Al utilizar FFU en nuevos proyectos de semiconductores, ¿a qué parámetros hay que prestar más atención?

Respuesta directa: Al seleccionar FFU para nuevos proyectos de semiconductores, debe centrarse en verificar los objetivos de limpieza, el volumen de aire y la velocidad del viento en las condiciones de diseño, la presión estática disponible bajo el volumen de aire objetivo, la eficiencia y resistencia del filtro, la uniformidad de la velocidad del viento, el consumo de energía y los métodos de control, así como las condiciones de instalación y mantenimiento. Es necesario comparar varios parámetros en las mismas condiciones de trabajo y confirmarlos mediante prototipos o pruebas in situ.

FFU es el equipo de suministro de aire final de la sala limpia de semiconductores. Consiste en un ventilador, motor, filtro, caja y sistema de control que trabajan juntos. Mismas dimensionesLa unidad de filtro de ventilador FFU puede producir diferentes efectos reales en el suministro de aire debido a diferentes filtros, engranajes operativos o resistencia del sistema. Por lo tanto, los nuevos proyectos no sólo pueden comparar volúmenes de aire máximos nominales o precios de compra, sino que deben determinar parámetros basados ​​en los requisitos del proceso.

1. Objetivo de limpieza: primero aclarar qué área quiere atender la FFU

Diferentes áreas de proceso pueden tener diferentes requisitos de control de partículas, dirección del flujo de aire y limpieza local. Antes de seleccionar un modelo, se debe aclarar el nivel de limpieza, la generación de polvo por parte del personal y el equipo, la disipación de calor del equipo, el tiempo de funcionamiento y el rango de suministro de aire. Las condiciones de instalación y el flujo de aire objetivo también se deben verificar por separado para las FFU del techo de la sala limpia y las FFU del lado del equipo para evitar utilizar el mismo conjunto de parámetros para cubrir todos los escenarios.

2. Volumen de aire, velocidad del viento y presión estática: dependen del punto de trabajo real

El volumen de aire determina la capacidad de suministro de aire, y la velocidad del viento y su uniformidad afectan la distribución del flujo de aire en el área de trabajo. La presión estática está relacionada con si la FFU puede superar la resistencia del filtro y el sistema y mantener el volumen de aire requerido en las condiciones operativas objetivo.

Al comparar soluciones con proveedores, se le debe solicitar que proporcione con filtros específicos y bajo condiciones de resistencia y engranajes operativos acordados . datos sobre el volumen de aire, la presión estática y el consumo de energía El volumen de aire máximo nominal generalmente no se puede utilizar directamente como volumen de aire de diseño del proyecto. Para proyectos por lotes, también se debe verificar la coherencia del rendimiento entre diferentes FFU.

3. Filtro: Comprobar eficiencia y resistencia juntas

Los filtros HEPA y ULPA deben seleccionarse según los requisitos de control de partículas del proceso. Además de la eficiencia de filtración, también es necesario confirmar la resistencia inicial, los cambios de resistencia durante la operación, el sellado de la caja y los métodos de reemplazo. Los cambios en la resistencia del filtro cambiarán el punto de funcionamiento real de la FFU. Por lo tanto, al cambiar el nivel de filtración, se deben revisar simultáneamente el rendimiento del ventilador, el consumo de energía y los requisitos de mantenimiento.

4. Motor, consumo de energía y control: seleccionar según modo de funcionamiento

Los proyectos de semiconductores a menudo requieren una operación a largo plazo y las soluciones de motores deben evaluarse en función del rango de velocidad, el consumo de energía, el ruido, las condiciones del suministro de energía y las necesidades de mantenimiento. La clave para adoptar una solución AC, EC o DC radica en si puede cumplir con las condiciones de operación acordadas por el proyecto.

Cuando el número de FFU es grande, la partición de control, el método de regulación de velocidad, la interfaz de comunicación y los requisitos de monitoreo de estado deben determinarse durante la etapa de diseño. Los proyectos que requieren una gestión centralizada se pueden combinar conEl sistema de control del grupo FFU planifica la dirección, el suministro de energía y la posterior expansión para reducir las depuraciones y ajustes después de la instalación.

5. Instalación y mantenimiento: Confirme que el equipo se puede utilizar y reparar.

El tamaño de la FFU debe coincidir con el módulo de techo o la interfaz de instalación del equipo, y verificar la altura disponible, el espacio de entrada y retorno de aire, el cableado eléctrico y la dirección de mantenimiento. El reemplazo de filtros, la inspección del motor y el mantenimiento de los componentes de control requieren espacio operativo. Para proyectos del lado del equipo o con espacio limitado, estas condiciones deben confirmarse en la etapa de dibujo antes de decidir si se adoptan estructuras no estándar.

¿Cómo coopera Aili Industry con la selección de proyectos FFU de semiconductores?

Aili Industrial puede determinar la configuración en torno a la combinación de ventiladores, motores, filtros, estructuras de chapa y sistemas de control, combinados con las dimensiones de instalación del proyecto, el volumen de aire objetivo, la presión estática y los requisitos de control. Para proyectos FFU por lotes, se recomienda confirmar primero el prototipo y luego verificar los componentes, la máquina completa y los datos de operación en sitio de acuerdo con el acuerdo técnico. Esto facilita la detección de desviaciones entre dimensiones, condiciones de rendimiento o mantenimiento y requisitos del proyecto.

Durante la comunicación técnica, se recomienda proporcionar el área de proceso y los requisitos de limpieza, planos de planta y diagramas de techo, volumen o velocidad de aire objetivo, requisitos de filtración, suministro de energía y métodos de control, cantidades estimadas y planes de zonificación. Cuanto más específica sea la información, más fácil será que las especificaciones y cotizaciones de FFU se correspondan con las condiciones de trabajo reales.

Preguntas frecuentes: ¿Se pueden intercambiar directamente FFU del mismo tamaño? incierto. También es necesario verificar el filtro, la presión estática en el volumen de aire objetivo, la interfaz eléctrica, el método de control y las condiciones de instalación y mantenimiento.

Preguntas frecuentes: ¿Es mejor un nivel de filtro más alto? Debe estar sujeto a requisitos de proceso. Al aumentar el nivel de filtración, se debe volver a verificar la resistencia y el volumen de aire real FFU.

Preguntas frecuentes: ¿Qué datos serán definitivos? Prevalecerán las condiciones de trabajo y los métodos de prueba acordados en el acuerdo técnico del proyecto, y los resultados operativos reales se confirmarán mediante prototipos o pruebas in situ.