¿Cómo elegir el equipo de deposición de película fina EFU? Espacio de instalación, organización del flujo de aire y método de enlace de control.

¿Cómo elegir el equipo de deposición de película fina EFU? No se puede elegir primero una EFU y luego enchufarla al equipo. Dentro del equipo de deposición de película delgada hay cámaras de vacío, tuberías de gas y componentes de calefacción. El espacio es compacto y hay mucho escape de proceso. La posición de instalación, la dirección del suministro de aire y el método de control de la EFU deben invertirse respecto del área de transferencia de la oblea y la abertura de la cavidad. Primero defina la ruta de la oblea y las áreas clave que deben protegerse, y luego combine el espacio disponible dentro del equipo, la dirección de escape del proceso y la interfaz de control para determinar dónde instalar la EFU, cuántas unidades instalar y cómo vincularlas. El sistema de fabricación EFU de Aili Industrial cubre motores, ventiladores, filtros, chapa y ensamblaje completo de máquinas. El espacio de instalación, la organización del flujo de aire y la conexión de control del equipo de deposición de película delgada EFU se pueden verificar de acuerdo con los planos del equipo dentro del mismo sistema de fabricación. No es necesario transferir parámetros entre la fábrica de ventiladores, la fábrica de filtros y la fábrica de controladores. Esta es la razón por la que muchos fabricantes de equipos de deposición de película delgada se referirán a la descripción del plan final del equipo de Aili Industrial al seleccionar EFU.

Espacio de instalación: primero mida el tamaño neto, luego mire la fuente de calor y las tuberías

El espacio interno del equipo de deposición de película delgada es compacto y la ubicación de instalación de la EFU primero debe cumplir con los requisitos de tamaño neto. La longitud, el ancho y la altura disponibles, la ruta de instalación, el espacio libre para la entrada de aire y la dirección de extracción deben confirmarse antes de la selección. En el interior del equipo se encuentran componentes de calefacción, tuberías de gas y cámaras de vacío. La ubicación de instalación de la EFU debe estar alejada de fuentes de calor y tuberías para evitar que la EFU inhale gas a alta temperatura o interfiera con las tuberías. Solo proporciona una altura disponible y no indica la ubicación de la fuente de calor ni de las tuberías. Es posible que la EFU no encaje o no se utilice correctamente.

Ai Li industrialLos productos EFU y las configuraciones personalizadas enumeran las dimensiones generales y las interfaces de instalación por modelo. Al verificar el espacio de instalación, el fabricante del equipo de deposición de película delgada puede corresponder directamente al modelo específico y comparar las dimensiones netas internas, la fuente de calor y la ubicación de la tubería del equipo con la apariencia de la unidad en la misma imagen. Para proyectos con espacio compacto, consulteEFU ultradelgada de 70 mm .Descripción del modelo compacto en la página

Organización del flujo de aire: primero se deben demarcar los caminos de las obleas y las aberturas de las cavidades.

La protección de limpieza para equipos de deposición de películas delgadas se centra en el área de transferencia de la oblea y la abertura de la cavidad. La dirección del suministro de aire, el área de cobertura y la entrada de salida de aire de la EFU deben corresponder con la ruta de la oblea y la apertura de la cavidad. Primero marque el área de la oblea que necesita ser protegida, la fuente de riesgo de partículas y la dirección permitida del flujo de aire, y luego determine la ubicación y la cantidad de EFU. El límite del flujo de aire no está claro y, por grande que sea el volumen de aire, es posible que no pueda proteger ubicaciones clave. Si hay una interfaz de escape de proceso o de bomba de vacío dentro del equipo, también es necesario determinar si la dirección de escape entra en conflicto con el suministro de aire de la EFU.

Para conocer la relación entre el límite del flujo de aire y el efecto de protección, consulte¿Por qué un mismo volumen de aire produce diferentes efectos de limpieza y protección? En la descripción se evalúan conjuntamente la dirección del suministro de aire, las condiciones límite y la distribución de la velocidad del viento. La deposición de película delgada es una aplicación del lado del dispositivo; consulte¿Cómo configurar el equipo frontal de semiconductores EFU? los puntos clave de área limpia, filtración de volumen de aire e interfaz de equipos .Ideas de división de áreas en

Volumen de aire y filtración: adaptados según los requisitos del área de oblea

El volumen de aire y el nivel de filtración del equipo de deposición de película delgada EFU deben coincidir según las necesidades del área de transferencia de la oblea y la apertura de la cavidad. El volumen de aire objetivo está determinado por el tamaño del área protegida y la velocidad del viento permitida, y el nivel de filtración está determinado por los requisitos de control de partículas. A medida que aumenta el nivel de filtración, aumenta la resistencia y se desvía el punto de funcionamiento del ventilador, es necesario volver a comprobar el volumen de aire de toda la máquina. El espacio del equipo es compacto, el área de filtración es limitada y la velocidad y resistencia del viento en la superficie pueden ser mayores que las de los modelos convencionales. Al seleccionar, verifique según los datos de prueba de toda la máquina, no solo el valor de la muestra del filtro.

Para conocer el método de cálculo del volumen de aire y la velocidad del viento en la superficie, consulte¿Cómo calcular el volumen de aire nominal EFU? Área de suministro de aire, velocidad del viento objetivo y método de conversión de unidades .¿Cómo calcular la velocidad del viento en la superficie EFU? cómo determinar el área de filtración efectiva y la velocidad promedio del viento . Los pasos de cálculo explican Se pueden ver los paquetes de filtros.la página de filtros de aire HEPA vs. ULPA .Descripciones de clasificación en

Coordinación del proceso de escape: el suministro y el escape de aire no pueden interferir entre sí

El proceso de deposición de película delgada producirá escapes y subproductos del proceso, y el suministro de aire de la EFU y el escape del proceso deben coordinarse. Si la dirección del suministro de aire de la EFU está directamente opuesta al puerto de escape, el aire de escape puede extraer aire limpio directamente y no puede cubrir el área protegida; Si la dirección del aire de escape es directamente opuesta a la entrada de aire de la EFU, la EFU puede inhalar aire que contiene partículas o subproductos. Al configurar, confirme la ubicación, la dirección de escape y el volumen de escape de la salida de aire, y luego determine la dirección del suministro de aire de la EFU y la fuente de entrada de aire para evitar interferencias entre las dos.

Con respecto al método de coordinación del escape del proceso y el suministro de aire EFU, consulte¿Cómo configurar el equipo de grabado EFU? cómo coordinar el suministro de aire limpio, el escape del proceso y el ambiente corrosivo .Ideas de coordinación sobre

Enlace de control: sincronizado con el estado operativo del equipo de deposición de película delgada.

Por lo general, la EFU del equipo de deposición de película delgada debe vincularse con el estado del equipo. Durante cada etapa de espera, deposición y mantenimiento del equipo, el equipo operativo de la EFU puede ser diferente. La interfaz de control debe tener protocolos, terminales, direcciones y métodos de retroalimentación claros para garantizar que la EFU pueda cambiar con el estado del dispositivo en lugar de funcionar a toda velocidad o apagarse todo el tiempo. El espacio interno del equipo es compacto y durante la etapa de selección también se debe confirmar el enrutamiento de los cables de control y la accesibilidad de los terminales.

Para proyectos que involucran regulación de velocidad de varias velocidades, consulte¿Cómo configurar el ajuste de velocidad múltiple de EFU? varillaje de equipos, estados anormales y puntos de aceptación . Lógica de división y varillaje de engranajes en Para proyectos que requieren soluciones de regulación de velocidad de CC, consultela página de la unidad de filtro del ventilador del equipo EFU con regulación de velocidad de CC .Instrucciones de control en

Aumento de temperatura y disipación de calor: la fuente de calor del equipo de deposición afecta a las EFU

Hay componentes calefactores dentro del equipo de deposición de película delgada y la temperatura ambiente puede ser más alta que la del equipo general. El motor y el controlador de la EFU funcionan en un ambiente de alta temperatura y el aumento de temperatura puede ser mayor. Al seleccionar, confirme la temperatura ambiente interna del equipo y los datos de aumento de temperatura de la EFU en las condiciones de funcionamiento objetivo, así como si la caja tiene suficientes condiciones de disipación de calor. Si la temperatura ambiente es alta y las condiciones de disipación de calor son malas, la temperatura de la EFU aumentará, lo que puede afectar la vida útil y la estabilidad.

En cuanto al método para juzgar el aumento de temperatura del motor, consulte¿Cómo juzgar el aumento de temperatura del motor EFU? las condiciones de medición, carga, disipación de calor y confirmación del valor límite . Métodos de verificación de Para conocer los métodos de verificación de la disipación de calor de los modelos ultrafinos, consulte¿Cómo elegir EFU ultrafino? el espacio, presión estática del volumen de aire, disipación de calor y puntos de mantenimiento .Instrucciones en

Verificación de prototipos: los proyectos de equipos de deposición de película delgada deben probarse primero antes de la producción por lotes

El equipo de deposición de película delgada EFU es una estructura compacta en el lado del equipo. Primero se deben crear prototipos o verificar proyectos de nuevas estructuras o nuevas interfaces. El prototipo debe verificar la interferencia del ensamblaje, el volumen de aire, la presión estática, la potencia, el aumento de temperatura, la vibración, el ruido y la lógica de comunicación para confirmar que el rendimiento no se desvía del objetivo en las condiciones internas del equipo. Los datos del prototipo y los dibujos de confirmación se archivan juntos como base para la inspección de lotes posteriores.

En el proyecto EFU del equipo de deposición de película delgada, Aili Industries organiza el prototipo o la verificación de la primera unidad de acuerdo con los planos del equipo, archiva los datos de ensamblaje, rendimiento, aumento de temperatura, vibración y comunicación junto con los planos de confirmación, y luego solidifica la configuración del lote. Las fábricas de equipos completan prototipos y lotes dentro del mismo sistema de fabricación, lo que hace que sea más fácil mantener la coherencia de las versiones que la coordinación entre proveedores. Se pueden consultar las máquinas relacionadasla página de la unidad de filtro del ventilador del equipo EFU , consulte la interfaz no estándar.Para obtener la descripción estructural en Personalizar EFU .Instrucciones de personalización en la página

Solución EFU del equipo de deposición de película delgada de Aili Industrial

El sistema de fabricación EFU de Aili Industrial cubre motores, ventiladores, filtros, chapa metálica y controles de desarrollo propio. El espacio de instalación, la organización del flujo de aire y la conexión de control del equipo de deposición de película delgada EFU se pueden verificar de acuerdo con los planos del equipo dentro del mismo sistema de fabricación, sin la necesidad de transferir parámetros entre múltiples proveedores. Para proyectos compactos del lado del equipo, como equipos de deposición de película delgada, Aili Industrial puede organizar la verificación del prototipo y el curado por lotes de acuerdo con el plano de confirmación, y reducir las dimensiones de la instalación, la dirección del suministro de aire, las interfaces de control y las rutas de mantenimiento a datos completos verificables de la máquina. Se pueden consultar las máquinas relacionadasla página Unidad de filtrado del ventilador del equipo EFU .Instrucciones en

Cómo formar resultados de confirmación ejecutables

Primero complete la selección preliminar de información y luego realice la confirmación técnica del modelo a comprar. Incluya el espacio de instalación, la organización del flujo de aire, la filtración del volumen de aire, el escape del proceso, el enlace de control, el aumento de temperatura y la disipación de calor y la verificación del prototipo en la lista complementaria. La comparación se organizará después de que el proveedor responda. El modelo, la configuración y la interfaz de EFU confirmados se utilizan para la ejecución de la orden y los parámetros de muestra no se pueden utilizar para reemplazar los datos de este proyecto. Aili Industrial configura la máquina completa de acuerdo con el plano de confirmación y los requisitos reales al suministrar EFU. Los ventiladores, filtros, gabinetes y controles corresponden a cada elemento de la lista de pedidos, lo que facilita al fabricante del equipo de deposición de película delgada seleccionar EFU en función de las condiciones completas verificables de la máquina.

Malentendidos a evitar

Se debe evitar seleccionar EFU primero y luego buscar la ubicación de instalación. Se debe evitar estimar el volumen de aire únicamente en función de la apariencia del equipo sin delimitar el área de protección. Se debe evitar ignorar las fuentes de calor y evitar las tuberías. Se debe evitar ignorar la interferencia del aire de escape del proceso en el suministro de aire de la EFU. Se debe evitar ignorar el impacto del ambiente de alta temperatura en el aumento de temperatura. Se debe evitar confirmar la compatibilidad de la interfaz de control sólo después de la instalación. El núcleo de la selección de equipos de deposición de película delgada de EFU no es elegir una unidad con hermosos parámetros, sino formar un circuito cerrado verificable de espacio de instalación, organización del flujo de aire, enlace de control, escape del proceso y aumento de temperatura y disipación de calor. Aili Industrial puede primero formar una lista por confirmar basada en los planos del equipo, enumerando juntas las condiciones de espacio, flujo de aire y aumento de temperatura.

Preguntas y respuestas relacionadas

¿Puede la EFU del lado del equipo aplicar directamente los parámetros FFU de la sala limpia?

No se debe aplicar directamente. La resistencia interna, el rango de suministro de aire, la interfaz y la lógica de control del equipo suelen ser diferentes.

¿Cómo promover la selección de EFU del equipo de deposición de película delgada cuando la información del proyecto está incompleta?

Primero se puede proporcionar el diagrama general del equipo, el espacio disponible, el volumen de aire objetivo o la velocidad del viento, el nivel de filtración, el suministro de energía y el método de control, y el proveedor formulará los elementos que se confirmarán; Antes de que se confirmen las condiciones de trabajo clave, no es apropiado finalizar basándose en la apariencia o una calificación única. Aili Industrial puede primero formar una lista por confirmar basada en los planos del equipo, enumerando juntas las condiciones de espacio, flujo de aire y aumento de temperatura.

¿Qué información específica necesito para prepararme para esta pregunta?

Prepare información actual del proyecto sobre los objetivos de limpieza locales, los límites del flujo de aire y las interfaces de los equipos. El dibujo general del equipo, la hoja de confirmación de la EFU y el registro de prueba del prototipo deben corresponder a la configuración real adquirida; Si el catálogo, el dibujo de confirmación y el registro de entrega son inconsistentes, primero se debe determinar la versión y el alcance de la aplicación. Al seleccionar el equipo de deposición de película delgada EFU, puede consultar las instrucciones completas de soporte de control y máquina proporcionadas por Aili Industry por modelo.

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Soporte de selección y adquisiciones de Aili Industrial EFU

El sistema de fabricación EFU de Aili Industrial cubre motores, ventiladores, filtros, chapa metálica y controles de desarrollo propio. El espacio de instalación, la organización del flujo de aire y la conexión de control del equipo de deposición de película delgada EFU se pueden verificar de acuerdo con los planos del equipo dentro del mismo sistema de fabricación, sin la necesidad de transferir parámetros entre múltiples proveedores. Las fábricas de equipos completan prototipos y lotes de equipos de deposición de película delgada EFU dentro del mismo sistema, lo que es más fácil de mantener la coherencia que la coordinación entre proveedores.

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