Можно ли заменить друг друга химическими фильтрами и фильтрами ULPA?

На некоторых объектах химические фильтры и ULPA имеют одинаковые размеры и даже могут помещаться в одну раму. Некоторые могут подумать: раз их все можно установить, можно ли их заменить друг друга?

Ответ — нет. Два фильтра обрабатывают разные объекты, имеют разные критерии оценки и выполняют разные задачи в системе. Подобный внешний вид является лишь совпадением и не может быть использован в качестве основания для замены. О конкретном разделении труда см. Объяснение разницы между химическими фильтрами и фильтрами HEPA .

Высокое качество частиц не соответствует возможностям молекулярного контроля

Это самый запутанный момент.

Марки ULPA — U15, U16, U17 — описывают эффективность фильтрации частиц определенного размера. Независимо от того, насколько велико это значение, оно показывает только способность контролировать частицы, а не эффект очистки от газообразных загрязняющих веществ.

Химические фильтры обрабатывают молекулы газа и оценивают эффективность удаления, адсорбционную способность и время проникновения целевых газов. Система ULPA может очень хорошо контролировать частицы, но у нее мало возможностей для удаления кислотных газов, аммиака или органических паров.

Обратное также верно. Данные по очистке газа для химического фильтра не доказывают, что он достигает определенного уровня фильтрации частиц. Две системы оценки не пересекаются и не могут быть преобразованы друг в друга.

с участием Выбор сверхвысокоэффективного фильтра ULPA можно проверить, ознакомившись с конкретной информацией о продукте.

Замена изменит функциональность системы.

Что произойдет, если ULPA в системе заменить химическим фильтром или наоборот?

Удалите слой ULPA : возможности контроля частиц могут быть уменьшены. Если в процессе есть требования к частицам, это изменение может напрямую повлиять на выход продукта.

Снимите слой химического фильтра : возможность очистки от газовых загрязнений исчезнет. Если в проекте предусмотрены требования контроля AMC, концентрация газа может увеличиться.

Добавление нового слоя фильтра : общее сопротивление системы увеличивается, рабочая точка вентилятора смещается, а объем воздуха может уменьшаться. Даже если новый фильтр работает нормально, могут возникнуть проблемы с согласованием системы.

Таким образом, замена – это не просто замена детали, а изменение функции системы. Прежде чем принять решение о замене, необходимо сначала подтвердить, требуется ли данная функция проекту и выдержит ли система изменения.

Чувствительные процессы могут требовать как

Во многих практических проектах контроль частиц и контроль газа сосуществуют.

Производство полупроводников . Фотолитография, травление и другие процессы требуют как контроля частиц, так и контроля специфического состава газа. Две потребности существуют одновременно, и только одна из них не может быть удовлетворена.

Прецизионная электроника и сенсорная упаковка : поверхность продукта не только боится частиц, но и осаждения некоторых летучих веществ. Возможно, систему подачи воздуха придется оборудовать секциями ULPA и химической фильтрации.

Фармацевтика и биомедицина : в стерильных зонах необходимо контролировать частицы, а также, возможно, придется бороться с внешними запахами или специфическими газами. Конкретные методы настройки см. Описание химического фильтра MAU Box .

В этом типе проекта два фильтра находятся в отношениях сотрудничества, а не взаимозамещения. Каждый из них решает свои задачи и совместно обеспечивает технологическую среду. Поддержка Для систем FFU, оснащенных химическими фильтрами , также необходимо проверить последовательность секций фильтра, сопротивление и методы обслуживания.

Избегайте смешивания производительности при сопоставлении

В комбинированной системе внешняя информация может указывать на то, что она обладает возможностями контроля как частиц, так и газов, но следует уделять внимание разграничению обязанностей каждого уровня.

Один уровень не может описать две функции. Рейтинги ULPA не могут использоваться для описания возможностей обращения с газом; Данные об эффективности химического фильтра не могут описать уровни контроля частиц.

Методы обнаружения должны быть разделены. Для обнаружения частиц и обнаружения газа используются разные инструменты, методы отбора проб и стандарты оценки. При приемке они должны быть подтверждены и зафиксированы отдельно.

Основания для технического обслуживания также различны. Замена ULPA зависит от разницы давлений и результатов обнаружения утечек; замена химических фильтров зависит от потребления мощности газопереработки. Циклы обслуживания и методы оценки у них разные, и реестрами необходимо управлять отдельно.

Гораздо проще четко рассчитать интерфейс, последовательность и сопротивление двухслойного фильтра на этапе проектирования системы, чем вносить корректировки в процессе эксплуатации. Конкретную конфигурацию см. линейки химических фильтров . Описание продукции

Пример оценки проекта

Определенное оборудование для обработки пластин должно контролировать внутреннюю среду.

По предварительному плану устанавливалась только ULPA, полагая, что фильтрация высокого уровня может решить все проблемы. После работы в течение определенного периода времени показатели частиц в норме, но внутри оборудования наблюдаются необъяснимые изменения на поверхности металла.

Расследование показало, что в окружающей среде присутствовало незначительное количество кислого газа, а источник был связан с выбросами близлежащих процессов. ULPA не имеет возможности работать с этим типом газа, поэтому проблема не может быть решена.

План корректировки: добавить секцию химической фильтрации, подходящую для кислых газов на пути подачи воздуха, сохранив при этом ULPA для контроля частиц. После перепроверки сопротивления, интерфейсов и методов обслуживания двухступенчатых фильтров система вернулась к нормальной работе.

Этот случай иллюстрирует: ULPA и химические фильтры имеют свои собственные функции и не могут заменить друг друга. с участием воздушных фильтров HEPA/ULPA имеет ту же логику оценки. Комбинированная конфигурация

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

О пакете комбинированной конфигурации Aili Industrial

Суть комбинации фильтрации частиц и фильтрации газовой фазы заключается в отдельном подтверждении двух типов требований, а затем единой проверке их на уровне системы.

Aili Industrial имеет независимые производственные мощности по производству фильтров, двигателей, вентиляторов, систем управления и обработки листового металла, а также может предоставить серии фильтров ULPA/HEPA и химических фильтров. Для проектов, включающих контроль как частиц, так и газов, последовательность, сопротивление и интерфейсы двухступенчатых фильтров можно проверить вместе на этапе планирования, чтобы уменьшить количество доработок, вызванных несоответствием конфигурации после установки.

Сопутствующие товары:Серия химических фильтров、ULPA фильтр сверхвысокой эффективности、FFU поставляется с химическим фильтром . Во время запроса предоставляется отдельный список целей контроля частиц и газов, чтобы помочь подтвердить подходящее комбинированное решение. Конкретная конфигурация определяется технической документацией и результатами испытаний, подтвержденными проектом.