ULPA와 HEPA를 동일한 클린룸에서 혼합할 수 있습니까?

그렇습니다. 이러한 관행은 반도체, 정밀 제조, 제약 프로젝트에서 흔히 볼 수 있습니다.

그러나 '혼합 가능'이 '원하는 대로 설치'를 의미하는 것은 아닙니다. 동일한 클린룸에서 서로 다른 영역의 제어 목표는 다를 수 있습니다 . 주요 워크스테이션에는 일반 영역에서 HEPA가 충족할 수 있는 보다 엄격한 입자 제어가 필요합니다. 지역별로 별도로 구성하는 것이 합리적입니다.

실제로 확인해야 할 것은 혼합 후 풍량 분포, 압력 구배 및 유지 관리가 안정적으로 유지될 수 있는지 여부입니다. 이러한 링크를 잘 처리하지 않으면 이를 혼합하면 새로운 문제가 발생합니다.

파티션 구성의 기본은 무엇입니까?

일반적으로 다음과 같은 상황으로 인해 동일한 클린룸에서 다양한 등급의 필터가 사용됩니다.

주요 워크스테이션이 부분적으로 강화되었습니다. 전체 공간은 HEPA에 따라 설계되었지만 특정 노출된 작업대나 장비는 더 낮은 입자 침투를 요구하므로 해당 위치에 ULPA 공기 공급 장치가 구성됩니다. 전체 실내 환경은 HEPA로 유지되고 부분적으로 ULPA로 강화됩니다. 이 구성은 정밀 전자 패키징 및 반도체 장비에서 일반적입니다.

지역마다 청결도 수준이 다릅니다. 동일한 공장에서는 핵심 공정 영역과 주변 영역의 제어 목표가 다르며 여과 수준을 별도로 설정할 수 있습니다. ULPA는 핵심 영역에 사용되고 ULPA는 주변 영역에 사용됩니다.HEPA , 압력 구배로 구분됩니다.

부분적으로 업그레이드된 리노베이션 프로젝트. 원래 시스템은 모두 HEPA였습니다. 나중에 프로세스가 조정되어 일부 위치만 ULPA로 업그레이드되었습니다. 이러한 '부분 교체 및 부분 비대체' 접근 방식은 원래 시스템의 균형이 깨질 수 있기 때문에 처음 두 가지보다 더 위험합니다.

파티션 구성의 전제는 각 영역의 제어 목표가 명확하고 영역 간 합리적인 물리적 격리 또는 압력 차이가 있다는 것입니다. 구역화 논리 없이 무작위로 혼합하면 공기량과 압력 차이가 쉽게 제어할 수 없게 될 수 있습니다.

혼합 사용이 공기량 분포에 미치는 영향

하이브리드 계획에서 사전에 계산이 필요한 부분입니다.

필터 요소의 저항이 다르며 팬의 작동 지점이 변경됩니다. ULPA의 저항은 일반적으로 동일한 크기의 HEPA 저항보다 높습니다. 두 가지 유형의 필터가 공기 공급 시스템을 공유하는 경우 저항의 차이로 인해 공기량 분포가 고르지 않게 됩니다. 즉, 저항이 작은 곳에서는 공기량이 커지고, 저항이 큰 곳에서는 공기량이 작아집니다.

병렬 분기의 영향은 더욱 분명합니다. HEPA와 ULPA가 동일한 에어컨 박스의 서로 다른 지점에 설치된 경우 각 지점의 저항 차이를 다시 계산해야 합니다. 필요한 경우 댐퍼를 통해 설계된 공기량을 조정하거나 재분배하십시오. 구체적인 계산 방법은 필터 저항 곡선에 대한 관련 지침을 참조하십시오.

FFU 파티션이 혼합되면 문제는 더욱 직접적입니다. 단위당 FFU 팬 필터 장치에는 자체 팬이 함께 제공되며 필터 요소 저항의 변화에 ​​따라 장치의 작동 지점이 변경됩니다. 동일한 영역에 HEPA 및 ULPA 장치가 모두 있는 경우 기어 매개변수가 다를 수 있으며 그룹 제어 설정을 다시 보정해야 합니다.

장치 측 애플리케이션에도 주의를 기울여야 합니다. EFU 장비 끝 팬 필터 장치 의 내부 공간은 작고 팬 선택 범위는 작습니다. HEPA와 ULPA가 동일한 장비의 서로 다른 위치에 혼합된 경우 필터 요소 저항과 팬 매칭을 하나씩 확인해야 하며 하나의 매개변수에 따라 설정할 수 없습니다. 관련된 다양한 등급의 HEPA/ULPA 공기 필터 제품의 경우 인터페이스 크기와 밀봉 방법도 별도로 확인해야 합니다.

차압 구배를 다시 확인해야 합니다.

클린룸 파티션은 일반적으로 공기 흐름 방향을 유지하기 위해 압력 구배에 의존합니다. 서로 다른 등급의 필터를 혼합하면 차압 관계가 바뀔 수 있습니다.

공기 공급량의 변화는 실내 압력 차이에 영향을 미칩니다. 저항 증가로 인해 ULPA 영역의 공기량이 감소하면 이 영역의 공기 공급량이 감소하여 압력 차이가 원래 설정에서 벗어날 수 있습니다. 인접한 영역 사이의 공기 흐름 방향이 바뀔 수 있습니다.

순환 공기 경로도 점검해야 합니다. 서로 다른 영역의 환기가 시스템을 공유하는 경우 저항 변화는 환기 분포에 영향을 미칩니다. 공급 공기와 복귀 공기가 연결되어 있어 한쪽만 조정하는 것만으로는 충분하지 않은 경우가 많습니다.

차압 모니터링 지점은 혼합 사용 영역을 포함해야 합니다. 원래 차압계가 일부 위치에만 설치된 경우 혼합 사용 후 경사 변경 경계에 모니터링을 추가하여 적시에 이상을 감지하는 것이 좋습니다. 구체적인 문제 해결 아이디어는 비정상적인 압력 차이와 관련된 지침을 참조하십시오.

유지보수와 예비 부품 관리는 분리되어야 합니다

혼합 후에는 유지 관리의 복잡성이 증가합니다.

교체 간격은 다를 수 있습니다. HEPA와 ULPA는 저항 특성, 먼지 보유 용량 및 교체 기준이 다릅니다. 두 종류의 필터에 대한 유지보수 기록은 분리되어야 하며 동일한 주기에 따라 처리될 수 없습니다.

예비 부품은 외관만으로 구매할 수 없습니다. 동일한 치수 아래에는 HEPA와 ULPA가 모두 있을 수 있으며 밀봉 구조도 다를 수 있습니다. 크기는 비슷하지만 등급이나 밀봉 구조가 잘못된 필터 요소를 임시로 사용하지 않도록 예비 부품 관리는 제품 번호와 설치 위치를 일치시켜야 합니다.

누출 감지 방법 및 판단 기준은 별도로 확인해야 합니다. HEPA와 ULPA의 누출 감지 요구 사항은 다를 수 있으며 해당 수준에 따라 기기 범위 및 판단 한계를 구현해야 합니다. 구체적인 차이점은 누출 감지 요구 사항에 대한 관련 지침을 참조하십시오.

기록은 특정 위치까지 추적 가능해야 합니다. 어떤 등급, 모델, 언제 어떤 위치에서 교체되었는지에 대한 기록이 있어야 합니다. 추후에 이상이 발생했을 경우, 제품의 문제인지 시스템의 문제인지 빠르게 판단할 수 있습니다.

프로젝트 판단 예시

특정 클린룸은 핵심 영역에 ULPA를 사용하고 주변 영역에 HEPA를 사용하여 공기 공급 시스템을 공유합니다.

일정 시간 동안 운전한 결과, 코어 영역의 공기량이 낮고 주변 영역의 공기량이 높으며 압력 구배도 설계 값에서 벗어난 것으로 나타났습니다.

조사 결과에 따르면 ULPA 영역의 필터 요소 저항이 원래 설계에서 예상된 것보다 높아서 분기의 공기량이 감소했습니다. 주변 지역의 HEPA 저항은 더 낮았고 공기량은 더 컸습니다. 시스템의 총 공기량은 변경되지 않았지만 분배 비율이 변경되었습니다.

해결책은 단순히 팬 속도를 높이는 것이 아니라 주변 지역의 공기량을 늘리는 것입니다. 보다 합리적인 접근 방식은 각 분기의 저항을 다시 계산하고, 공기 밸브 조정을 통해 설계 분포를 복원하고, 필요한 경우 ULPA 영역의 필터 요소 구조 또는 팬 구성을 조정하는 것입니다.

복합용도 계획의 경우, 설계 단계에서 풍량 분포를 명확하게 계산해야 하며 작동 후에는 조정할 수 없습니다.

선택 및 승인 체크리스트

Aili Industrial의 혼합 솔루션 패키지 소개

HEPA와 ULPA를 혼합할 때 핵심은 각 구역의 여과 요구 사항, 공기량 분포 및 시스템 균형을 함께 설계하는 것입니다.

Aili Industrial의 제조 시스템은 필터, 모터, 팬, 제어 시스템 및 전체 기계 조립을 포괄하며 다양한 등급의 HEPA/ULPA 제품과 지원 공기 공급 장비를 제공할 수 있습니다. 필터는 다음과 함께 사용할 수 있습니다. FFU 팬 필터 장치、EFU 장비측 팬 필터 유닛은 풍량, 저항, 설치 인터페이스를 동시에 확인하여 파티션 구성 시 통합 회계를 용이하게 합니다.

문의 시 제어 목표, 설계 풍량, 사용 가능한 정압 및 각 영역의 설치 조건을 제공하면 혼합 솔루션의 실현 가능 여부를 결정하는 데 도움이 됩니다. 특정 구성은 프로젝트에서 확인한 기술 문서 및 운영 데이터의 적용을 받습니다.