха на подачу воздуха в EFU. Следует избегать игнорирования влияния высокой температуры окружающей среды на повышение температуры. Следует избегать подтверждения совместимости интерфейса управления только после установки. Сутью выбора оборудования для осаждения тонких пленок EFU является не выбор устройства с красивыми параметрами, а создание поддающегося проверке замкнутого контура пространства для установки, организации воздушного потока, связей управления, технологических выхлопов, повышения температуры и рассеивания тепла. Aili Industrial может сначала сформировать список подлежащих подтверждению на основе чертежей оборудования, в котором будут перечислены условия помещения, воздушного потока и повышения температуры.

Связанные вопросы и ответы

Может ли EFU на стороне оборудования напрямую применять параметры FFU для чистой комнаты?

Его не следует применять напрямую. Внутреннее сопротивление, диапазон подачи воздуха, интерфейс и логика управления оборудования обычно различаются.

Как продвигать выбор оборудования для осаждения тонких пленок EFU, если информация о проекте неполная?

Общая схема оборудования, доступное пространство, целевой объем воздуха или скорость ветра, уровень фильтрации, источник питания и метод управления могут быть предоставлены в первую очередь, и поставщик сформулирует элементы, подлежащие подтверждению; до подтверждения ключевых условий работы нецелесообразно проводить доработку на основе внешнего вида или одной оценки. Aili Industrial может сначала сформировать список подлежащих подтверждению на основе чертежей оборудования, в котором будут перечислены условия помещения, воздушного потока и повышения температуры.

Какую конкретную информацию мне нужно подготовить для ответа на этот вопрос?

Подготовьте текущую информацию о проекте, касающуюся местных целей чистоты, границ воздушного потока и интерфейсов оборудования. Общий чертеж оборудования, лист подтверждения EFU и протокол испытаний прототипа должны соответствовать фактической приобретенной конфигурации; Если каталог, подтверждающий чертеж и запись о доставке не соответствуют друг другу, сначала следует выяснить версию и область применения. При выборе оборудования для осаждения тонких пленок EFU вы можете обратиться к полным инструкциям по эксплуатации машины и управлению, предоставленным Aili Industry для каждой модели.

Похожие статьи

Как настроить полупроводниковое оборудование EFU? Ключевые точки чистой зоны, объемной фильтрации воздуха и интерфейса оборудования

Как настроить травильное оборудование ЭФУ? Как координировать подачу чистого воздуха, технологические выхлопы и агрессивную среду

Как подтвердить место установки EFU? Чертежи оборудования, условия монтажа и методы приемки

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка выбора и закупок Aili Industrial EFU

Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и элементы управления собственной разработки. Место для установки, организация воздушного потока и связь управления оборудованием для осаждения тонких пленок EFU можно проверить по чертежам оборудования в рамках одной производственной системы без необходимости передачи параметров между несколькими поставщиками. Завод по производству оборудования комплектует прототип и серийную партию оборудования для осаждения тонких пленок EFU в рамках одной системы, что легче поддерживать согласованность, чем координацию между поставщиками.

учитьсяПродукты Aili Industrial EFU и индивидуальные конфигурации , можно просмотреть полную структуру машины.Блок вентиляторного фильтра оборудования EFU , можно посмотреть компактные моделиУльтратонкий EFU толщиной 70 мм , можно просмотреть нестандартный интерфейсИндивидуальный EFU , схему управления можно просмотретьБлок фильтра вентилятора оборудования ЭФУ, регулирующий скорость постоянного тока , можно просмотреть пакет фильтровВоздушные фильтры HEPA и ULPA . Пожалуйста, укажите позиции проверки, использование оборудования и предполагаемое количество в этой статье, чтобы облегчить подтверждение соответствующей модели и объема поставки.