케미컬 필터와 ULPA 필터를 서로 대체할 수 있나요?

일부 프로젝트 현장에서는 화학 필터와 ULPA의 치수가 유사하며 동일한 프레임에 들어갈 수도 있습니다. 어떤 사람들은 '모두 설치할 수 있는데 서로 대체할 수 있을까?'라고 생각할 수도 있습니다.

대답은 '아니요'입니다. 두 필터는 서로 다른 개체를 처리하고, 서로 다른 평가 기준을 가지며, 시스템에서 서로 다른 작업을 수행합니다. 유사한 모습은 우연일 뿐이며 대체의 근거로 사용될 수 없습니다. 구체적인 업무 분업은 다음을 참조하세요. 케미컬 필터와 HEPA 필터의 차이점에 대한 설명입니다 .

높은 입자 등급은 분자 제어 능력과 동일하지 않습니다.

이것이 가장 혼란스러운 지점이다.

ULPA 등급(U15, U16, U17)은 특정 입자 크기의 입자에 대한 여과 효율성을 나타냅니다. 이 값이 아무리 높아도 입자 제어 능력만을 나타내는 것이며, 기체상 오염물질에 대한 처리 효과는 나타내지 않습니다.

화학 필터는 가스 분자를 다루며 대상 가스의 제거 효율, 흡착 용량 및 침투 시간을 평가합니다. ULPA 시스템은 입자를 매우 잘 제어할 수 있지만 산성 가스, 암모니아 또는 유기 증기를 제거하는 능력은 거의 없습니다.

그 반대도 마찬가지입니다. 화학 필터에 대한 가스 처리 데이터는 해당 필터가 특정 입자 여과 수준을 달성했음을 입증하지 않습니다. 두 평가 시스템은 중복되지 않으며 서로 변환할 수 없습니다.

관련된 ULPA 초고효율 필터 의 선택은 구체적인 제품정보를 통해 확인하실 수 있습니다.

교체로 인해 시스템 기능이 변경됩니다.

시스템의 ULPA를 화학 필터로 교체하거나 그 반대로 교체하면 어떻게 될까요?

ULPA 레이어를 제거하면 입자 제어 기능이 저하될 수 있습니다. 프로세스에 입자에 대한 요구 사항이 있는 경우 이러한 변경은 제품 수율에 직접적인 영향을 미칠 수 있습니다.

케미컬필터층을 제거하면 가스오염 처리능력이 사라집니다. 프로젝트에 AMC 제어 요구 사항이 있는 경우 가스 농도가 증가할 수 있습니다.

새로운 필터 레이어 추가 : 시스템의 총 저항이 증가하고 팬 작동 지점이 이동하며 공기량이 감소할 수 있습니다. 새 필터가 제대로 작동하더라도 시스템 일치에 문제가 있을 수 있습니다.

따라서 교체는 단순히 부품을 교체하는 것이 아니라 시스템의 기능을 변경하는 것입니다. 교체를 결정하기 전에 먼저 프로젝트에 이 기능이 필요한지, 시스템이 변경 사항을 견딜 수 있는지 확인해야 합니다.

민감한 프로세스에는 두 가지가 모두 필요할 수 있습니다.

많은 실제 프로젝트에서 입자 제어와 가스 제어가 공존합니다.

반도체 제조 : 포토리소그래피, 에칭 및 기타 공정에는 입자 제어와 특정 가스 조성 제어가 모두 필요합니다. 두 가지 욕구가 동시에 존재하며 그 중 하나만 충족될 수는 없습니다.

정밀 전자 및 센서 패키징 : 제품 표면은 입자뿐만 아니라 특정 휘발성 물질의 침전도 두려워합니다. 공기 공급 시스템에는 ULPA 및 화학 여과 섹션을 모두 갖추고 있어야 할 수도 있습니다.

제약 및 생물의학 : 멸균 구역은 입자를 제어해야 하며 외부 냄새나 특정 가스를 처리해야 할 수도 있습니다. 구체적인 구성 방법은 다음을 참조하세요. MAU 박스 화학 필터 에 대한 설명입니다 .

이러한 유형의 프로젝트에서는 두 필터가 대체 관계가 아닌 협력 관계에 있습니다. 그들은 각자 자신의 업무를 수행하고 프로세스 환경을 공동으로 보장합니다. 지원 화학 필터가 장착된 FFU 시스템의 경우 필터 섹션의 순서, 저항 및 유지 관리 방법도 확인해야 합니다.

일치 시 성능 혼합 방지

결합된 시스템에서는 외부 정보를 통해 입자 제어 기능과 가스 제어 기능이 모두 있음을 나타낼 수 있지만 각 계층의 책임을 구별하는 데 주의를 기울여야 합니다.

한 수준에서는 두 가지 기능을 설명할 수 없습니다. ULPA 등급은 가스 취급 능력을 설명하는 데 사용할 수 없습니다. 화학 필터 효율성 데이터는 입자 제어 수준을 설명할 수 없습니다.

탐지 방법은 분리되어야 합니다. 입자 감지와 가스 감지는 서로 다른 장비, 샘플링 방법 및 판단 기준을 사용합니다. 수락하는 동안 별도로 확인하고 기록해야 합니다.

유지관리의 기본도 다릅니다. ULPA 교체는 압력차와 누출 감지 결과에 따라 달라집니다. 화학 필터 교체는 가스 처리 용량 소비에 따라 달라집니다. 둘의 유지주기와 판단방식이 다르며, 원장은 별도로 관리해야 합니다.

작동 중에 조정하는 것보다 시스템 설계 단계에서 2층 필터의 인터페이스, 시퀀스 및 저항을 명확하게 계산하는 것이 훨씬 쉽습니다. 구체적인 구성은 다음을 참조하세요. 화학 필터 제품군 에 대한 제품 설명입니다 .

프로젝트 판단 예

특정 웨이퍼 처리 장비는 내부 환경을 제어해야 합니다.

예비 계획에서는 높은 수준의 여과로 모든 문제를 해결할 수 있다고 생각하여 ULPA만 설치했습니다. 일정 시간 동안 작동한 후 입자 표시기는 정상이지만 장비 내부에 설명할 수 없는 금속 표면 변화가 있습니다.

조사 결과 환경에 미량의 산성 가스가 존재하며 그 원인은 인근 공정에서 발생하는 배출과 관련이 있는 것으로 나타났습니다. ULPA는 이러한 유형의 가스를 처리할 수 있는 능력이 없으므로 문제를 해결할 수 없습니다.

조정 계획: 입자 제어를 위해 ULPA를 유지하면서 공기 공급 경로에 산성 가스에 적합한 화학 여과 섹션을 추가합니다. 2단계 필터의 저항, 인터페이스 및 유지 관리 방법을 재점검한 후 시스템은 정상 작동으로 돌아왔습니다.

이 사례는 다음을 보여줍니다. ULPA와 화학 필터는 고유한 기능을 갖고 있으며 서로를 대체할 수 없습니다. 관련된 HEPA/ULPA 공기 필터 의 결합 구성은 동일한 판단 논리를 갖습니다.

선정 및 합격심사 핵심사항

Aili Industrial의 조합 구성 패키지 정보

입자여과와 기상여과 조합의 핵심은 두 가지 요구사항을 별도로 확인한 후, 시스템 차원에서 통일적으로 확인하는 것입니다.

Aili Industrial은 필터, 모터, 팬, 제어 시스템 및 판금 가공 분야에서 독립적인 제조 능력을 보유하고 있으며 ULPA/HEPA 필터 및 화학 필터 제품 시리즈를 제공할 수 있습니다. 입자 및 가스 제어를 모두 포함하는 프로젝트의 경우 계획 단계에서 2단계 필터의 순서, 저항 및 인터페이스를 함께 확인하여 설치 후 구성 불일치로 인한 재작업을 줄일 수 있습니다.

관련 제품:케미컬 필터 제품 시리즈、ULPA 초고효율 필터、FFU에는 화학 필터가 함께 제공됩니다 . 적절한 조합 솔루션을 확인하는 데 도움이 되도록 문의 중에 별도의 입자 제어 대상 및 가스 대상 목록이 제공됩니다. 특정 구성은 프로젝트에서 확인한 기술 문서 및 테스트 결과의 적용을 받습니다.