Lọc hóa học và lọc ULPA có thể thay thế cho nhau được không?

Tại một số địa điểm dự án, bộ lọc hóa học và ULPA có kích thước tương tự nhau và thậm chí có thể vừa với cùng một khung. Một số người có thể nghĩ: Vì chúng đều có thể được cài đặt nên chúng có thể thay thế cho nhau được không?

Câu trả lời là không. Hai bộ lọc xử lý các đối tượng khác nhau, có tiêu chí đánh giá khác nhau và thực hiện các nhiệm vụ khác nhau trong hệ thống. Ngoại hình tương tự chỉ là sự trùng hợp ngẫu nhiên và không thể dùng làm cơ sở để thay thế. Để biết cách phân công lao động cụ thể, vui lòng tham khảo Giải thích về sự khác biệt giữa bộ lọc hóa học và bộ lọc HEPA .

Cấp hạt cao không bằng khả năng kiểm soát phân tử

Đây là điểm khó hiểu nhất.

Các cấp độ của ULPA—U15, U16, U17—mô tả hiệu quả lọc đối với các hạt có kích thước hạt cụ thể. Giá trị này dù cao đến đâu cũng chỉ thể hiện khả năng kiểm soát hạt chứ chưa thể hiện hiệu quả xử lý đối với các chất ô nhiễm dạng khí.

Bộ lọc hóa học xử lý các phân tử khí và đánh giá hiệu quả loại bỏ, khả năng hấp phụ và thời gian thâm nhập của khí mục tiêu. Hệ thống ULPA có thể kiểm soát các hạt rất tốt nhưng có rất ít khả năng loại bỏ khí axit, amoniac hoặc hơi hữu cơ.

Điều ngược lại cũng đúng. Dữ liệu xử lý khí cho bộ lọc hóa học không chứng minh rằng nó đạt được mức lọc hạt nhất định. Hai hệ thống đánh giá không trùng lặp và không thể chuyển đổi lẫn nhau.

liên quan đến Việc lựa chọn bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA có thể được kiểm tra bằng thông tin sản phẩm cụ thể.

Việc thay thế sẽ thay đổi chức năng hệ thống

Điều gì sẽ xảy ra nếu ULPA trong hệ thống được thay thế bằng bộ lọc hóa học hoặc ngược lại?

Loại bỏ lớp ULPA : khả năng kiểm soát hạt có thể bị giảm. Nếu quy trình có yêu cầu về hạt, sự thay đổi này có thể ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất sản phẩm.

Loại bỏ lớp lọc hóa học : khả năng xử lý ô nhiễm khí biến mất. Nếu dự án có yêu cầu kiểm soát AMC thì nồng độ khí có thể tăng lên.

Thêm một lớp bộ lọc mới : tổng điện trở của hệ thống tăng lên, điểm làm việc của quạt thay đổi và thể tích không khí có thể giảm. Ngay cả khi bộ lọc mới hoạt động tốt thì vẫn có thể xảy ra sự cố với việc khớp hệ thống.

Vì vậy việc thay thế không chỉ là thay thế một bộ phận mà là thay đổi chức năng của hệ thống. Trước khi quyết định thay thế, trước tiên bạn phải xác nhận xem dự án có yêu cầu chức năng này hay không và liệu hệ thống có chịu được những thay đổi hay không.

Các quy trình nhạy cảm có thể yêu cầu cả

Trong nhiều dự án thực tế, việc kiểm soát hạt và kiểm soát khí cùng tồn tại.

Sản xuất chất bán dẫn : Quang khắc, khắc axit và các quy trình khác yêu cầu cả kiểm soát hạt và kiểm soát thành phần khí cụ thể. Hai nhu cầu tồn tại cùng một lúc và chỉ một trong số chúng không thể được thỏa mãn.

Bao bì điện tử và cảm biến chính xác : Bề mặt của sản phẩm không chỉ sợ các hạt mà còn sợ lắng đọng một số chất dễ bay hơi. Hệ thống cấp không khí có thể cần được trang bị cả bộ phận ULPA và bộ lọc hóa học.

Dược phẩm và Y sinh : Các khu vực vô trùng phải kiểm soát các hạt và cũng có thể cần xử lý mùi bên ngoài hoặc các loại khí cụ thể. Để biết các phương pháp cấu hình cụ thể, vui lòng tham khảo Mô tả về Bộ lọc hóa học hộp MAU .

Trong loại dự án này, hai bộ lọc có mối quan hệ hợp tác chứ không phải mối quan hệ thay thế. Mỗi người đảm nhận nhiệm vụ riêng của mình và cùng nhau đảm bảo môi trường quy trình. Hỗ trợ Đối với hệ thống FFU được trang bị bộ lọc hóa học , trình tự các phần bộ lọc, phương pháp điện trở và bảo trì cũng cần được kiểm tra.

Tránh trộn lẫn hiệu suất khi kết hợp

Trong hệ thống kết hợp, thông tin bên ngoài có thể chỉ ra rằng nó có cả khả năng kiểm soát hạt và khí, nhưng cần chú ý phân biệt trách nhiệm của từng lớp.

Một cấp độ không thể mô tả hai chức năng. Xếp hạng ULPA không thể được sử dụng để mô tả khả năng xử lý khí; dữ liệu về hiệu suất của bộ lọc hóa học không thể mô tả mức độ kiểm soát hạt.

Phương pháp phát hiện nên được tách ra. Phát hiện hạt và phát hiện khí sử dụng các công cụ, phương pháp lấy mẫu và tiêu chuẩn đánh giá khác nhau. Trong quá trình chấp nhận, chúng phải được xác nhận và ghi lại riêng biệt.

Cơ sở để bảo trì cũng khác nhau. Việc thay thế ULPA phụ thuộc vào chênh lệch áp suất và kết quả phát hiện rò rỉ; việc thay thế bộ lọc hóa học phụ thuộc vào công suất xử lý khí tiêu thụ. Chu kỳ bảo trì và phương pháp phán đoán của cả hai đều khác nhau và sổ cái phải được quản lý riêng.

Việc tính toán rõ ràng giao diện, trình tự và điện trở của bộ lọc hai lớp ở giai đoạn thiết kế hệ thống sẽ dễ dàng hơn nhiều so với việc điều chỉnh trong quá trình vận hành. Cấu hình cụ thể vui lòng tham khảo dòng sản phẩm Bộ lọc hóa học . Mô tả sản phẩm cho

Ví dụ về đánh giá dự án

Một thiết bị xử lý wafer nhất định cần kiểm soát môi trường bên trong.

Phương án sơ bộ chỉ lắp đặt ULPA, cho rằng lọc cấp cao có thể giải quyết được mọi vấn đề. Sau khi chạy một thời gian, các chỉ số hạt vẫn bình thường nhưng bề mặt kim loại bên trong thiết bị có những thay đổi không rõ nguyên nhân.

Cuộc điều tra cho thấy có một lượng nhỏ khí axit trong môi trường và nguồn này có liên quan đến khí thải từ các quá trình gần đó. ULPA không có khả năng xử lý loại khí này nên không thể giải quyết được vấn đề.

Kế hoạch điều chỉnh: Thêm bộ phận lọc hóa học phù hợp với khí axit trên đường cấp khí, đồng thời giữ lại ULPA để kiểm soát hạt. Sau khi kiểm tra lại điện trở, giao diện và phương pháp bảo trì của bộ lọc hai giai đoạn, hệ thống đã trở lại hoạt động bình thường.

Trường hợp này minh họa: ULPA và màng lọc hóa học có chức năng riêng và không thể thay thế nhau. liên quan đến bộ lọc không khí HEPA/ULPA có cùng logic phán đoán. Cấu hình kết hợp của

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Giới thiệu về gói cấu hình kết hợp của Aili Industrial

Cốt lõi của sự kết hợp giữa lọc hạt và lọc pha khí là xác nhận riêng biệt hai loại yêu cầu và sau đó kiểm tra chúng một cách thống nhất ở cấp độ hệ thống.

Aili Industrial có khả năng sản xuất độc lập về bộ lọc, động cơ, quạt, hệ thống điều khiển và gia công kim loại tấm, đồng thời có thể cung cấp dòng sản phẩm bộ lọc ULPA/HEPA và bộ lọc hóa học. Đối với các dự án liên quan đến cả kiểm soát hạt và khí, trình tự, điện trở và giao diện của bộ lọc hai giai đoạn có thể được kiểm tra cùng nhau trong giai đoạn lập kế hoạch để giảm việc làm lại do cấu hình không khớp sau khi lắp đặt.

Sản phẩm liên quan:Dòng sản phẩm lọc hóa chất、Bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA、FFU đi kèm với bộ lọc hóa học . Một danh sách riêng biệt về mục tiêu kiểm soát hạt và mục tiêu khí được cung cấp trong quá trình yêu cầu để giúp xác nhận giải pháp kết hợp phù hợp. Cấu hình cụ thể phải tuân theo các tài liệu kỹ thuật và kết quả thử nghiệm được dự án xác nhận.