Wie wählt man die EFU-Dünnschichtabscheidungsausrüstung aus? Einbauraum, Luftstromorganisation und Steuerungsverbindungsmethode

Wie wählt man die EFU-Dünnschichtabscheidungsausrüstung aus? Sie können nicht zuerst eine EFU auswählen und diese dann an das Gerät anschließen. Im Inneren der Dünnschicht-Abscheidungsanlage befinden sich Vakuumkammern, Gasleitungen und Heizkomponenten. Der Raum ist kompakt und es gibt viele Prozessabgase. Die Installationsposition, die Luftzufuhrrichtung und die Steuermethode der EFU müssen vom Wafertransferbereich und der Hohlraumöffnung umgekehrt sein. Definieren Sie zunächst den Waferpfad und die Schlüsselbereiche, die geschützt werden müssen, und kombinieren Sie dann den verfügbaren Platz innerhalb der Anlage, die Prozessabgasrichtung und die Steuerschnittstelle, um zu bestimmen, wo die EFU installiert werden soll, wie viele Einheiten installiert werden sollen und wie sie verbunden werden sollen. Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und die komplette Maschinenmontage. Der Installationsraum, die Luftstromorganisation und die Steuerungsverbindung der Dünnschicht-Abscheidungsanlage EFU können anhand der Anlagenzeichnungen innerhalb desselben Fertigungssystems überprüft werden. Es ist nicht erforderlich, Parameter zwischen der Lüfterfabrik, der Filterfabrik und der Steuerungsfabrik hin und her zu übertragen. Aus diesem Grund beziehen sich viele Hersteller von Anlagen zur Dünnschichtabscheidung bei der Auswahl von EFU auf die Endplanbeschreibung für Anlagen von Aili Industrial.

Installationsraum: Zuerst die Nettogröße messen, dann die Wärmequelle und die Rohrleitungen betrachten

Der Innenraum von Dünnschichtabscheidungsgeräten ist kompakt und der Installationsort der EFU muss zunächst die Anforderungen an die Nettogröße erfüllen. Vor der Auswahl sollten die verfügbare Länge, Breite und Höhe, der Installationspfad, der Lufteinlassabstand und die Entfernungsrichtung bestätigt werden. Im Inneren der Anlage befinden sich Heizkomponenten, Gasleitungen und Vakuumkammern. Der EFU-Installationsort muss von Wärmequellen und Rohrleitungen entfernt sein, um zu verhindern, dass das EFU Hochtemperaturgas einatmet oder die Rohrleitungen beeinträchtigt. Es gibt nur die verfügbare Höhe an und zeigt nicht die Position der Wärmequelle und der Rohre an. Die EFU passt möglicherweise nicht hinein oder wird nicht ordnungsgemäß verwendet.

Ai Li industriellBei EFU-Produkten und kundenspezifischen Konfigurationen sind die Gesamtabmessungen und Installationsschnittstellen nach Modell aufgeführt. Bei der Überprüfung des Installationsraums kann der Hersteller von Dünnschichtabscheidungsgeräten direkt auf das spezifische Modell zurückgreifen und die inneren Nettoabmessungen, die Wärmequelle und die Rohrleitungsposition des Geräts mit dem Erscheinungsbild des Geräts auf demselben Bild vergleichen. Informationen zu Projekten mit kompaktem Raum finden Sie unter70 mm ultradünnen EFU- Seite.Beschreibung des kompakten Modells auf der

Organisation des Luftstroms: Waferpfade und Hohlraumöffnungen müssen zuerst abgegrenzt werden

Der Schwerpunkt des Reinigungsschutzes für Dünnschichtabscheidungsgeräte liegt im Bereich des Wafertransferbereichs und der Hohlraumöffnung. Die Luftzufuhrrichtung, der Abdeckungsbereich und der Luftauslass des EFU müssen mit dem Waferpfad und der Hohlraumöffnung übereinstimmen. Markieren Sie zunächst den Waferbereich, der geschützt werden muss, die Quelle des Partikelrisikos und die zulässige Luftströmungsrichtung und bestimmen Sie dann den Standort und die Anzahl der EFUs. Die Grenze des Luftstroms ist unklar und egal, wie groß das Luftvolumen ist, wichtige Stellen können möglicherweise nicht geschützt werden. Wenn im Gerät eine Prozessabluft- oder Vakuumpumpenschnittstelle vorhanden ist, muss außerdem festgestellt werden, ob die Abluftrichtung mit der EFU-Luftzufuhr in Konflikt steht.

Informationen zum Zusammenhang zwischen Luftstromgrenze und Schutzwirkung finden Sie unterWarum führt die gleiche Luftmenge zu unterschiedlichen Reinigungs- und Schutzwirkungen? In der Beschreibung werden die Luftzufuhrrichtung, die Randbedingungen und die Windgeschwindigkeitsverteilung gemeinsam bewertet. Die Dünnschichtabscheidung ist eine geräteseitige Anwendung, sieheWie konfiguriere ich die Halbleiter-Frontend-Ausrüstung EFU? den Kernpunkten Reinraum, Luftvolumenfiltration und Geräteschnittstelle .Ideen zur Bereichsaufteilung in

Luftmenge und Filterung: abgestimmt auf die Anforderungen an die Waferfläche

Das Luftvolumen und der Filtergrad der Dünnschicht-Abscheidungsausrüstung EFU müssen entsprechend den Anforderungen des Wafer-Transferbereichs und der Hohlraumöffnung angepasst werden. Das Zielluftvolumen wird durch die Größe des Schutzgebiets und die zulässige Windgeschwindigkeit bestimmt, und der Filtergrad wird durch die Partikelkontrollanforderungen bestimmt. Mit steigendem Filtergrad, steigendem Widerstand und abweichendem Lüfterarbeitspunkt muss die Luftmenge der gesamten Maschine erneut überprüft werden. Der Geräteraum ist kompakt, die Filterfläche ist begrenzt und die Windgeschwindigkeit und der Widerstand an der Oberfläche können höher sein als bei herkömmlichen Modellen. Überprüfen Sie bei der Auswahl die Testdaten der gesamten Maschine und nicht nur den Filterprobenwert.

Informationen zur Berechnungsmethode für Luftvolumen und Oberflächenwindgeschwindigkeit finden Sie unterWie berechnet man das EFU-Nennluftvolumen? Luftversorgungsgebiet, Zielwindgeschwindigkeit und Einheitenumrechnungsmethode undWie berechnet man die EFU-Oberflächenwindgeschwindigkeit? der Bestimmung der effektiven Filterfläche und der durchschnittlichen Windgeschwindigkeit . Die Berechnungsschritte dienen Filterpakete können eingesehen werdender Seite HEPA- vs. ULPA-Luftfilter .Bewertungsbeschreibungen auf

Koordinierung der Prozessabluft: Zu- und Abluft dürfen sich nicht gegenseitig beeinträchtigen

Beim Dünnschichtabscheidungsprozess entstehen Prozessabgase und Nebenprodukte, und die EFU-Luftzufuhr und die Prozessabgase müssen koordiniert werden. Wenn die EFU-Luftzufuhrrichtung direkt gegenüber der Abluftöffnung liegt, kann es sein, dass saubere Luft direkt von der Abluft abgeführt wird und den geschützten Bereich nicht abdecken kann; Wenn die Abluftrichtung direkt gegenüber dem EFU-Lufteinlass liegt, kann das EFU Luft mit Partikeln oder Nebenprodukten einatmen. Bestätigen Sie bei der Konfiguration den Standort, die Abluftrichtung und das Abluftvolumen des Luftauslasses und bestimmen Sie dann die EFU-Luftzufuhrrichtung und die Lufteinlassquelle, um Interferenzen zwischen beiden zu vermeiden.

Informationen zur Koordinierung der Prozessabluft und der EFU-Luftzufuhr finden Sie unterWie konfiguriere ich die Ätzausrüstung EFU? Koordinierung der Zufuhr sauberer Luft, der Prozessabgase und der korrosiven Umgebung .Koordinierungsideen zur

Steuerungsverknüpfung: synchronisiert mit dem Betriebsstatus der Dünnschicht-Abscheidungsanlage

Die EFU der Dünnschichtabscheidungsausrüstung muss normalerweise mit dem Gerätestatus verknüpft werden. Während jeder Phase der Gerätebereitschaft, -ablage und -wartung kann die EFU-Betriebsausrüstung unterschiedlich sein. Die Steuerschnittstelle muss über klare Protokolle, Anschlüsse, Adressen und Rückmeldungsmethoden verfügen, um sicherzustellen, dass die EFU mit dem Gerätestatus wechseln kann, anstatt immer mit voller Geschwindigkeit zu laufen oder ständig herunterzufahren. Der Innenraum des Geräts ist kompakt und die Verlegung der Steuerkabel sowie die Zugänglichkeit der Klemmen müssen bei der Auswahl ebenfalls bestätigt werden.

Informationen zu Projekten mit Geschwindigkeitsregelung mit mehreren Geschwindigkeiten finden Sie unterWie stelle ich die EFU-Multi-Speed-Geschwindigkeitsanpassung ein? Geräteverknüpfung, abnormalem Status und Akzeptanzpunkten . Gangaufteilung und Verknüpfungslogik bei Informationen zu Projekten, die Gleichstrom-Geschwindigkeitsregelungslösungen erfordern, finden Sie unterder Seite zur DC-Geschwindigkeitsregelung der EFU-Gerätelüfterfiltereinheit .Steuerungsanweisungen auf

Temperaturanstieg und Wärmeableitung: Die Wärmequelle der Abscheidungsausrüstung beeinflusst EFU

Im Inneren der Dünnschicht-Abscheidungsausrüstung befinden sich Heizkomponenten, und die Umgebungstemperatur kann höher sein als die der allgemeinen Ausrüstung. Der Motor und der Treiber der EFU werden in einer Umgebung mit hohen Temperaturen betrieben, und der Temperaturanstieg kann höher sein. Bestätigen Sie bei der Auswahl die interne Umgebungstemperatur des Geräts und die Temperaturanstiegsdaten der EFU unter Zielbetriebsbedingungen sowie, ob die Box über ausreichende Wärmeableitungsbedingungen verfügt. Wenn die Umgebungstemperatur hoch und die Wärmeableitungsbedingungen schlecht sind, steigt die EFU-Temperatur, was sich auf die Lebensdauer und Stabilität auswirken kann.

Informationen zur Methode zur Beurteilung des Temperaturanstiegs des Motors finden Sie unterWie lässt sich der Temperaturanstieg des EFU-Motors beurteilen? Messbedingungen, Belastung, Wärmeableitung und Grenzwertbestätigung . Prüfmethoden für Informationen zur Überprüfung der Wärmeableitung ultradünner Modelle finden Sie unterWie wählt man ein ultradünnes EFU? Raum, Luftvolumen, statischem Druck, Wärmeableitung und Wartungspunkten .Anweisungen zu

Prototypenüberprüfung: Projekte zur Dünnschichtabscheidungsausrüstung müssen vor der Serienproduktion zunächst getestet werden

Die Dünnschicht-Abscheidungsanlage EFU ist anlagenseitig eine kompakte Struktur. Neue Strukturen oder neue Schnittstellenprojekte sollten zuerst prototypisiert oder verifiziert werden. Der Prototyp muss Montageinterferenzen, Luftvolumen, statischen Druck, Leistung, Temperaturanstieg, Vibration, Lärm und Kommunikationslogik überprüfen, um zu bestätigen, dass die Leistung unter den internen Bedingungen der Ausrüstung nicht vom Ziel abweicht. Die Prototypendaten und Bestätigungszeichnungen werden gemeinsam archiviert und dienen als Grundlage für die Prüfung nachfolgender Chargen.

Im EFU-Projekt für Dünnschichtabscheidungsanlagen organisiert Aili Industries die Überprüfung des Prototyps oder der ersten Einheit gemäß den Anlagenzeichnungen, archiviert die Montage-, Leistungs-, Temperaturanstiegs-, Vibrations- und Kommunikationsdaten zusammen mit den Bestätigungszeichnungen und verfestigt dann die Chargenkonfiguration. Ausrüstungsfabriken stellen Prototypen und Chargen innerhalb desselben Fertigungssystems fertig, was die Wahrung der Versionskonsistenz einfacher macht als eine lieferantenübergreifende Koordination. Auf verwandte Maschinen kann verwiesen werdender Seite der EFU-Gerätelüfterfiltereinheit finden Sie unter der nicht standardmäßigen Schnittstelle.Die Strukturbeschreibung auf „EFU anpassen“ .Anweisungen zur Anpassung auf der Seite

Die EFU-Lösung für Dünnschichtabscheidungsgeräte von Aili Industrial

Das EFU-Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Motoren, Lüfter, Filter, Bleche und selbst entwickelte Steuerungen. Der Installationsraum, die Luftstromorganisation und die Steuerungsverbindung der EFU-Anlage zur Dünnschichtabscheidung können anhand der Anlagenzeichnungen innerhalb desselben Fertigungssystems überprüft werden, ohne dass Parameter zwischen mehreren Lieferanten übertragen werden müssen. Für geräteseitige Kompaktprojekte wie Dünnschichtabscheidungsanlagen kann Aili Industrial die Prototypenüberprüfung und Chargenaushärtung gemäß der Bestätigungszeichnung organisieren und die Installationsabmessungen, Luftzufuhrrichtung, Steuerschnittstellen und Wartungspfade auf überprüfbare vollständige Maschinendaten reduzieren. Auf verwandte Maschinen kann verwiesen werdender Seite EFU Equipment Fan Filter Unit .Anweisungen auf

So erstellen Sie ausführbare Bestätigungsergebnisse

Führen Sie zunächst die vorläufige Überprüfung der Informationen durch und führen Sie dann die technische Bestätigung des zu kaufenden Modells durch. Beziehen Sie den Installationsraum, die Organisation des Luftstroms, die Filterung des Luftvolumens, die Prozessabsaugung, die Steuerungsverknüpfung, den Temperaturanstieg und die Wärmeableitung sowie die Prototypenüberprüfung in die Zusatzliste ein. Der Vergleich wird organisiert, nachdem der Lieferant geantwortet hat. Für die Auftragsausführung werden das bestätigte EFU-Modell, die bestätigte Konfiguration und die bestätigte Schnittstelle verwendet. Beispielparameter können nicht als Ersatz für diese Projektdaten verwendet werden. Aili Industrial konfiguriert bei der Lieferung von EFU die komplette Maschine gemäß der Bestätigungszeichnung und den tatsächlichen Anforderungen. Ventilatoren, Filter, Schränke und Steuerungen entsprechen jedem Artikel in der Bestellliste, was es dem Hersteller von Dünnschichtabscheidungsgeräten erleichtert, EFU auf der Grundlage überprüfbarer vollständiger Maschinenbedingungen auszuwählen.

Missverständnisse, die es zu vermeiden gilt

Es sollte vermieden werden, zuerst EFU auszuwählen und dann den Installationsort zu finden. Es sollte vermieden werden, die Luftmenge nur anhand des Aussehens der Geräte abzuschätzen, ohne den Schutzbereich abzugrenzen. Es sollte vermieden werden, Wärmequellen zu ignorieren und Rohrleitungen zu vermeiden. Es sollte vermieden werden, die Beeinträchtigung der EFU-Luftversorgung durch die Prozessabluft zu ignorieren. Es sollte vermieden werden, den Einfluss einer Umgebung mit hohen Temperaturen auf den Temperaturanstieg zu ignorieren. Es sollte vermieden werden, die Kompatibilität der Steuerschnittstelle erst nach der Installation zu überprüfen. Der Kern der EFU-Auswahl von Dünnschichtabscheidungsgeräten besteht nicht darin, eine Einheit mit schönen Parametern auszuwählen, sondern darin, einen überprüfbaren geschlossenen Kreislauf aus Installationsraum, Luftstromorganisation, Steuerungsverbindung, Prozessabgas sowie Temperaturanstieg und Wärmeableitung zu bilden. Aili Industrial kann zunächst auf der Grundlage der Gerätezeichnungen eine zu bestätigende Liste erstellen, in der die Raum-, Luftstrom- und Temperaturanstiegsbedingungen aufgeführt sind.

Verwandte Fragen und Antworten

Kann die geräteseitige EFU die Reinraum-FFU-Parameter direkt anwenden?

Es sollte nicht direkt angewendet werden. Der Innenwiderstand, der Luftversorgungsbereich, die Schnittstelle und die Steuerlogik der Geräte sind normalerweise unterschiedlich.

Wie kann die EFU-Auswahl von Geräten zur Dünnschichtabscheidung gefördert werden, wenn die Projektinformationen unvollständig sind?

Das allgemeine Diagramm der Ausrüstung, des verfügbaren Platzes, der Zielluftmenge oder -geschwindigkeit, des Filtergrades, der Stromversorgung und der Steuermethode kann zunächst bereitgestellt werden, und der Lieferant wird die zu bestätigenden Punkte formulieren; Bevor die wichtigsten Arbeitsbedingungen bestätigt werden, ist es nicht angebracht, eine Entscheidung auf der Grundlage des Aussehens oder einer einzelnen Bewertung zu treffen. Aili Industrial kann zunächst auf der Grundlage der Gerätezeichnungen eine zu bestätigende Liste erstellen, in der die Raum-, Luftstrom- und Temperaturanstiegsbedingungen aufgeführt sind.

Welche konkreten Informationen muss ich für diese Frage vorbereiten?

Bereiten Sie aktuelle Projektinformationen zu lokalen Sauberkeitszielen, Luftstromgrenzen und Geräteschnittstellen vor. Die Gesamtzeichnung der Ausrüstung, das EFU-Bestätigungsblatt und das Prototyp-Testprotokoll sollten der tatsächlich gekauften Konfiguration entsprechen; Bei Unstimmigkeiten zwischen Katalog, Bestätigungszeichnung und Lieferprotokoll sollten zunächst Version und Geltungsbereich ermittelt werden. Bei der Auswahl der EFU-Ausrüstung für die Dünnschichtabscheidung können Sie sich auf die vollständigen Maschinen- und Steuerungsanleitungen beziehen, die Aili Industry je nach Modell zur Verfügung stellt.

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