Как настроить полупроводниковое оборудование EFU? Ключевые точки чистой зоны, объемной фильтрации воздуха и интерфейса оборудования

Как настроить ЭФУ полупроводникового оборудования? Вы не можете сначала выбрать EFU, а затем подключить его к оборудованию. Внутреннее пространство передового оборудования тесное, много технологических выхлопов, движущиеся части часто перемещаются. Количество, расположение и привод EFU должны быть изменены в обратном порядке относительно ключевой чистой зоны. Сначала определите, какие области нуждаются в защите и где находятся границы воздушного потока. Затем, учитывая доступное пространство внутри оборудования, направление выхлопных газов процесса и структурные препятствия, определите, где установить EFU, сколько блоков установить и на какой передаче его использовать. Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и полную сборку машин. Организация воздушного потока, конфигурация фильтрации и интерфейсы управления могут быть проверены в одном техническом подтверждении согласно чертежам оборудования и показателям чистоты. Вот почему многие производители полупроводникового оборудования обращаются к инструкциям по решению Aili Industrial при настройке EFU на стороне оборудования.

Чистая зона: сначала отметьте место, которое нуждается в защите.

В полупроводниковом оборудовании не все зоны требуют одинаковой защиты от чистоты. Путь передачи пластин, отверстия технологической камеры и станции контроля более чувствительны к частицам, и EFU должен уделять приоритетное внимание освещению этих ключевых областей. Перед настройкой отметьте защищаемую зону, источник риска частиц и допустимое направление воздушного потока на общей схеме оборудования, а затем определите зону подачи воздуха в EFU. Если область нарисована неправильно, независимо от силы ветра, ключевая позиция может оказаться не защищенной.

В проекте EFU для полупроводникового оборудования компания Aili Industrial сначала проверила общую схему оборудования и ключевые области, отметила защищенные позиции, риски попадания частиц и направления воздушного потока на той же схеме, а затем определила количество и места установки EFU.

Граница воздушного потока: открытая и полуоткрытая должна рассматриваться по-разному.

Границей воздушного потока внутри фронтального оборудования может быть закрытая полость, полуоткрытый канал или локальное ограждение. Подача воздуха ЭФУ в закрытой полости относительно стабильна, тогда как полуоткрытая зона подвержена помехам со стороны технологического выхлопа и соседних агрегатов. При настройке необходимо указать граничные условия, чтобы определить, сможет ли подаваемый воздух EFU покрыть защищаемую зону или он будет снесен боковым потоком воздуха.

Информацию о взаимосвязи между границей воздушного потока и защитным эффектом см.Почему один и тот же объем воздуха оказывает разное очищающее и защитное действие? Как поясняется в разделе, качество распределения подачи воздуха и граничные условия рассматриваются вместе, а не просто с учетом средней скорости ветра.

Космический интерфейс: установочные размеры и предотвращение движения

Внутреннее пространство полупроводникового внешнего оборудования ограничено, а габаритные размеры, зазор для воздухозаборника, направление обслуживания и отсутствие движущихся частей EFU должны быть подтверждены на этапе настройки. Если EFU установлен слишком высоко или слишком далеко внутри, фильтр невозможно снять для обслуживания; если он установлен слишком близко к движущимся частям, это может помешать работе оборудования. Ультратонкий или небольшой по размеру ЭФУ может снизить давление в помещении, но все равно необходимо проверить, соответствуют ли объем воздуха и статическое давление целевой области.

Ай Ли ИндастриалДля продуктов EFU и индивидуальных конфигураций указаны габаритные размеры и сопутствующие инструкции по моделям. Завод оборудования может напрямую соответствовать конкретной модели на этапе конфигурации и вместе проверять установочные размеры и предотвращение движения. Проекты с ограниченным пространством могут относиться кКак выбрать ультратонкий ЭФУ? пространства, объема воздуха, статического давления, теплоотвода и точек обслуживания .Методы проверки

Объем воздуха и фильтрация: распределяются в соответствии с региональными потребностями

После определения количества EFU модели необходимо распределить в соответствии с требованиями к объему воздуха и уровнями фильтрации каждой зоны. Критические зоны могут потребовать более высоких уровней фильтрации и более стабильной скорости ветра, а вспомогательные зоны могут быть настроены соответственно ниже. В разных регионах используется одна и та же модель для облегчения управления запасными частями; однако ключевые области не могут уменьшить требования к фильтрации или объему воздуха для унификации модели.

В проекте EFU компания Aili Industrial проверила объем воздуха, уровень фильтрации и рабочую точку вентилятора в соответствии с региональными потребностями и перечислила конфигурации ключевых и вспомогательных зон отдельно, чтобы избежать использования одной и той же модели для покрытия всех зон и привести к недостаточной защите критических зон.

Связь управления: синхронизируется со статусом устройства

EFU полупроводникового оборудования обычно необходимо привязать к состоянию оборудования. В разных состояниях, таких как режим ожидания оборудования, производство и техническое обслуживание, привод EFU может быть разным. При настройке необходимо четко контролировать интерфейс, протокол, адрес и метод обработки исключений, чтобы EFU мог переключаться с учетом состояния устройства, а не работать на полной скорости или постоянно отключаться.

Информацию о проектах, предполагающих объединение нескольких EFU, см.Как настроить многоскоростную регулировку скорости EFU? подключении оборудования, нештатных состояниях и точках приема , переключении передач, сигналах обратной связи и обработке исключений четко прописывается на этапе конфигурации.Логика управления при

Как сформировать исполняемые результаты подтверждения

Сначала выполните предварительную проверку информации, а затем проведите техническое подтверждение приобретаемой модели. Добавьте чистые зоны, границы воздушного потока, границы пространства, фильтрацию объема воздуха и связь управления в дополнительный список и организуйте сравнения после ответа поставщика. Подтвержденная модель EFU, количество, место установки и интерфейс управления используются для выполнения заказа, а образцы параметров не могут быть использованы для замены этих данных проекта. При поставке EFU компания Aili Industrial настраивает всю машину в соответствии с чертежами оборудования и фактическими требованиями. Фильтры, вентиляторы и элементы управления соответствуют каждой позиции в списке заказа, что позволяет заводу-изготовителю оборудования привести конфигурацию EFU входного оборудования в проверяемые полные состояния машины.

Недоразумения, которых следует избегать

Следует избегать сначала выбора EFU, а затем поиска его местоположения. Следует избегать оценки объема воздуха только на основании внешнего вида оборудования без определения границ чистой зоны. Следует избегать игнорирования влияния отработанного технологического воздуха на подачу воздуха в EFU. Этого следует избегать, чтобы не подтвердить интерфейс управления на этапе настройки и не обнаружить несовместимость только после установки. EFU на стороне оборудования не должен напрямую применять параметры FFU для чистой комнаты. Внутреннее сопротивление, диапазон подачи воздуха и логика управления оборудованием обычно различны. Aili Industrial может сначала сформировать список подлежащих утверждению согласно чертежам оборудования, перечислив вместе области, интерфейсы и условия управления.

Связанные вопросы и ответы

Может ли EFU на стороне оборудования напрямую применять параметры FFU для чистых помещений?

Его не следует применять напрямую. Внутреннее сопротивление, диапазон подачи воздуха, интерфейс и логика управления оборудования обычно различаются.

Как продвигать конфигурацию EFU полупроводникового оборудования, если информация о проекте неполная?

Общая схема оборудования, доступное пространство, целевой объем воздуха или скорость ветра, уровень фильтрации, источник питания и метод управления могут быть предоставлены в первую очередь, и поставщик сформулирует элементы, подлежащие подтверждению; до подтверждения ключевых условий работы нецелесообразно проводить доработку на основе внешнего вида или одной оценки. Aili Industrial может сначала сформировать список подлежащих утверждению согласно чертежам оборудования, перечислив вместе области, интерфейсы и условия управления.

Какую конкретную информацию мне нужно подготовить для ответа на этот вопрос?

Подготовьте текущую информацию о проекте, касающуюся местных целей по обеспечению чистоты, границ воздушного потока и интерфейсов оборудования. Общий чертеж оборудования, лист подтверждения конфигурации EFU и полный протокол испытаний машины должны соответствовать фактической приобретенной конфигурации; Если каталог, чертеж подтверждения и запись о доставке не соответствуют друг другу, сначала следует выяснить версию и область применения. При настройке EFU полупроводникового внешнего оборудования вы можете обратиться к полным инструкциям по сопоставлению машин и интерфейсов, предоставленным Aili Industry для каждой модели.

Похожие статьи

Как рассчитать номинальный объем воздуха EFU? Зона подачи воздуха, целевая скорость ветра и метод преобразования единиц измерения

Как выбрать фильтр H13 для EFU? Эффективность, стойкость, герметизация и методы полного соответствия машинному оборудованию

Как выбрать EFU при использовании EFEM? Место для установки, организация воздушного потока и способ подключения управления

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка выбора и закупок Aili Industrial EFU

Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и полную сборку машин. Разделение чистых зон, организация воздушного потока и полные интерфейсы с машинами могут быть проверены по чертежам оборудования в рамках одной производственной системы вместо того, чтобы подтверждать установку только на основе одного номера объема воздуха. Заводы по производству полупроводникового оборудования осуществляют согласование ЭФУ, фильтров и всего оборудования в одной системе, что легче поддерживать согласованность, чем координацию между поставщиками.

учитьсяпродукцию Aili Industrial EFU и индивидуальные конфигурации , а также фильтрующие пакеты.Можно просмотреть Воздушные фильтры HEPA и ULPA . Пожалуйста, укажите в этой статье элементы проверки, использование оборудования и предполагаемое количество, чтобы облегчить подтверждение соответствующей модели и объема поставки.