Как настроить травильное оборудование ЭФУ? Как координировать подачу чистого воздуха, технологические выхлопы и агрессивную среду

При настройке ЭФУ травильного оборудования следует ориентироваться не только на подачу чистого воздуха. В процессе травления образуются агрессивные газы и технологические выхлопы. Направление подачи воздуха, источник воздухозаборника и материал корпуса EFU следует учитывать вместе с технологическими выхлопами и агрессивной средой. Если направление подачи воздуха неправильное, чистый воздух может привести к попаданию агрессивных газов на пластину или чувствительные компоненты; источник поступления воздуха неясен, и ЭФУ может вдыхать воздух, содержащий агрессивные газы; материал коробки не устойчив к коррозии, а конструкция и уплотнение могут выйти из строя после длительной эксплуатации. При настройке ЭФУ травильного оборудования необходимо согласовать подачу чистого воздуха, технологические выхлопы и агрессивную среду, а затем определить количество, расположение, материалы и методы контроля ЭФУ. Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и полную сборку машин. Путь подачи воздуха, материал корпуса и полный машинный интерфейс травильного оборудования EFU можно проверить по чертежам оборудования в той же производственной системе. Нет необходимости передавать параметры между заводом по производству листового металла, заводом по производству вентиляторов и заводом по производству комплектных машин. Вот почему многие заводы по производству травильного оборудования при настройке EFU обращаются к инструкциям по решению для промышленного оборудования Aili.

Подача чистого воздуха: сначала отметьте места открытия пластин и полостей.

Основное внимание при очистке оборудования для травления уделяется пути передачи пластин и отверстиям в полости. Перед настройкой EFU сначала отметьте зону передачи пластин, положение отверстия полости и источники риска частиц на общей схеме оборудования, чтобы определить, какие области требуют защиты от подачи чистого воздуха. Рядом с полостью травления могут находиться побочные продукты процесса и частицы. Подача воздуха EFU должна покрывать эти области, но она не может сдувать загрязнения вблизи полости в направлении пути пластины. Зону защиты и направление подачи воздуха следует определять совместно.

Ай Ли ИндастриалПродукты EFU и индивидуальные конфигурации содержат полную структуру машины и сопутствующие инструкции по моделям. Завод по производству травильного оборудования может напрямую соответствовать конкретной модели при разграничении зоны защиты и совмещать региональные требования и конфигурацию EFU на одной картинке. Идеи конфигурации частичной очистки со стороны оборудования см.Как настроить полупроводниковое оборудование EFU? ключевым точкам: чистая зона, фильтрация объема воздуха и интерфейс оборудования .Метод разделения зон по

Координация процесса вытяжки: подача и вытяжка воздуха не могут мешать друг другу

Отработанный воздух процесса травления уносит агрессивные газы и побочные продукты. Между подачей воздуха EFU и технологическим отработанным воздухом должна быть обеспечена координация. Если направление подачи воздуха из EFU направлено к выпускному отверстию, чистый воздух может быть забран непосредственно выходящим воздухом и не сможет покрыть защищаемую зону; Если направление выхлопа направлено к воздухозаборнику EFU, EFU может вдыхать воздух, содержащий коррозийные газы. При настройке подтвердите расположение, направление выхлопа и объем выхлопного отверстия для выпуска воздуха, а затем определите направление подачи воздуха EFU и источник впуска воздуха, чтобы избежать помех между ними.

Информацию о взаимосвязи между границей воздушного потока и защитным эффектом см.Почему один и тот же объем воздуха оказывает разное очищающее и защитное действие? В описании направление подачи воздуха, условия вытяжки и граничные помехи оцениваются вместе.

Коррозионная среда: материалы корпуса и уплотнения должны быть подтверждены отдельно.

Коррозионные газы травильного оборудования предъявляют требования к материалу корпуса EFU и конструкции уплотнения. При длительной эксплуатации стандартного короба с холодными пластинами в агрессивной среде поверхностное покрытие может стареть, а конструкция и уплотнение могут выйти из строя; уплотнительный материал не устойчив к коррозии и может затвердеть или деформироваться после длительной эксплуатации. При настройке ЭФУ травильного оборудования необходимо подтвердить, подходят ли материал корпуса, обработка поверхности и уплотнительные материалы к агрессивной среде. При необходимости выбирайте короб из нержавеющей стали или с антикоррозийным покрытием.

Aili Industry проверяет материал корпуса и обработку поверхности в соответствии с условиями эксплуатации оборудования во время производства EFU. Материалы и условия герметизации будут подтверждены отдельно для проектов, работающих в агрессивной среде. Информацию о выборе коробок из нержавеющей стали и марок материалов см.Как согласовать марку материала коробки и сопроводительную документацию при покупке ФФУ? Метод проверки в методе соответствует требованиям к материалу агрессивной среде.

Источник забора воздуха: избегайте вдыхания отработанного технологического воздуха.

В травильном оборудовании особое внимание следует уделять источнику воздухозабора ЭФУ. Если ЭФУ вдыхает воздух изнутри оборудования, а воздухозаборник находится близко к технологическому выпуску или отверстию полости, он может вдыхать воздух, содержащий коррозийные газы и частицы, увеличивать нагрузку на фильтр, а также может приносить загрязняющие вещества в защищаемую зону. При настройке подтвердите расположение и источник воздухозаборника ЭФУ. При необходимости выведите воздухозаборник в относительно чистое место или добавьте предварительную фильтрацию.

Информацию о взаимосвязи между пространством для воздухозаборника и сопротивлением на входе см.Как проверить пространство воздухозаборника EFU? чертежей оборудования, условий монтажа и приемки .Методы проверки

Конфигурация фильтрации: фильтры должны соответствовать друг другу в агрессивных средах.

При выборе конфигурации фильтра травильного оборудования необходимо учитывать коррозионные газы и побочные продукты. Марка фильтра должна соответствовать требованиям чистоты, а материал фильтра и уплотнительный материал должны быть способны адаптироваться к агрессивной среде. Коррозионные газы могут повлиять на срок службы фильтрующего материала. При настройке подтвердите материал фильтрующего материала и цикл замены. Высококлассные фильтры имеют большее сопротивление, поэтому при настройке необходимо перепроверить остаточное давление вентилятора. Точки конфигурации фильтров высокого уровня, таких как U15, см.На что следует обратить внимание при настройке фильтра U15 в EFU? сопротивлению, объему воздуха, точкам уплотнения и обнаружения утечек .Инструкции по

Пакеты фильтров можно посмотретьвоздушных фильтров HEPA и ULPA .Номинальные характеристики и описания материалов на страницах

Конструкция и установка: простота обслуживания в агрессивной среде.

Место установки ЭФУ и способы обслуживания травильного оборудования должны учитывать удобство обслуживания в агрессивных средах. В агрессивных средах частота замены фильтра и проверки коробки может быть выше, и необходимо зарезервировать место для обслуживания; крепеж и уплотнители должны легко заменяться; поверхность коробки должна легко чиститься. Если место установки сложно обслуживать, при длительной эксплуатации могут возникнуть проблемы из-за недостаточного обслуживания.

Информацию о соотношении пространства для обслуживания и места установки см.На что следует обратить внимание при сохранении пространства ЕФУ? конструктивных, электротехнических, пусконаладочных и ремонтных пунктах .Методы проверки в

Связь управления: синхронизирована с состоянием процесса травильного оборудования.

Обычно EFU травильного оборудования необходимо связать с состоянием процесса. На каждом этапе простоя оборудования, травления и обслуживания привод ЭФУ может быть разным. Во время процесса травления объем выхлопных газов велик, и может потребоваться соответствующая регулировка объема подачи воздуха в ЭФУ для поддержания баланса давления внутри оборудования. Интерфейс управления должен иметь четкие протоколы, клеммы, адреса и методы обратной связи, чтобы гарантировать, что EFU может переключаться в зависимости от состояния процесса и поддерживать стабильную подачу воздуха.

Информацию о проектах, включающих многоскоростное регулирование скорости, см.Как настроить многоскоростную регулировку скорости EFU? подключении оборудования, нештатное состояние и точки приемки . Логика разделения передач и связей при Для проектов, требующих решений по регулированию скорости постоянного тока, см.блока фильтров вентилятора оборудования ЭФУ, регулирующего скорость постоянного тока .Инструкции по управлению на странице

Проверка прототипа: проекты оборудования для травления должны быть протестированы перед серийным производством.

Травильное оборудование EFU — это проект с высокими требованиями к оборудованию. Проекты с новыми структурами, новыми материалами или новыми интерфейсами должны сначала создать прототипы или проверить первое устройство. Прототип должен проверить помехи сборки, объем воздуха, статическое давление, мощность, повышение температуры, вибрацию, шум и логику связи. Он также должен подтвердить, согласованы ли направление подачи воздуха и технологического выхлопа, а также работоспособность материала корпуса в агрессивной среде. Данные прототипа и подтверждающие чертежи архивируются вместе и служат основой для проверки последующих партий.

В проекте EFU по оборудованию для травления Aili Industry организует проверку прототипа или первого устройства в соответствии с чертежами оборудования, сохраняет данные о сборке, производительности, координации выхлопных газов и материалах вместе с подтверждающими чертежами, а затем закрепляет конфигурацию партии. Заводы по производству оборудования комплектуют прототипы и партии в рамках одной и той же производственной системы, что упрощает поддержание согласованности версий по сравнению с координацией между поставщиками. Сопутствующие машины можно отнести кблока фильтров вентилятора оборудования EFU см. в разделе «Нестандартный интерфейс».Структурное описание на странице «Настройка EFU» .Инструкции по настройке на странице

Решение EFU от Aili Industrial для травильного оборудования

Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и элементы управления собственной разработки. Путь подачи воздуха, материал корпуса и полный интерфейс оборудования EFU травильного оборудования можно проверить по чертежам оборудования в рамках одной производственной системы, что устраняет необходимость передачи параметров между несколькими поставщиками. Для таких проектов, как травильное оборудование, в котором используются агрессивные среды и технологические выхлопы, Aili Industries может организовать проверку прототипа и серийное отверждение в соответствии с подтверждающим чертежом, а также указать направление подачи воздуха, координацию выхлопа, выбор материала и условия взаимодействия в проверяемые полные данные машины.

Как сформировать исполняемые результаты подтверждения

Сначала выполните предварительную проверку информации, а затем проведите техническое подтверждение приобретаемой модели. Включите защитную зону, технологические выхлопы, агрессивную среду, источник приточного воздуха, конфигурацию фильтрации и связь управления в дополнительный список, а затем организуйте сравнение после ответа поставщика. Для выполнения заказа используются подтвержденная модель, конфигурация и интерфейс EFU, а обычные параметры окружающей среды не могут быть использованы для замены этих данных проекта. При поставке EFU компания Aili Industrial настраивает всю машину в соответствии с подтверждающим чертежом и фактическими требованиями. Вентиляторы, фильтры, коробки и элементы управления соответствуют каждой позиции в списке заказа, что позволяет заводу-изготовителю травильного оборудования настроить EFU в проверяемые полные состояния машины.

Недоразумения, которых следует избегать

Нам следует избегать сосредоточения внимания только на подаче чистого воздуха и игнорирования направления технологических выхлопов. Нам следует избегать расположения воздухозаборника EFU рядом с технологическим выхлопом. Нам следует избегать использования стандартных материалов коробок непосредственно в агрессивных средах. Нам следует избегать подтверждения совместимости интерфейсов управления до их установки. Нам следует избегать пропуска прототипов и непосредственного создания партий. Суть конфигурации травильного оборудования EFU заключается не в выборе агрегата с красивыми параметрами, а в формировании проверяемого замкнутого контура подачи чистого воздуха, технологических выхлопов и агрессивной среды. Aili Industrial может сначала составить список подлежащих подтверждению утверждений на основе чертежей оборудования, в котором будут указаны площадь, выхлопные газы и состояние материалов.

Связанные вопросы и ответы

Может ли EFU на стороне оборудования напрямую применять параметры FFU для чистой комнаты?

Его не следует применять напрямую. Внутреннее сопротивление, диапазон подачи воздуха, интерфейс и логика управления оборудования обычно различаются.

Как продвигать конфигурацию травильного оборудования EFU, если информация о проекте неполная?

Общая схема оборудования, доступное пространство, целевой объем воздуха или скорость ветра, уровень фильтрации, источник питания и метод управления могут быть предоставлены в первую очередь, и поставщик сформулирует элементы, подлежащие подтверждению; до подтверждения ключевых условий работы нецелесообразно проводить доработку на основе внешнего вида или одной оценки. Компания Aili Industrial может сначала составить список подлежащих подтверждению утверждений на основе чертежей оборудования, в котором будут указаны площадь, выхлопные газы и состояние материалов.

Какую конкретную информацию мне нужно подготовить для ответа на этот вопрос?

Подготовьте текущую информацию о проекте, касающуюся местных целей по обеспечению чистоты, границ воздушного потока и интерфейсов оборудования. Общий чертеж оборудования, лист подтверждения EFU и протокол испытаний прототипа должны соответствовать фактической приобретенной конфигурации; Если каталог, подтверждающий чертеж и запись о доставке не соответствуют друг другу, сначала следует выяснить версию и область применения. При настройке EFU оборудования для травления вы можете обратиться к полным инструкциям по эксплуатации машины и управлению, предоставленным Aili Industry для каждой модели.

Похожие статьи

Как настроить полупроводниковое оборудование EFU? Ключевые точки чистой зоны, объемной фильтрации воздуха и интерфейса оборудования

Как настроить ЭФУ литографического оборудования? Как подтвердить локальную чистоту, стабильный воздушный поток и пространственный интерфейс

На что следует обратить внимание при настройке фильтра U15 в EFU? Ключевые точки сопротивления, объема воздуха, уплотнения и обнаружения утечек

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка выбора и закупок Aili Industrial EFU

Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и элементы управления собственной разработки. Путь подачи воздуха, материал корпуса и полный интерфейс оборудования EFU травильного оборудования можно проверить по чертежам оборудования в рамках одной производственной системы, что устраняет необходимость передачи параметров между несколькими поставщиками. Завод по производству оборудования комплектует прототип и серийную партию оборудования для травления EFU в рамках одной системы, что легче поддерживать согласованность, чем координацию между поставщиками.

учитьсяПродукты Aili Industrial EFU и индивидуальные конфигурации , можно просмотреть полную структуру машины.Блок фильтра вентилятора оборудования EFU , можно просмотреть нестандартный интерфейсИндивидуальный EFU , схему управления можно просмотретьБлок фильтра вентилятора оборудования ЭФУ, регулирующий скорость постоянного тока , можно просмотреть пакет фильтровВоздушные фильтры HEPA и ULPA . Пожалуйста, укажите позиции проверки, использование оборудования и предполагаемое количество в этой статье, чтобы облегчить подтверждение соответствующей модели и объема поставки.