На какие параметры необходимо обращать наибольшее внимание при использовании FFU в новых полупроводниковых проектах?

Прямой ответ: при выборе FFU для новых полупроводниковых проектов вам следует сосредоточиться на проверке целей чистоты, объема воздуха и скорости ветра в расчетных условиях, доступного статического давления при заданном объеме воздуха, эффективности и сопротивлении фильтра, равномерности скорости ветра, методах энергопотребления и контроля, а также условиях установки и обслуживания. Различные параметры необходимо сравнивать в одних и тех же рабочих условиях и подтверждать с помощью прототипа или испытаний на месте.

FFU — это конечное оборудование подачи воздуха в чистую комнату для полупроводников. Он состоит из вентилятора, двигателя, фильтра, коробки и системы управления, работающих вместе. Те же размерыФильтрующий блок вентилятора FFU может оказывать различное фактическое воздействие на подачу воздуха из-за различных фильтров, приводов или сопротивления системы. Таким образом, новые проекты не могут только сравнивать номинальные максимальные объемы воздуха или закупочные цены, но должны определять параметры на основе технологических требований.

1. Цель очистки: сначала уточнить, какую территорию хочет обслуживать ФФУ

В разных технологических зонах могут предъявляться разные требования к контролю частиц, направлению воздушного потока и местной чистоте. Перед выбором модели следует уточнить уровень чистоты, пылеобразование персоналом и оборудованием, теплоотдачу оборудования, время работы, диапазон подачи воздуха. Условия установки и целевой воздушный поток также следует проверять отдельно для FFU потолка чистого помещения и FFU со стороны оборудования, чтобы избежать использования одного и того же набора параметров для охвата всех сценариев.

2. Объем воздуха, скорость ветра и статическое давление: зависят от фактической рабочей точки.

Объем воздуха определяет мощность подачи воздуха, а скорость ветра и его равномерность влияют на распределение воздушного потока в рабочей зоне. Статическое давление связано с тем, сможет ли FFU преодолеть сопротивление фильтра и системы и поддерживать необходимый объем воздуха в целевых рабочих условиях.

При сравнении решений с поставщиками вас должны попросить предоставить с указанными фильтрами, а также при согласованных рабочих передачах и условиях сопротивления . данные об объеме воздуха, статическом давлении и энергопотреблении Номинальный максимальный объем воздуха обычно не может быть напрямую использован в качестве проектного объема воздуха. Для пакетных проектов также следует проверить согласованность производительности между различными FFU.

3. Фильтр: одновременно проверьте эффективность и сопротивление.

Фильтры HEPA и ULPA следует выбирать в зависимости от требований к контролю частиц в процессе. Помимо эффективности фильтрации, необходимо также подтвердить первоначальное сопротивление, изменение сопротивления в процессе эксплуатации, способы герметизации коробки и замены. Изменения сопротивления фильтра изменят фактическую рабочую точку FFU. Поэтому при изменении уровня фильтрации следует одновременно учитывать производительность вентилятора, энергопотребление и требования к техническому обслуживанию.

4. Двигатель, энергопотребление и управление: выберите в соответствии с режимом работы.

Полупроводниковые проекты часто требуют длительной эксплуатации, а решения для двигателей следует оценивать с учетом диапазона скоростей, энергопотребления, шума, условий электропитания и потребностей в обслуживании. Ключ к принятию решения переменного, электронного или постоянного тока заключается в том, может ли оно соответствовать условиям эксплуатации, согласованным в проекте.

Когда количество FFU велико, требования к разделу управления, методу регулирования скорости, интерфейсу связи и мониторингу состояния должны быть определены на этапе проектирования. Проекты, требующие централизованного управления, можно совмещать сСистема группового управления ФФУ планирует адрес, электропитание и последующее расширение, чтобы сократить отладку и корректировку после установки.

5. Установка и обслуживание: убедитесь, что оборудование можно использовать и ремонтировать.

Размер FFU должен соответствовать потолочному модулю или интерфейсу установки оборудования, а также проверять доступную высоту, пространство для входа и возврата воздуха, электрическую проводку и направление обслуживания. Замена фильтра, проверка двигателя и обслуживание компонентов управления — все это требует рабочего пространства. Для проектов со стороны оборудования или проектов с ограниченным пространством эти условия должны быть подтверждены на этапе чертежа, прежде чем принимать решение о применении нестандартных конструкций.

Как Aili Industry сотрудничает с выбором проекта полупроводникового ФФУ?

Aili Industrial может определить конфигурацию, соответствующую вентиляторам, двигателям, фильтрам, конструкциям из листового металла и системам управления, в сочетании с установочными размерами проекта, целевым объемом воздуха, статическим давлением и требованиями к управлению. Для серийных проектов FFU рекомендуется сначала подтвердить прототип, а затем проверить компоненты, полную информацию о машине и данные о работе на месте в соответствии с техническим соглашением. Это облегчает обнаружение отклонений между размерами, производительностью или условиями обслуживания и требованиями проекта.

Во время технического общения рекомендуется предоставить требования к технологической площади и чистоте, план этажа и схемы потолков, целевой объем или скорость воздуха, требования к фильтрации, методы электропитания и управления, расчетные количества и планы зонирования. Чем конкретнее информация, тем легче спецификации и расценки ФФУ соответствовать реальным условиям работы.

Часто задаваемые вопросы: Можно ли напрямую заменять FFU одного размера? неопределенный. Также необходимо проверить фильтр, статическое давление при заданном объеме воздуха, электрический интерфейс, метод управления, а также условия установки и обслуживания.

Часто задаваемые вопросы: Чем лучше более высокий уровень фильтра? Должен подчиняться технологическим требованиям. При повышении уровня фильтрации необходимо перепроверить сопротивление и фактический объем воздуха FFU.

FAQ: Какие данные будут окончательными? Условия работы и методы испытаний, согласованные в техническом соглашении по проекту, имеют преимущественную силу, а фактические результаты эксплуатации должны быть подтверждены посредством испытаний прототипов или испытаний на месте.