Làm cách nào để cấu hình EFU thiết bị đóng gói tiên tiến? Các điểm chính của khu vực sạch sẽ, lọc thể tích không khí và giao diện thiết bị

Cấu hình EFU của thiết bị đóng gói tiên tiến và FFU trần phòng sạch truyền thống là hai bộ logic. Ống FFU trên trần đề cập đến số lượng thay đổi không khí trong không gian rộng lớn và ống EFU ở phía thiết bị đề cập đến môi trường vi mô cục bộ trên đường chuyển động của wafer hoặc chất nền bên trong thiết bị. Các quy trình đóng gói tiên tiến—liên kết lai, hàn nóng chảy lại bằng axit formic và hàn chip lật—không có khả năng chịu đựng các chất gây ô nhiễm dạng hạt và phân tử tốt hơn nhiều so với quy trình trước đó, nhưng không gian trục Z còn lại cho mô-đun tinh chế bên trong thiết bị thường chỉ có vài chục mm. Khi định cấu hình EFU, trước tiên bạn phải xác định rõ ràng các khu vực sạch bên trong thiết bị, sau đó chọn loại theo thể tích không khí và mức lọc của từng khu vực, cuối cùng xác nhận xem các giao diện của EFU và điều khiển chính của thiết bị, ống dẫn khí và giao diện lắp đặt có thể thẳng hàng hay không. công nghiệp Ái LýEFU siêu mỏng 70mm được thiết kế đặc biệt cho các môi trường vi mô phía thiết bị như EFEM và Load Port. Nó hỗ trợ các cấp độ lọc từ H13/H14 đến U15/U16 và giao diện điều khiển RS485/Modbus. Nó có thể kiểm tra cấu hình máy hoàn chỉnh theo bản vẽ thiết bị trong một không gian hạn chế.

Khu vực sạch: đầu tiên vẽ ranh giới, sau đó xác định mức độ

Yêu cầu về độ sạch trong thiết bị đóng gói tiên tiến không đồng nhất. Độ sạch khu vực làm việc của máy liên kết lai có thể đạt mức ISO 3. Cấu hình EFU của thiết bị hàn nóng chảy lại axit formic được đánh dấu bằng hiệu suất H14, tốc độ gió có thể điều chỉnh và chức năng liên lạc. Các phần quy trình khác nhau có các yêu cầu khác nhau đối với hạt và AMC, đồng thời EFU không thể có một kích cỡ phù hợp cho toàn bộ máy.

Trước khi cấu hình, bên trong thiết bị phải được chia thành ba loại khu vực: khu vực tiếp xúc với tấm bán dẫn/chất nền (EFEM bên trong, giao diện Load Port, bàn làm việc liên kết) yêu cầu mức độ sạch cao nhất và dòng chảy tầng ổn định; khu vực cơ cấu truyền động (hành trình robot, ray dẫn hướng) cần ngăn chặn sự khuếch tán của các hạt do chuyển động gây ra; vùng ngoại vi của buồng xử lý (gần hàn nóng chảy lại, đầu đặt) có thể cần phải xử lý các chất ô nhiễm phân tử do chính quy trình tạo ra. Số lượng EFU, vị trí lắp đặt và mức lọc ở từng khu vực cần được xác nhận riêng biệt, thay vì phân bố đều theo khu vực bên ngoài thiết bị.

Công nghiệp Ái LýCác kịch bản ứng dụng của EFU siêu mỏng 70mm rõ ràng bao gồm các môi trường vi mô của thiết bị bán dẫn như EFEM, Load Port và máy phân loại wafer. Nó hỗ trợ bộ lọc siêu mịn không chứa boron PTFE tùy chọn để đáp ứng các nhu cầu nhạy cảm của các quy trình tiên tiến về ô nhiễm boron.

Thể tích không khí và quá trình lọc: “đủ” về mặt thiết bị khó hơn “lớn”

Khó khăn trong việc lựa chọn thể tích không khí của EFU phía thiết bị không phải là giá trị tối đa mà là độ đồng đều và ổn định ở tốc độ gió mục tiêu . Bề mặt thoát khí EFU bên trong thiết bị đóng gói tiên tiến thường gần với đường dẫn của tấm bán dẫn và tốc độ gió không đồng đều sẽ trực tiếp chuyển thành nhiễu loạn cục bộ hoặc lắng đọng hạt. Aili Industrial 70mm EFU hỗ trợ điều chỉnh vô cấp tốc độ gió bề mặt từ 0,35 đến 0,45 m/s và độ đồng đều của luồng khí trên bề mặt đầu ra được kiểm soát theo yêu cầu của thiết bị. Đối với các quy trình như hàn nóng chảy lại axit formic, EFU cũng cần duy trì hiệu quả lọc ổn định trong môi trường ăn mòn hoặc môi trường nhiệt độ cao. Mức H14 là điểm khởi đầu chung. Để biết phương pháp tính diện tích bộ lọc và tốc độ gió mặt, vui lòng tham khảoLàm thế nào để tính tốc độ gió bề mặt EFU? Làm thế nào để xác định diện tích lọc hiệu quả và tốc độ gió trung bình .

Việc lựa chọn mức lọc cần phân biệt giữa dòng hạt và dòng AMC. Lọc hạt xác định H13/H14 hoặc U15/U16 theo phần quy trình; Kiểm soát AMC yêu cầu xác nhận bổ sung về loại bộ lọc. Giấy lọc sợi thủy tinh truyền thống có thể giải phóng boron, gây nguy cơ ô nhiễm cho bề mặt liên kết trong bao bì tiên tiến. Bộ lọc không chứa boron PTFE là một lựa chọn. Nếu quy trình thiết bị liên quan đến chất bay hơi hữu cơ hoặc khí axit, bộ lọc hóa học cần được cấu hình bên ngoài hoặc bên trong EFU. Tuy nhiên, điều này sẽ làm tăng sức cản của gió và điểm vận hành của quạt phải được kiểm tra lại trong quá trình lựa chọn model. Để biết các loại kết hợp bộ lọc, vui lòng tham khảoBộ lọc không khí HEPA so với ULPA .Hướng dẫn về

Các hành động chính để xác minh thể tích không khí : Đừng chỉ nhìn vào thể tích không khí định mức trên mẫu EFU. Nhà cung cấp phải cung cấp dữ liệu phân bổ tốc độ gió trên bề mặt cửa thoát khí trong các điều kiện lắp đặt mục tiêu (bao gồm bộ lọc và áp suất ngược bên trong của thiết bị). Mặt thoát khí của EFU bên trong thiết bị thường đối diện với cánh tay robot hoặc bệ đỡ. Áp suất ngược khác với áp suất của bệ mở và thể tích không khí định mức có thể giảm hơn 20% trong thiết bị.

Giao diện thiết bị: ba giao diện: điện, ống dẫn khí và lắp đặt

Sự khác biệt lớn nhất giữa EFU phía thiết bị và FFU chung là giao diện. FFU phổ thông được lắp đặt theo ke trần và được điều khiển bằng công tắc trên tường; EFU phía thiết bị phải được gắn vào tấm kim loại của thiết bị, được kết nối với PLC của thiết bị và được kết nối với ống dẫn khí của thiết bị. Khi định cấu hình, bạn cần xác nhận từng giao diện một.

Giao diện điện . Cài đặt tốc độ và phản hồi trạng thái của EFU cần được liên kết với bộ điều khiển chính của thiết bị. Công nghiệp Ái LýEFU siêu mỏng 70mm hỗ trợ giao thức RS485/Modbus và có thể thực hiện liên kết và điều khiển nhóm với PLC của thiết bị. Sơ đồ điều khiển có thể tham khảobộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC . Hướng dẫn về Điều cần được xác nhận là: liệu EFU có chấp nhận lệnh tốc độ 0-10V hoặc Modbus hay không, cảnh báo lỗi có được phát ra thông qua các tiếp điểm khô hoặc phương thức giao tiếp hay không và liệu bộ điều khiển chính của thiết bị có thể đọc được tốc độ thực tế của EFU và chênh lệch áp suất của bộ lọc hay không. Nếu thiết bị yêu cầu EFU khởi động trước trước khi wafer đi vào khu vực làm việc và trì hoãn việc tắt máy sau khi quá trình hoàn tất, thì việc logic định thời này nên được điều khiển bởi PLC của thiết bị hay chính EFU phải được làm rõ trong giai đoạn cấu hình.

Giao diện ống dẫn khí . EFU bên trong thiết bị thường không cung cấp không khí một cách độc lập mà phối hợp với ống dẫn khí của thiết bị hoặc đường dẫn khí hồi. Hỗ trợ công nghiệp AiliEFU tùy chỉnh , giao diện mặt bích và ống dẫn khí của thiết bị được kết nối trực tiếp. Cấu trúc cửa gió vào/cửa gió bên Cần xác nhận: phương pháp kết nối giữa cửa thoát khí EFU và ống dẫn khí của thiết bị (kích thước mặt bích, phương pháp bịt kín), liệu đường dẫn khí hồi lưu có đi qua phía cửa nạp khí EFU hay không và liệu có đủ không gian hồi lưu bên trong thiết bị hay không. Nếu EFU được lắp đặt trong khoang kín, nhiệt độ không khí vào có thể cao hơn nhiệt độ môi trường xung quanh xưởng. Khi lựa chọn, phải sử dụng nhiệt độ khí vào thực tế trong thiết bị để kiểm tra độ tăng nhiệt độ của động cơ.

Cài đặt giao diện . Thiết bị đóng gói tiên tiến rất nhạy cảm với rung động vi mô và độ cứng gắn của EFU ảnh hưởng trực tiếp đến độ chính xác của liên kết.Tai lắp và các điểm cố định của EFU siêu mỏng 70mm cần phải tương ứng với các gân kết cấu của bảng thiết bị để tránh các điểm cố định rơi vào giữa tấm mỏng và gây rung cục bộ. EFU siêu mỏng của Aili Industrial sử dụng động cơ DC không chổi than tùy chỉnh và bánh xe gió bằng hợp kim nhôm cân bằng động có độ chính xác cao để giảm nguy cơ rung động được truyền đến các thiết bị quang học chính xác hoặc các tầng bán dẫn. Khi xác nhận giao diện lắp đặt, vị trí điểm cố định, độ dày của bảng thiết bị và phương pháp gia cố phải được đưa vào bản vẽ thiết bị để xác minh. Phương pháp xác minh đường truyền rung động có thể được tham khảoLàm thế nào để kiểm soát độ rung của EFU siêu mỏng? nguồn rung, độ cứng lắp đặt và kiểm tra cộng hưởng phía thiết bị .Hướng dẫn về

Nguyên mẫu và lô: Trình tự xác minh EFU phía thiết bị

Cấu hình EFU của thiết bị đóng gói tiên tiến không thể bỏ qua giai đoạn nguyên mẫu và phân lô trực tiếp. Những gì nguyên mẫu cần xác minh không phải là các thông số định mức của bộ EFU mà là hiệu suất thực tế sau khi được lắp đặt vào thiết bị : phân bố tốc độ gió trên đường dẫn wafer, độ ổn định vận hành liên tục trong điều kiện tăng nhiệt độ bên trong của thiết bị, liệu hoạt động khóa liên động của EFU và bộ điều khiển chính của thiết bị có chính xác hay không và liệu độ rung chồng chất khi nhiều EFU chạy cùng lúc có nằm trong phạm vi chấp nhận được hay không. Mô hình EFU đã được xác nhận, các tham số điều khiển và giao diện cài đặt được củng cố vào BOM thiết bị. EFU lô tương ứng với từng bản vẽ thiết bị và hồ sơ nguyên mẫu. Các tham số mẫu không thể được sử dụng để thay thế dữ liệu của dự án này.

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Đối với các máy hoàn chỉnh có liên quan, vui lòng tham khảoTheo mô tả cấu trúc trên trang bộ lọc quạt thiết bị EFU , các mô hình siêu mỏng có thể tổ chức xác minh nguyên mẫu và xử lý hàng loạt theo bản vẽ thiết bị, đồng thời lưu trữ dữ liệu phân bố tốc độ gió, độ tăng nhiệt độ và độ rung bằng các bản vẽ xác nhận, tạo điều kiện thuận lợi cho các nhà sản xuất thiết bị hoàn thành các nguyên mẫu và lô trong cùng một hệ thống sản xuất. Việc duy trì tính nhất quán của phiên bản sẽ dễ dàng hơn so với việc phối hợp giữa các nhà cung cấp.

Cách tạo kết quả xác minh cấu hình thực thi

Trước tiên, hãy xác nhận việc phân chia các khu vực sạch bên trong thiết bị và tốc độ gió mục tiêu trong từng khu vực, sau đó yêu cầu nhà cung cấp cung cấp dữ liệu phân bổ tốc độ gió, bảng điểm Modbus và sơ đồ giao diện lắp đặt trong điều kiện áp suất ngược trong thiết bị cho mô hình siêu mỏng cần mua. Thêm khu vực sạch, mức lọc, bảng điểm điện, mặt bích ống dẫn khí và các điểm cố định lắp đặt vào danh sách bổ sung, sau đó tổ chức so sánh sau khi nhà cung cấp phản hồi. Cấu hình EFU đã được xác nhận tương ứng với BOM của thiết bị và không thể sử dụng các tham số mẫu để thay thế dữ liệu dự án này. Trong nguồn cung cấp EFU, Aili Industrial cấu hình máy hoàn chỉnh theo bản vẽ xác nhận và yêu cầu thực tế. Quạt, bộ lọc, hộp và bộ điều khiển tương ứng với từng hạng mục trong danh sách đặt hàng, điều này tạo điều kiện thuận lợi cho nhà máy sản xuất thiết bị định cấu hình cấu hình EFU của thiết bị đóng gói tiên tiến phù hợp với các điều kiện máy hoàn chỉnh có thể kiểm chứng được.

Những hiểu lầm cần tránh

Nên tránh phân bổ đều EFU theo diện tích bên ngoài của thiết bị mà không phân chia vùng sạch. Nên tránh sử dụng thể tích không khí định mức của băng ghế mở để thay thế thể tích không khí trong điều kiện áp suất ngược bên trong thiết bị. Nên tránh chỉ xác nhận 'giao tiếp hỗ trợ' mà không kiểm tra bảng điểm Modbus và thời gian bắt đầu-dừng. Nên tránh bỏ qua hiệu ứng khuếch đại của độ cứng của bảng thiết bị đối với độ rung của EFU và tránh bỏ qua nguyên mẫu và trực tiếp lô. Cốt lõi của cấu hình EFU của thiết bị đóng gói tiên tiến không phải là 'vừa khít và có đủ thể tích không khí', mà là tạo thành một vòng khép kín có thể kiểm chứng được giữa khu vực sạch, lọc thể tích không khí và giao diện thiết bị.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

Không gian bên trong của thiết bị đóng gói tiên tiến chỉ 80-100mm. Làm thế nào để chọn EFU?
Ưu tiên kiểm tra tổng chiều cao của EFU bao gồm cả bộ lọc. Công nghiệp Ái LýĐộ dày tủ của EFU siêu mỏng 70mm là 70mm (không bao gồm phần bộ lọc), chừa khoảng trống cho việc lắp đặt bộ lọc và ống dẫn khí trên trục Z của thiết bị. Nếu không gian chật hẹp hơn, bạn cần xác nhận xem nó có chấp nhận cấu trúc cửa hút gió bên hay mặt bích không chuẩn để giảm chiều cao lắp đặt hay không.

Thiết bị liên kết lai có những yêu cầu đặc biệt nào đối với EFU?
Độ sạch của khu vực làm việc liên kết lai có thể đạt đến cấp độ ISO 3 và EFU cần bảo vệ dòng chảy từng lớp bao phủ giao diện liên kết wafer. Đồng thời, thiết bị liên kết cực kỳ nhạy cảm với các rung động vi mô, đồng thời độ cân bằng động cơ và độ cứng lắp đặt của EFU cần được xác nhận ưu tiên hơn thể tích không khí. AMC cần chú ý xem bộ lọc có chứa boron hay không.

Giao diện Modbus của EFU có thể giao tiếp trực tiếp với PLC của thiết bị của tôi không?
Phần cứng thường ổn, nhưng bạn cần kiểm tra ba điều: liệu các thông số giao tiếp của EFU (tốc độ truyền, số kiểm tra, địa chỉ phụ) có thể cấu hình được hay không, bảng địa chỉ đăng ký có được cung cấp cùng với sản phẩm hay không và liệu định nghĩa mã lỗi có rõ ràng hay không. Chỉ viết 'Hỗ trợ Modbus' mà không cung cấp EFU của bảng điểm sẽ tiêu tốn thêm nhiều giờ công trong giai đoạn gỡ lỗi trong quá trình tích hợp.

Bài viết liên quan

EFU siêu mỏng 70mm phù hợp với những thiết bị nào? Mô tả kích thước, hiệu suất và điều kiện lắp đặt

Làm thế nào để thiết kế ống dẫn khí EFU siêu mỏng? Cấu trúc nhỏ gọn, tổ chức luồng không khí và xác minh nguyên mẫu

Làm thế nào để đối phó với tản nhiệt EFU siêu mỏng? Nguồn tăng nhiệt độ, phối hợp đường dẫn khí và xác minh hoạt động lâu dài

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ lựa chọn và mua sắm EFU công nghiệp Aili

công nghiệp Ái LýEFU siêu mỏng 70mm được thiết kế đặc biệt cho môi trường vi mô của thiết bị bán dẫn, bao gồm EFEM, Cổng tải, phân loại wafer, thiết bị liên kết và các tình huống khác. Nó hỗ trợ các mức bộ lọc H13/H14 đến U15/U16, điều khiển RS485/Modbus, tùy chỉnh cửa vào/ra không khí bên hông và các tùy chọn bộ lọc không chứa boron PTFE. Nhà máy sản xuất thiết bị có thể kiểm tra không gian lắp đặt EFU, giao diện ống dẫn khí và bảng điểm điều khiển theo bản vẽ của thiết bị, đồng thời củng cố dữ liệu xác minh nguyên mẫu và cấu hình lô cùng nhau.

Tìm hiểu về các sản phẩm EFU công nghiệp của Aili và cấu hình tùy chỉnh. Kiểm tra các mô hình nhỏ gọn.EFU siêu mỏng 70mm , có thể xem được toàn bộ kết cấu máyBộ lọc quạt thiết bị EFU , giao diện không chuẩn có thể được xemEFU tùy chỉnh , sơ đồ điều khiển có thể được xembộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC , gói bộ lọcCó thể xem Bộ lọc không khí HEPA và ULPA . Vui lòng gửi phân chia khu vực sạch sẽ, kích thước không gian lắp đặt và số lượng ước tính của thiết bị để tạo điều kiện xác nhận kiểu máy và cấu hình giao diện tương ứng.