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L'ULPA et le HEPA peuvent-ils être mélangés dans la même salle blanche ?

Nombre de vues : 2243     Auteur : Aili Industry Heure de sortie : 2026-10-04 Source : Ai Li Industriel

Enquête

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L'ULPA et le HEPA peuvent-ils être mélangés dans la même salle blanche ?

Oui, et cette pratique n’est pas rare dans les projets de semi-conducteurs, de fabrication de précision et pharmaceutiques.

Mais « peut être mélangé » ne signifie pas « installer à votre guise ». Dans la même salle blanche, les objectifs de contrôle des différentes zones peuvent être différents : les postes de travail clés nécessitent un contrôle plus strict des particules, qui peut être atteint par le HEPA dans les zones générales. Il est raisonnable de les configurer séparément par région.

Ce qu'il reste vraiment à confirmer, c'est si la répartition du volume d'air, le gradient de pression et la gestion de la maintenance peuvent rester stables après le mélange. Si ces liens ne sont pas bien gérés, leur mélange entraînera de nouveaux problèmes.

Quelle est la base de la configuration des partitions ?

Différentes qualités de filtres sont utilisées dans la même salle blanche, généralement en raison des situations suivantes.

Les postes de travail clés sont partiellement renforcés. La pièce entière est conçue selon HEPA, mais un certain poste de travail ou équipement exposé nécessite une pénétration plus faible des particules, c'est pourquoi une unité d'alimentation en air ULPA est configurée à cet endroit. L'ensemble de l'environnement de la pièce est entretenu par HEPA et partiellement amélioré par ULPA. Cette configuration est courante dans les emballages électroniques de précision et les équipements à semi-conducteurs.

Différentes zones ont des niveaux de propreté différents. Dans la même usine, la zone de traitement principale et les zones périphériques ont des objectifs de contrôle différents et les niveaux de filtration peuvent être définis séparément. ULPA est utilisé dans la zone centrale et ULPA est utilisé dans la zone périphérique.HEPA , séparés par un gradient de pression.

Projet de rénovation partiellement modernisé. Le système d’origine était entièrement HEPA. Plus tard, le processus a été adapté et seuls certains sites ont été mis à niveau vers l'ULPA. Cette approche du « remplacement partiel et du non-remplacement partiel » est plus risquée que les deux premières, car l’équilibre du système initial peut être rompu.

Le principe de la configuration des cloisons est que les objectifs de contrôle de chaque zone sont clairs et qu'il existe une isolation physique ou une différence de pression raisonnable entre les zones. Si vous les mélangez simplement de manière aléatoire sans logique de zonage, le volume d’air et la différence de pression peuvent facilement devenir incontrôlables.

L’impact de l’usage mixte sur la répartition du volume d’air

C’est la partie du plan hybride qui doit être calculée à l’avance.

La résistance de l'élément filtrant est différente et le point de fonctionnement du ventilateur changera. La résistance de l’ULPA est généralement supérieure à celle du HEPA de même taille. Si deux types de filtres partagent un système d'alimentation en air, la différence de résistance entraînera une répartition inégale du volume d'air : le volume d'air sera plus grand là où la résistance est plus petite, et le volume d'air sera plus petit là où la résistance est plus grande.

L’impact des succursales parallèles est plus évident. Si HEPA et ULPA sont installés sur des branches différentes d'un même boîtier de climatisation, les différences de résistance de chaque branche doivent être recalculées. Si nécessaire, ajustez ou redistribuez le volume d'air conçu à travers le registre. Pour les méthodes de calcul spécifiques, veuillez vous référer aux instructions pertinentes sur la courbe de résistance du filtre.

Lorsque les partitions FFU sont mixtes, le problème est plus direct. par unité L'unité de filtre à ventilateur FFU est livrée avec son propre ventilateur, et les changements dans la résistance de l'élément filtrant modifieront le point de fonctionnement de l'unité. S'il y a des unités HEPA et ULPA dans la même zone, les paramètres des équipements peuvent être différents et les paramètres de contrôle de groupe doivent être recalibrés.

Les applications côté appareil doivent également y prêter attention. L'espace interne de l'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU est compact et la plage de sélection des ventilateurs est petite. Si HEPA et ULPA sont mélangés dans différentes positions du même équipement, la résistance de l'élément filtrant et la correspondance du ventilateur doivent être confirmées une par une et ne peuvent pas être réglées en fonction d'un seul paramètre. impliquant Pour les produits de différentes qualités de filtres à air HEPA/ULPA , la taille de l'interface et la méthode d'étanchéité doivent également être vérifiées séparément.

Le gradient de pression différentielle doit être reconfirmé

Les cloisons des salles blanches reposent généralement sur des gradients de pression pour maintenir la direction du flux d’air. Lorsque des filtres de qualités différentes sont mélangés, la relation de pression différentielle peut changer.

Les changements dans le volume d’alimentation en air affecteront la différence de pression ambiante. Si le volume d'air dans la zone ULPA diminue en raison d'une résistance accrue, le volume d'alimentation en air dans cette zone diminue et la différence de pression peut s'écarter du réglage d'origine. La direction du flux d'air entre les zones adjacentes peut changer.

Le chemin de retour d’air doit également être vérifié. Si l'air de reprise dans différentes zones partage un système, les changements de résistance affecteront la distribution de l'air de reprise. L'air soufflé et l'air extrait sont liés et le réglage d'un seul côté n'est souvent pas suffisant.

Les points de surveillance de la pression différentielle doivent couvrir la zone à usage mixte. Si des manomètres différentiels n'ont été installés à l'origine qu'à certains endroits, après une utilisation mixte, il est recommandé d'ajouter une surveillance aux limites des changements de niveau pour faciliter la détection rapide des anomalies. Pour des idées de dépannage spécifiques, veuillez vous référer aux instructions relatives aux différences de pression anormales.

La gestion de la maintenance et des pièces de rechange doit être séparée

Après le mélange, la complexité de la maintenance et de la gestion augmentera.

Les intervalles de remplacement peuvent varier. HEPA et ULPA ont des caractéristiques de résistance, une capacité de rétention de poussière et des critères de remplacement différents. Les dossiers de maintenance des deux types de filtres doivent être séparés et ne peuvent pas être traités selon le même cycle.

Les pièces de rechange ne peuvent pas être achetées uniquement sur la base de leur apparence. Sous les mêmes dimensions, il peut y avoir à la fois du HEPA et de l'ULPA, et les structures d'étanchéité peuvent également être différentes. La gestion des pièces de rechange doit faire correspondre le numéro de produit avec l'emplacement d'installation pour éviter l'utilisation temporaire d'éléments filtrants de taille similaire mais présentant une qualité ou une structure d'étanchéité incorrecte.

Les méthodes de détection des fuites et les normes de jugement doivent être confirmées séparément. Les exigences de détection des fuites HEPA et ULPA peuvent être différentes, et la portée des instruments et les limites de jugement doivent être mises en œuvre en fonction des niveaux correspondants. Pour les différences spécifiques, veuillez vous référer aux instructions pertinentes pour les exigences en matière de détection des fuites.

Les enregistrements doivent être traçables jusqu'à un emplacement spécifique. Il doit y avoir des enregistrements indiquant quelle qualité, quel modèle et quand il a été remplacé à quel endroit. Lorsqu'une anomalie survient ultérieurement, il est possible de déterminer rapidement s'il s'agit d'un problème de produit ou d'un problème de système.

Exemple de jugement de projet

Une certaine salle blanche utilise l'ULPA dans la zone centrale et le HEPA dans la zone périphérique, partageant un système d'alimentation en air.

Après un certain temps de fonctionnement, il a été constaté que le volume d'air dans la zone centrale était faible, le volume d'air dans la zone périphérique était élevé et le gradient de pression s'écartait également de la valeur de conception.

L'enquête a révélé que : la résistance de l'élément filtrant dans la zone ULPA était supérieure à celle estimée dans la conception originale, ce qui a entraîné une diminution du volume d'air de la branche ; la résistance HEPA dans la zone périphérique était plus faible et le volume d'air était plus grand. Le volume d'air total du système n'a pas changé, mais le rapport de distribution a changé.

La solution n’est pas simplement d’augmenter la vitesse du ventilateur – cela augmenterait le volume d’air dans la zone périphérique. Une approche plus raisonnable consiste à recalculer la résistance de chaque branche, à restaurer la distribution de conception via le réglage de la vanne d'air et à ajuster la structure de l'élément filtrant ou la configuration du ventilateur dans la zone ULPA si nécessaire.

Pour un projet à usage mixte, la répartition du volume d'air doit être calculée clairement dès la conception et ne peut pas être ajustée après l'exploitation.

Liste de contrôle de sélection et d'acceptation

Vérifier les éléments

Confirmer les points clés

cible de partition

Confirmer les exigences du processus et les niveaux de filtration de chaque zone

différence de résistance

Comparez la résistance dans des conditions de travail réelles, pas seulement la qualité

équilibre régional

Mesurer le volume d'air, la différence de pression et la direction du flux d'air

historique de localisation

Gestion correspondante des modèles, numéros de série et pièces détachées

À propos de l’ensemble de solutions mixtes d’Aili Industrial

Lorsque HEPA et ULPA sont mélangés, l’essentiel est de concevoir ensemble les besoins de filtration, la distribution du volume d’air et l’équilibre du système de chaque zone.

Le système de fabrication d'Aili Industrial couvre les filtres, les moteurs, les ventilateurs, les systèmes de contrôle et l'assemblage complet de machines, et peut fournir des produits HEPA/ULPA de différentes qualités et des équipements d'alimentation en air de support. Le filtre peut être utilisé avec Unité de filtre de ventilateur FFU、L'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU vérifie simultanément le volume d'air, la résistance et l'interface d'installation pour faciliter une comptabilité unifiée lors de la configuration des partitions.

Lors de votre demande, fournissez les objectifs de contrôle, le volume d'air de conception, la pression statique disponible et les conditions d'installation de chaque zone, ce qui aidera à déterminer si la solution mixte est réalisable. La configuration spécifique est soumise aux documents techniques et aux données d'exploitation confirmés par le projet.

Aili Industrial développe et fabrique des filtres à air FFU, EFU, HEPA/ULPA, des bouches d'aération à haute efficacité, des boîtiers de ventilation et d'autres équipements d'air pur. S'appuyant sur des moteurs, des ventilateurs, des systèmes de contrôle, des filtres et des capacités complètes de support de machines, nous fournissons une assistance à la sélection et à la personnalisation pour les projets de salles blanches et d'équipements de production.

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