Можно ли смешивать ULPA и HEPA в одном чистом помещении?

Да, и такая практика нередка в проектах по производству полупроводников, точному производству и фармацевтике.

Но 'можно смешивать' не значит 'устанавливайте как хотите'. В одном и том же чистом помещении цели контроля в разных зонах могут различаться — ключевые рабочие станции требуют более строгого контроля частиц, чего можно достичь с помощью HEPA в общих зонах. Разумно настроить их отдельно по регионам.

Что действительно необходимо подтвердить, так это то, могут ли распределение объема воздуха, градиент давления и управление техническим обслуживанием оставаться стабильными после смешивания. Если с этими ссылками не обращаться должным образом, их смешивание вызовет новые проблемы.

Что является основой для конфигурации разделов?

В одном и том же чистом помещении используются фильтры разных марок, как правило, в следующих ситуациях.

Ключевые рабочие места частично усилены. Все помещение спроектировано в соответствии с HEPA, но для некоторых открытых рабочих станций или оборудования требуется меньшее проникновение частиц, поэтому в этом месте устанавливается блок подачи воздуха ULPA. Вся среда помещения поддерживается HEPA и частично улучшается ULPA. Эта конфигурация распространена в прецизионной электронной упаковке и полупроводниковом оборудовании.

В разных районах разный уровень чистоты. На одном и том же заводе основная технологическая зона и периферийные зоны имеют разные цели управления, и уровни фильтрации могут устанавливаться отдельно. ULPA используется в основной зоне, а ULPA — в периферийной.HEPA , разделенный градиентом давления.

Проект реконструкции частично модернизирован. Исходная система была полностью HEPA. Позже процесс был скорректирован и лишь некоторые локации были переведены на ULPA. Этот подход «частичной замены и частичного незамены» более рискован, чем первые два, поскольку может быть нарушен баланс исходной системы.

Предпосылка конфигурации разделов заключается в том, что цели управления каждой зоной ясны, и между зонами существует разумная физическая изоляция или разница давлений. Если вы просто смешайте их в случайном порядке, не используя логику зонирования, объем воздуха и разница давлений могут легко выйти из-под контроля.

Влияние смешанного использования на распределение объема воздуха

Это та часть гибридного плана, которую необходимо просчитать заранее.

Сопротивление фильтрующего элемента будет разным, и рабочая точка вентилятора изменится. Сопротивление ULPA обычно выше, чем у HEPA того же размера. Если два типа фильтров используют общую систему подачи воздуха, разница в сопротивлении приведет к неравномерному распределению объема воздуха – объем воздуха будет больше там, где сопротивление меньше, и объем воздуха будет меньше там, где сопротивление больше.

Влияние параллельных ветвей более очевидно. Если HEPA и ULPA установлены на разных ветвях одной и той же коробки кондиционера, необходимо пересчитать разницу сопротивлений каждой ветви. При необходимости отрегулируйте или перераспределите расчетный объем воздуха через заслонку. Конкретные методы расчета можно найти в соответствующих инструкциях по кривой сопротивления фильтра.

Когда разделы FFU смешаны, проблема становится более прямой. за единицу Фильтр-вентилятор FFU оснащен собственным вентилятором, и изменения сопротивления фильтрующего элемента изменят рабочую точку устройства. Если в одной и той же зоне расположены блоки HEPA и ULPA, параметры передачи могут отличаться, и настройки группового управления необходимо заново откалибровать.

Приложения на стороне устройства также должны обратить внимание. Внутреннее пространство вентиляторного фильтрующего блока со стороны оборудования EFU компактно, а диапазон выбора вентилятора невелик. Если HEPA и ULPA используются в разных местах одного и того же оборудования, сопротивление фильтрующего элемента и соответствие вентилятора должны быть подтверждены по одному и не могут быть установлены по одному параметру. с участием Для продуктов различных классов воздушных фильтров HEPA/ULPA размер интерфейса и метод уплотнения также следует проверять отдельно.

Градиент дифференциального давления должен быть повторно подтвержден.

Перегородки чистых помещений обычно полагаются на градиенты давления для поддержания направления воздушного потока. При смешивании фильтров разных марок соотношение перепада давления может измениться.

Изменения объема подачи воздуха повлияют на разницу давления в помещении. Если объем воздуха в зоне ULPA уменьшается из-за повышенного сопротивления, объем подачи воздуха в эту зону уменьшается, и разница давлений может отклоняться от первоначальной настройки. Направление воздушного потока между соседними зонами может измениться.

Также следует проверить путь возврата воздуха. Если возвратный воздух в разных зонах используется в одной системе, изменения сопротивления повлияют на распределение возвратного воздуха. Приточный и возвратный воздух связаны между собой, и регулировки только одной стороны зачастую бывает недостаточно.

Точки контроля перепада давления должны охватывать зону смешанного использования. Если манометры дифференциального давления изначально были установлены только в некоторых местах, после смешанного использования рекомендуется добавить мониторинг на границах изменения уклонов, чтобы облегчить своевременное обнаружение отклонений. Конкретные идеи по устранению неполадок см. в инструкциях, касающихся аномальных перепадов давления.

Управление техническим обслуживанием и запасными частями должно быть разделено.

После смешивания сложность обслуживания и управления возрастет.

Интервалы замены могут различаться. HEPA и ULPA имеют разные характеристики сопротивления, пылеемкости и критерии замены. Записи о техническом обслуживании двух типов фильтров должны быть разделены и не могут обрабатываться в одном цикле.

Запчасти невозможно приобрести, основываясь только на внешнем виде. Под одинаковыми размерами могут быть как HEPA, так и ULPA, а также могут быть разные уплотнительные конструкции. При управлении запасными частями номер продукта должен соответствовать месту установки, чтобы избежать временного использования фильтрующих элементов одинакового размера, но с неправильным классом или структурой уплотнения.

Методы обнаружения утечек и стандарты оценки должны быть подтверждены отдельно. Требования HEPA и ULPA к обнаружению утечек могут различаться, а диапазон измерения прибора и пределы оценки должны соответствовать соответствующим уровням. Конкретные различия можно найти в соответствующих инструкциях по требованиям к обнаружению утечек.

Записи должны быть прослеживаемы до определенного места. Должны быть записи о том, какая марка, модель и когда и в каком месте была заменена. Если позже возникнет неисправность, можно будет быстро определить, является ли это проблемой продукта или системной проблемой.

Пример оценки проекта

В некоторых чистых помещениях используется ULPA в основной зоне и HEPA в периферийной зоне, а также общая система подачи воздуха.

После работы в течение определенного периода времени было обнаружено, что объем воздуха в центральной зоне был низким, объем воздуха в периферийной зоне был высоким, а градиент давления также отклонялся от расчетного значения.

В ходе исследования установлено, что: сопротивление фильтрующего элемента в зоне ULPA оказалось выше расчетного в исходной конструкции, что привело к уменьшению объема воздуха в отводе; сопротивление HEPA в периферической области было ниже, а объем воздуха был больше. Общий объём воздуха в системе не изменился, но изменился коэффициент распределения.

Решение состоит не в том, чтобы просто увеличить скорость вентилятора — это приведет к увеличению объема воздуха в периферийной зоне. Более разумный подход — пересчитать сопротивление каждой ветви, восстановить расчетное распределение путем регулировки воздушного клапана и при необходимости скорректировать конструкцию фильтрующего элемента или конфигурацию вентилятора в зоне ULPA.

Для плана смешанного использования распределение объема воздуха должно быть четко рассчитано на этапе проектирования и не может быть отрегулировано после эксплуатации.

Контрольный список выбора и приемки

О пакете смешанных решений Aili Industrial

Когда HEPA и ULPA смешиваются, основной задачей является совместное определение потребностей в фильтрации, распределении объема воздуха и балансе системы для каждой зоны.

Производственная система Aili Industrial охватывает фильтры, двигатели, вентиляторы, системы управления и полную сборку машин, а также может поставлять продукцию HEPA/ULPA различных классов и вспомогательное оборудование для подачи воздуха. Фильтр можно использовать с Фильтрующий вентилятор вентилятора ФФУ、Блок вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU одновременно проверяет объем воздуха, сопротивление и интерфейс установки, чтобы облегчить унифицированный учет во время настройки раздела.

При запросе укажите цели управления, расчетный объем воздуха, доступное статическое давление и условия установки в каждой зоне, что поможет определить, осуществимо ли смешанное решение. Конкретная комплектация определяется технической документацией и эксплуатационными данными, утвержденными проектом.