Können ULPA und HEPA im selben Reinraum gemischt werden?

Ja, und diese Praxis ist bei Halbleiter-, Präzisionsfertigungs- und Pharmaprojekten keine Seltenheit.

Aber „kombinierbar“ bedeutet nicht „nach Belieben installieren“. Im selben Reinraum können die Kontrollziele verschiedener Bereiche unterschiedlich sein – wichtige Arbeitsplätze erfordern eine strengere Partikelkontrolle, die durch HEPA in allgemeinen Bereichen erreicht werden kann. Es ist sinnvoll, sie getrennt nach Region zu konfigurieren.

Was wirklich bestätigt werden muss, ist, ob die Luftvolumenverteilung, der Druckgradient und das Wartungsmanagement nach dem Mischen stabil bleiben können. Wenn diese Links nicht richtig gehandhabt werden, führt das Mischen zu neuen Problemen.

Was ist die Grundlage für die Partitionskonfiguration?

Im selben Reinraum werden unterschiedliche Filterqualitäten verwendet, normalerweise aufgrund der folgenden Situationen.

Wichtige Arbeitsplätze werden teilweise verstärkt. Der gesamte Raum ist nach HEPA ausgelegt, ein bestimmter exponierter Arbeitsplatz oder eine bestimmte Ausrüstung erfordert jedoch eine geringere Partikeldurchdringung, sodass an diesem Standort eine ULPA-Luftversorgungseinheit konfiguriert wird. Das gesamte Raumklima wird durch HEPA aufrechterhalten und teilweise durch ULPA verbessert. Diese Konfiguration ist bei elektronischen Präzisionsverpackungen und Halbleitergeräten üblich.

Verschiedene Bereiche haben unterschiedliche Sauberkeitsgrade. In derselben Fabrik haben der Kernprozessbereich und die Randbereiche unterschiedliche Kontrollziele und die Filtergrade können separat eingestellt werden. ULPA wird im Kernbereich und ULPA im Randbereich eingesetzt.HEPA , getrennt durch einen Druckgradienten.

Renovierungsprojekt teilweise modernisiert. Das ursprüngliche System war ausschließlich HEPA. Später wurde der Prozess angepasst und nur einige Standorte auf ULPA umgestellt. Dieser Ansatz des „teilweisen Ersatzes und teilweisen Nicht-Ersatzes“ ist riskanter als die ersten beiden, da das Gleichgewicht des ursprünglichen Systems gestört werden könnte.

Voraussetzung für die Partitionskonfiguration ist, dass die Kontrollziele jedes Bereichs klar sind und eine angemessene physische Isolierung oder Druckdifferenz zwischen den Bereichen besteht. Wenn Sie sie ohne Zoneneinteilungslogik einfach zufällig mischen, können die Luftmenge und der Druckunterschied leicht außer Kontrolle geraten.

Der Einfluss der Mischnutzung auf die Luftmengenverteilung

Dies ist der Teil des Hybridplans, der im Voraus berechnet werden muss.

Der Widerstand des Filterelements ist unterschiedlich und der Arbeitspunkt des Lüfters ändert sich. Der Widerstand von ULPA ist in der Regel höher als der von HEPA gleicher Größe. Wenn sich zwei Filtertypen ein Luftversorgungssystem teilen, führt der Widerstandsunterschied zu einer ungleichmäßigen Luftvolumenverteilung: Das Luftvolumen ist größer, wenn der Widerstand kleiner ist, und das Luftvolumen ist kleiner, wenn der Widerstand größer ist.

Die Auswirkungen paralleler Zweige sind offensichtlicher. Wenn HEPA und ULPA an verschiedenen Zweigen derselben Klimaanlage installiert werden, müssen die Widerstandsunterschiede der einzelnen Zweige neu berechnet werden. Passen Sie bei Bedarf die vorgesehene Luftmenge durch die Klappe an oder verteilen Sie sie neu. Spezifische Berechnungsmethoden finden Sie in den entsprechenden Anweisungen zur Filterwiderstandskurve.

Wenn FFU-Partitionen gemischt sind, ist das Problem direkter. pro Einheit Die FFU-Lüfterfiltereinheit verfügt über einen eigenen Lüfter, und Änderungen im Filterelementwiderstand verändern den Betriebspunkt der Einheit. Wenn sich sowohl HEPA- als auch ULPA-Geräte im selben Bereich befinden, können die Getriebeparameter unterschiedlich sein und die Gruppensteuerungseinstellungen müssen neu kalibriert werden.

Auch geräteseitige Anwendungen sollten Beachtung finden. Der Innenraum der EFU-Lüfterfiltereinheit am Geräteende ist kompakt und der Lüfterauswahlbereich ist klein. Wenn HEPA und ULPA an verschiedenen Stellen desselben Geräts gemischt werden, müssen der Filterelementwiderstand und die Lüfteranpassung einzeln bestätigt werden und können nicht anhand eines Parameters eingestellt werden. involvierend Bei Produkten unterschiedlicher Qualität von HEPA/ULPA-Luftfiltern sollten die Schnittstellengröße und die Dichtungsmethode ebenfalls separat überprüft werden.

Der Differenzdruckgradient muss erneut bestätigt werden

Reinraumtrennwände sind in der Regel auf Druckgradienten angewiesen, um die Richtung des Luftstroms aufrechtzuerhalten. Wenn Filter verschiedener Qualitäten gemischt werden, kann sich das Differenzdruckverhältnis ändern.

Änderungen im Luftzufuhrvolumen wirken sich auf die Raumdruckdifferenz aus. Verringert sich die Luftmenge im ULPA-Bereich aufgrund des erhöhten Widerstands, verringert sich die Luftzufuhrmenge in diesem Bereich und die Druckdifferenz kann von der ursprünglichen Einstellung abweichen. Die Richtung des Luftstroms zwischen benachbarten Bereichen kann sich ändern.

Auch der Rückluftweg sollte überprüft werden. Wenn sich die Rückluft in verschiedenen Bereichen ein System teilt, wirken sich Widerstandsänderungen auf die Verteilung der Rückluft aus. Zuluft und Abluft sind gekoppelt und die Regelung nur einer Seite reicht oft nicht aus.

Die Differenzdrucküberwachungspunkte sollten den gemischt genutzten Bereich abdecken. Wenn Differenzdruckmessgeräte ursprünglich nur an einigen Standorten installiert waren, empfiehlt es sich, nach gemischter Nutzung eine Überwachung an den Grenzen von Höhenunterschieden hinzuzufügen, um die rechtzeitige Erkennung von Anomalien zu erleichtern. Spezifische Ideen zur Fehlerbehebung finden Sie in den Anweisungen zu abnormalen Druckunterschieden.

Wartung und Ersatzteilmanagement sollten getrennt werden

Nach dem Mischen wird die Komplexität der Wartung und Verwaltung zunehmen.

Die Austauschintervalle können variieren. HEPA und ULPA haben unterschiedliche Widerstandseigenschaften, Staubspeicherkapazitäten und Austauschkriterien. Die Wartungsaufzeichnungen der beiden Filtertypen sollten getrennt sein und können nicht nach demselben Zyklus verarbeitet werden.

Ersatzteile können nicht allein aufgrund ihres Aussehens gekauft werden. Bei gleichen Abmessungen kann sowohl HEPA als auch ULPA vorliegen, auch die Dichtungsstrukturen können unterschiedlich sein. Das Ersatzteilmanagement sollte die Produktnummer mit dem Einbauort abgleichen, um den vorübergehenden Einsatz von Filterelementen ähnlicher Größe, aber falscher Qualität oder Dichtungsstruktur zu vermeiden.

Methoden zur Leckerkennung und Beurteilungsstandards müssen separat bestätigt werden. Die Anforderungen an die Leckerkennung von HEPA und ULPA können unterschiedlich sein, und der Gerätebereich und die Beurteilungsgrenzen müssen entsprechend den entsprechenden Werten umgesetzt werden. Spezifische Unterschiede entnehmen Sie bitte den entsprechenden Anweisungen zu den Anforderungen an die Lecksuche.

Aufzeichnungen müssen auf einen bestimmten Ort zurückführbar sein. Es müssen Aufzeichnungen darüber vorhanden sein, welche Sorte, welches Modell und wann es an welchem ​​Standort ausgetauscht wurde. Wenn später eine Anomalie auftritt, kann schnell festgestellt werden, ob es sich um ein Produktproblem oder ein Systemproblem handelt.

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Ein bestimmter Reinraum nutzt ULPA im Kernbereich und HEPA im Randbereich und teilt sich ein Luftversorgungssystem.

Nach längerem Betrieb stellte sich heraus, dass das Luftvolumen im Kernbereich gering, das Luftvolumen im Randbereich hoch war und auch der Druckgradient vom Auslegungswert abwich.

Die Untersuchung ergab, dass: der Widerstand des Filterelements im ULPA-Bereich höher war als im ursprünglichen Design geschätzt, was zu einer Verringerung des Luftvolumens der Abzweigung führte; der HEPA-Widerstand im Randbereich war geringer und das Luftvolumen größer. Das Gesamtluftvolumen des Systems hat sich nicht verändert, das Verteilungsverhältnis hat sich jedoch geändert.

Die Lösung besteht nicht darin, einfach die Lüftergeschwindigkeit zu erhöhen – dadurch erhöht sich die Luftmenge im Randbereich. Ein sinnvollerer Ansatz besteht darin, den Widerstand jedes Zweigs neu zu berechnen, die Entwurfsverteilung durch Luftventileinstellung wiederherzustellen und bei Bedarf die Filterelementstruktur oder Lüfterkonfiguration im ULPA-Bereich anzupassen.

Bei einer Mischnutzungsplanung muss die Luftmengenverteilung bereits im Entwurfsstadium eindeutig berechnet werden und kann nach dem Betrieb nicht mehr angepasst werden.

Checkliste für Auswahl und Annahme

Über das gemischte Lösungspaket von Aili Industrial

Wenn HEPA und ULPA gemischt werden, besteht der Kern darin, die Filteranforderungen, die Luftvolumenverteilung und das Systemgleichgewicht jeder Zone gemeinsam zu gestalten.

Das Fertigungssystem von Aili Industrial umfasst Filter, Motoren, Lüfter, Steuerungssysteme und die komplette Maschinenmontage und kann HEPA/ULPA-Produkte verschiedener Qualitäten und unterstützende Luftversorgungsgeräte liefern. Filter kann mit verwendet werden FFU-Lüfterfiltereinheit、Die geräteseitige Lüfterfiltereinheit EFU prüft gleichzeitig Luftvolumen, Widerstand und Installationsschnittstelle, um eine einheitliche Abrechnung bei der Partitionskonfiguration zu ermöglichen.

Geben Sie bei Ihrer Anfrage die Kontrollziele, das geplante Luftvolumen, den verfügbaren statischen Druck und die Installationsbedingungen für jeden Bereich an, um festzustellen, ob die gemischte Lösung machbar ist. Die konkrete Konfiguration unterliegt den durch das Projekt bestätigten technischen Unterlagen und Betriebsdaten.