ケミカルフィルターとULPAフィルターは代替可能ですか？

一部のプロジェクト現場では、ケミカルフィルターとULPAの寸法が類似しており、同じフレームに収まることもあります。 「全部インストールできるから、相互に代用できるのでは？」と思う人もいるかもしれません。

答えはノーです。 2 つのフィルターは異なるオブジェクトを処理し、異なる評価基準を持ち、システム内で異なるタスクを実行します。外観が似ているのは単なる偶然であり、代替の根拠として使用することはできません。具体的な役割分担については、こちらをご覧ください。 ケミカルフィルターとHEPAフィルターの違いについて説明します 。

高粒子グレードは分子制御能力と同等ではない

これが最もわかりにくい点です。

ULPA のグレード (U15、U16、U17) は、特定の粒径の粒子の濾過効率を表します。この値がいくら高くても、それは粒子制御能力を示すだけであり、ガス状汚染物質の処理効果を示すものではありません。

ケミカルフィルターはガス分子を扱い、対象ガスの除去効率、吸着能力、透過時間を評価します。 ULPA システムは粒子を非常にうまく制御できますが、酸性ガス、アンモニア、または有機蒸気を除去する能力はほとんどありません。

その逆もまた真です。 ケミカルフィルターのガス処理データは、特定の粒子濾過レベルを達成していることを証明するものではありません。 2 つの評価システムは重複せず、相互に変換することはできません。

関与する ULPA超高性能フィルターの選定は 、具体的な製品情報からご確認いただけます。

交換するとシステムの機能が変わります

システム内の ULPA をケミカル フィルターに置き換えたり、その逆を行ったりするとどうなるでしょうか?

ULPA 層を除去します。粒子制御機能が低下する可能性があります。プロセスに粒子の要件がある場合、この変更は製品の歩留まりに直接影響する可能性があります。

ケミカルフィルター層を除去すると、ガス状汚染物質の処理能力が失われます。プロジェクトに AMC 制御要件がある場合、ガス濃度が増加する可能性があります。

新しいフィルター層を追加すると、システムの総抵抗が増加し、ファンの動作点が移動し、風量が減少する可能性があります。新しいフィルターが正常に機能したとしても、システムのマッチングに問題が発生する可能性があります。

したがって、交換とは単に部品を交換するだけではなく、システムの機能を変更することを意味します。 リプレースを決定する前に、この機能がプロジェクトに必要かどうか、およびシステムが変更に耐えられるかどうかを確認する必要があります。

機密性の高いプロセスでは両方が必要になる場合があります

多くの実際のプロジェクトでは、粒子制御とガス制御が共存しています。

半導体製造: フォトリソグラフィー、エッチング、その他のプロセスでは、粒子制御と特定のガス組成制御の両方が必要です。 2つの欲求が同時に存在し、どちらか一方だけを満たすことはできません。

精密エレクトロニクスおよびセンサーのパッケージング: 製品の表面は粒子を恐れるだけでなく、特定の揮発性物質の堆積も恐れています。空気供給システムには、ULPA セクションと化学ろ過セクションの両方を装備する必要がある場合があります。

医薬品および生物医学: 無菌エリアでは粒子を制御する必要があり、場合によっては外部の臭気や特定のガスにも対処する必要があります。具体的な設定方法については、以下を参照してください。 MAUボックスケミカルフィルターの説明 。

このタイプのプロジェクトでは、2 つのフィルターは置換関係ではなく協力関係にあります。 彼らはそれぞれ独自のタスクを引き受け、共同でプロセス環境を確保します。サポートする ケミカルフィルターを装備した FFU システムの場合 、フィルターセクションの順序、抵抗、メンテナンス方法も確認する必要があります。

マッチング時にパフォーマンスの混在を避ける

複合システムでは、外部情報により粒子制御機能とガス制御機能の両方を備えていることが示されますが、各層の役割の区別に注意を払う必要があります。

1 つのレベルで 2 つの機能を説明することはできません。 ULPA 定格は、ガス処理能力を説明するために使用することはできません。化学フィルターの効率データでは粒子制御レベルを説明できません。

検出方法は分離する必要があります。 粒子検出とガス検出では使用する機器、サンプリング方法、判定基準が異なります。受け入れの際には、それらを個別に確認し、記録する必要があります。

メンテナンスの根拠も異なります。 ULPA の交換は、圧力差と漏れ検出結果によって決まります。ケミカルフィルターの交換時期は、ガス処理能力の消費量によって異なります。両者は保守周期や判断方法が異なるため、台帳を別々に管理する必要があります。

動作中に調整するよりも、システム設計段階で 2 層フィルターの界面、順序、抵抗を明確に計算する方がはるかに簡単です。 具体的な構成については、を参照してください。 ケミカルフィルター製品群 の製品説明。

プロジェクトの判断例

特定のウェーハ処理装置では、内部環境を制御する必要があります。

暫定計画では、高度な濾過がすべての問題を解決できると考え、ULPAを設置するだけでした。一定期間稼働させた後、粒子インジケーターは正常ですが、機器内部に原因不明の金属表面の変化があります。

調査の結果、環境中に微量の酸性ガスが存在し、その発生源は近くのプロセスからの排出に関連していることが判明しました。 ULPA にはこの種のガスを扱う能力がないため、問題を解決することはできません。

調整案：パーティクルコントロール用のULPAはそのままに、エア供給経路に酸性ガスに適した化学ろ過部を追加。 2 段フィルターの抵抗、インターフェイス、メンテナンス方法を再チェックした後、システムは通常の動作に戻りました。

この事例は、ULPA フィルタとケミカル フィルタはそれぞれ独自の機能を持ち、相互に置き換えることはできないことを示しています。 関与する HEPA/ULPAエアフィルター の組み合わせ構成も同様の判定ロジックとなります。

選定と受入検査のポイント

Aili Industrialの組み合わせ構成パッケージについて

粒子濾過と気相濾過の組み合わせの核心は、2 種類の要件を個別に確認し、システム レベルで均一に確認することです。

Aili Industrial は、フィルター、モーター、ファン、制御システム、板金加工における独立した製造能力を有しており、ULPA/HEPA フィルターおよびケミカル フィルター製品シリーズを提供できます。粒子制御とガス制御の両方を含むプロジェクトの場合、計画段階で 2 段階フィルターの順序、抵抗、インターフェイスを一緒にチェックして、設置後の構成の不一致によって引き起こされる手戻りを減らすことができます。

関連商品：ケミカルフィルター製品シリーズ、ULPA超高性能フィルター、FFUにはケミカルフィルターが付属しています。適切な組み合わせソリューションを確認するために、粒子制御ターゲットとガスターゲットの別のリストが調査中に提供されます。具体的な構成は、プロジェクトによって確認された技術文書およびテスト結果の対象となります。