Können chemische Filter und ULPA-Filter einander ersetzen?

An einigen Projektstandorten haben chemische Filter und ULPA ähnliche Abmessungen und passen sogar in den gleichen Rahmen. Manche Leute denken vielleicht: Da sie alle installiert werden können, können sie dann auch gegenseitig ersetzt werden?

Die Antwort ist nein. Die beiden Filter verarbeiten unterschiedliche Objekte, haben unterschiedliche Bewertungskriterien und erfüllen unterschiedliche Aufgaben im System. Ein ähnliches Erscheinungsbild ist lediglich ein Zufall und kann nicht als Grundlage für einen Ersatz herangezogen werden. Einzelheiten zur spezifischen Arbeitsteilung finden Sie unter Eine Erklärung des Unterschieds zwischen chemischen Filtern und HEPA-Filtern .

Eine hohe Partikelqualität ist nicht gleichbedeutend mit der Fähigkeit zur molekularen Kontrolle

Das ist der verwirrendste Punkt.

Die ULPA-Klassen U15, U16, U17 beschreiben die Filtrationseffizienz für Partikel einer bestimmten Partikelgröße. Egal wie hoch dieser Wert ist, er zeigt nur die Partikelkontrollfähigkeit an, nicht die Behandlungswirkung auf gasförmige Schadstoffe.

Chemische Filter befassen sich mit Gasmolekülen und bewerten die Entfernungseffizienz, Adsorptionskapazität und Durchdringungszeit der Zielgase. Ein ULPA-System kann Partikel sehr gut kontrollieren, ist jedoch kaum in der Lage, saure Gase, Ammoniak oder organische Dämpfe zu entfernen.

Das Gegenteil ist auch der Fall. Daten zur Gasaufbereitung für einen chemischen Filter beweisen nicht, dass dieser einen bestimmten Partikelfiltrationsgrad erreicht. Die beiden Bewertungssysteme überschneiden sich nicht und sind nicht aufeinander übertragbar.

involvierend Die Auswahl des ULPA-Ultrahocheffizienzfilters kann anhand spezifischer Produktinformationen überprüft werden.

Durch den Austausch ändert sich die Systemfunktionalität

Was würde passieren, wenn der ULPA im System durch einen chemischen Filter ersetzt würde oder umgekehrt?

Entfernen Sie die ULPA-Schicht : Die Partikelkontrollfähigkeit kann beeinträchtigt sein. Wenn für den Prozess Partikel erforderlich sind, kann sich diese Änderung direkt auf die Produktausbeute auswirken.

Entfernen Sie die chemische Filterschicht : Die Fähigkeit zur Behandlung gasförmiger Schadstoffe verschwindet. Wenn für das Projekt AMC-Kontrollanforderungen gelten, kann die Gaskonzentration ansteigen.

Hinzufügen einer neuen Filterschicht : Der Gesamtwiderstand des Systems erhöht sich, der Arbeitspunkt des Ventilators verschiebt sich und die Luftmenge kann abnehmen. Auch wenn der neue Filter einwandfrei funktioniert, kann es zu Problemen bei der Systemanpassung kommen.

Beim Austausch geht es also nicht nur um den Austausch eines Teils, sondern um die Änderung der Funktion des Systems. Bevor Sie sich für einen Austausch entscheiden, müssen Sie zunächst prüfen, ob diese Funktion für das Projekt erforderlich ist und ob das System Änderungen standhält.

Sensible Prozesse können beides erfordern

In vielen praktischen Projekten existieren Partikelkontrolle und Gaskontrolle nebeneinander.

Halbleiterherstellung : Photolithographie, Ätzen und andere Prozesse erfordern sowohl eine Partikelkontrolle als auch eine spezifische Kontrolle der Gaszusammensetzung. Es bestehen zwei Bedürfnisse gleichzeitig und nur eines davon kann nicht befriedigt werden.

Präzisionselektronik- und Sensorverpackung : Die Oberfläche des Produkts hat nicht nur Angst vor Partikeln, sondern auch vor der Ablagerung bestimmter flüchtiger Stoffe. Das Luftversorgungssystem muss möglicherweise sowohl mit ULPA- als auch mit chemischen Filterabschnitten ausgestattet sein.

Pharmazeutik und Biomedizin : Sterile Bereiche müssen Partikel kontrollieren und möglicherweise auch mit äußeren Gerüchen oder bestimmten Gasen umgehen. Spezifische Konfigurationsmethoden finden Sie unter Beschreibung des MAU Box Chemiefilters .

Bei dieser Art von Projekt stehen die beiden Filter in einer kooperativen Beziehung und nicht in einer Ersatzbeziehung. Sie übernehmen jeweils eigene Aufgaben und sorgen gemeinsam für die Prozessumgebung. Unterstützend Bei FFU-Systemen, die mit chemischen Filtern ausgestattet sind , müssen außerdem die Reihenfolge der Filterabschnitte, der Widerstand und die Wartungsmethoden überprüft werden.

Vermeiden Sie beim Matching eine Vermischung der Leistung

Im kombinierten System können externe Informationen darauf hinweisen, dass es sowohl Partikel- als auch Gaskontrollfähigkeiten besitzt, es sollte jedoch darauf geachtet werden, die Verantwortlichkeiten der einzelnen Schichten zu unterscheiden.

Eine Ebene kann nicht zwei Funktionen beschreiben. ULPA-Bewertungen können nicht zur Beschreibung der Gashandhabungsfähigkeiten verwendet werden; Daten zur Effizienz chemischer Filter können die Partikelkontrollwerte nicht beschreiben.

Die Nachweismethoden sollten getrennt werden. Bei der Partikeldetektion und Gasdetektion kommen unterschiedliche Instrumente, Probenahmemethoden und Beurteilungsstandards zum Einsatz. Bei der Abnahme sind diese gesondert zu bestätigen und zu protokollieren.

Auch die Grundlage für die Wartung ist unterschiedlich. Der Austausch von ULPA hängt von der Druckdifferenz und den Ergebnissen der Leckerkennung ab; Der Austausch chemischer Filter hängt vom Verbrauch der Gasverarbeitungskapazität ab. Die Wartungszyklen und Beurteilungsmethoden der beiden sind unterschiedlich und die Hauptbücher müssen separat verwaltet werden.

Es ist viel einfacher, die Schnittstelle, Reihenfolge und den Widerstand des Zweischichtfilters bereits in der Systementwurfsphase klar zu berechnen, als während des Betriebs Anpassungen vorzunehmen. Informationen zur spezifischen Konfiguration finden Sie unter die Produktreihe Chemiefilter . Produktbeschreibung für

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Eine bestimmte Waferhandhabungsausrüstung muss die interne Umgebung kontrollieren.

Im vorläufigen Plan wurde nur ULPA installiert, da man davon ausging, dass eine Hochleistungsfiltration alle Probleme lösen kann. Nach längerem Betrieb sind die Partikelindikatoren normal, es treten jedoch unerklärliche Veränderungen der Metalloberfläche im Inneren des Geräts auf.

Die Untersuchung ergab, dass in der Umwelt Spuren von saurem Gas vorhanden waren und die Quelle mit Emissionen aus nahegelegenen Prozessen zusammenhing. ULPA ist nicht in der Lage, diese Art von Gas zu verarbeiten, sodass das Problem nicht gelöst werden kann.

Anpassungsplan: Fügen Sie einen für saure Gase geeigneten chemischen Filterabschnitt in den Luftzufuhrweg ein und behalten Sie gleichzeitig ULPA zur Partikelkontrolle bei. Nachdem die Beständigkeit, Schnittstellen und Wartungsmethoden der zweistufigen Filter erneut überprüft wurden, kehrte das System in den Normalbetrieb zurück.

Dieser Fall zeigt: ULPA und chemische Filter haben ihre eigenen Funktionen und können sich nicht gegenseitig ersetzen. involvierend HEPA/ULPA-Luftfiltern folgt der gleichen Beurteilungslogik. Die kombinierte Konfiguration von

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Über das Kombinationskonfigurationspaket von Aili Industrial

Der Kern der Kombination aus Partikelfiltration und Gasphasenfiltration besteht darin, die beiden Arten von Anforderungen getrennt zu bestätigen und anschließend einheitlich auf Systemebene zu überprüfen.

Aili Industrial verfügt über unabhängige Fertigungskapazitäten für Filter, Motoren, Lüfter, Steuerungssysteme und Blechbearbeitung und kann Produktserien für ULPA/HEPA-Filter und chemische Filter anbieten. Bei Projekten, die sowohl Partikel- als auch Gaskontrolle umfassen, können die Reihenfolge, der Widerstand und die Schnittstellen der zweistufigen Filter während der Planungsphase gemeinsam überprüft werden, um Nacharbeiten aufgrund von Konfigurationskonflikten nach der Installation zu reduzieren.

Verwandte Produkte:Produktreihe chemischer Filter、Ultrahocheffizienter ULPA-Filter、FFU wird mit chemischem Filter geliefert . Während der Anfrage wird eine separate Liste der Partikelkontrollziele und Gasziele zur Verfügung gestellt, um die geeignete Kombinationslösung zu bestätigen. Die konkrete Konfiguration unterliegt den vom Projekt bestätigten technischen Unterlagen und Testergebnissen.