Lorsque vous utilisez FFU dans de nouveaux projets de semi-conducteurs, à quels paramètres devez-vous prêter le plus d’attention ?
Réponse directe : lors de la sélection de FFU pour de nouveaux projets de semi-conducteurs, vous devez vous concentrer sur la vérification des objectifs de propreté, du volume d'air et de la vitesse du vent dans les conditions de conception, de la pression statique disponible sous le volume d'air cible, de l'efficacité et de la résistance du filtre, de l'uniformité de la vitesse du vent, de la consommation d'énergie et des méthodes de contrôle, ainsi que des conditions d'installation et de maintenance. Différents paramètres doivent être comparés dans les mêmes conditions de travail et confirmés par des tests sur prototype ou sur site.
FFU est l’équipement d’alimentation en air final de la salle blanche des semi-conducteurs. Il se compose d'un ventilateur, d'un moteur, d'un filtre, d'un boîtier et d'un système de contrôle fonctionnant ensemble. Mêmes dimensionsL'unité de filtre à ventilateur FFU peut produire différents effets d'alimentation en air réels en raison de différents filtres, équipements de fonctionnement ou résistance du système. Par conséquent, les nouveaux projets ne peuvent pas seulement comparer les volumes d’air nominaux maximaux ou les prix d’achat, mais doivent également déterminer des paramètres basés sur les exigences du processus.
1. Objectif de nettoyage : clarifier d’abord quelle zone la FFU souhaite desservir
Différents domaines de traitement peuvent avoir des exigences différentes en matière de contrôle des particules, de direction du flux d'air et de propreté locale. Avant de sélectionner un modèle, le niveau de propreté, la génération de poussière par le personnel et l'équipement, la dissipation thermique de l'équipement, la durée de fonctionnement et la plage d'alimentation en air doivent être clarifiés. Les conditions d'installation et le débit d'air cible doivent également être vérifiés séparément pour le FFU du plafond de la salle blanche et le FFU côté équipement afin d'éviter d'utiliser le même ensemble de paramètres pour couvrir tous les scénarios.
2. Volume d'air, vitesse du vent et pression statique : dépendent du point de travail réel
Le volume d'air détermine la capacité d'alimentation en air, et la vitesse du vent et son uniformité affectent la répartition du flux d'air dans la zone de travail. La pression statique est liée à la capacité du FFU à surmonter la résistance du filtre et du système et à maintenir le volume d'air requis dans les conditions de fonctionnement cibles.
Lorsque vous comparez des solutions avec des fournisseurs, il vous sera demandé de fournir avec les filtres spécifiés et dans des conditions de fonctionnement et de résistance convenues . des données sur le volume d'air, la pression statique et la consommation d'énergie Le volume d’air nominal maximum ne peut généralement pas être directement utilisé comme volume d’air de conception du projet. Pour les projets par lots, la cohérence des performances entre les différentes FFU doit également être vérifiée.
3. Filtre : vérifiez ensemble l'efficacité et la résistance
Les filtres HEPA et ULPA doivent être sélectionnés en fonction des exigences de contrôle des particules du procédé. En plus de l'efficacité de la filtration, il est également nécessaire de confirmer la résistance initiale, les changements de résistance pendant le fonctionnement, le scellement des boîtes et les méthodes de remplacement. Les changements dans la résistance du filtre modifieront le point de fonctionnement réel du FFU. Par conséquent, lors de la modification du niveau de filtration, les performances du ventilateur, la consommation d'énergie et les exigences de maintenance doivent être examinées simultanément.
4. Moteur, consommation d'énergie et contrôle : sélectionner en fonction du mode de fonctionnement
Les projets de semi-conducteurs nécessitent souvent un fonctionnement à long terme et les solutions de moteur doivent être évaluées en fonction de la plage de vitesse, de la consommation électrique, du bruit, des conditions d'alimentation électrique et des besoins de maintenance. La clé pour adopter une solution AC, EC ou DC réside dans sa capacité à répondre aux conditions de fonctionnement convenues par le projet.
Lorsque le nombre de FFU est important, les exigences en matière de partition de contrôle, de régulation de vitesse, d'interface de communication et de surveillance de l'état doivent être déterminées au cours de la phase de conception. Les projets qui nécessitent une gestion centralisée peuvent être combinés avecLe système de contrôle de groupe FFU planifie l'adresse, l'alimentation électrique et l'extension ultérieure pour réduire le débogage et les ajustements après l'installation.
5. Installation et maintenance : Confirmez que l'équipement peut être utilisé et réparé
La taille du FFU doit correspondre au module de plafond ou à l'interface d'installation de l'équipement, et vérifier la hauteur disponible, l'espace d'entrée et de retour d'air, le câblage électrique et le sens de maintenance. Le remplacement des filtres, l'inspection du moteur et la maintenance des composants de commande nécessitent tous un espace de fonctionnement. Pour les projets côté équipements ou avec des contraintes d'espace, ces conditions doivent être confirmées au stade du dessin avant de décider d'adopter ou non une structure non standard.
Comment Aili Industry coopère-t-elle avec la sélection de projets FFU de semi-conducteurs ?
Aili Industrial peut déterminer la configuration en fonction de l'adéquation des ventilateurs, des moteurs, des filtres, des structures en tôle et des systèmes de contrôle, combinée aux dimensions d'installation du projet, au volume d'air cible, à la pression statique et aux exigences de contrôle. Pour les projets FFU par lots, il est recommandé de confirmer d'abord le prototype, puis de vérifier les composants, les données complètes de la machine et de fonctionnement sur site conformément à l'accord technique. Cela facilite la détection des écarts entre les dimensions, les conditions de performance ou de maintenance et les exigences du projet.
Lors de la communication technique, il est recommandé de fournir les exigences en matière de zone de traitement et de propreté, les schémas d'étage et de plafond, le volume ou la vitesse d'air cible, les exigences de filtration, les méthodes d'alimentation et de contrôle, les quantités estimées et les plans de zonage. Plus les informations sont précises, plus il est facile pour les spécifications et devis FFU de correspondre aux conditions réelles de travail.
FAQ : Les FFU de même taille peuvent-elles être directement interchangées ? incertain. Il est également nécessaire de vérifier le filtre, la pression statique au volume d'air cible, l'interface électrique, la méthode de contrôle et les conditions d'installation et de maintenance.
FAQ : Un niveau de filtre plus élevé est-il préférable ? Doit être soumis aux exigences du processus. Lors de l'augmentation du niveau de filtration, la résistance et le volume d'air réel FFU doivent être revérifiés.
FAQ : Quelles données seront définitives ? Les conditions de travail et les méthodes d'essai convenues dans l'accord technique du projet prévaudront et les résultats d'exploitation réels seront confirmés par des prototypes ou des tests sur site.
