Khi sử dụng FFU trong các dự án bán dẫn mới, bạn cần chú ý đến thông số nào nhất?
Câu trả lời trực tiếp: Khi chọn FFU cho các dự án bán dẫn mới, bạn nên tập trung vào việc kiểm tra mục tiêu về độ sạch, thể tích không khí và tốc độ gió trong điều kiện thiết kế, áp suất tĩnh có sẵn trong thể tích không khí mục tiêu, hiệu suất và lực cản của bộ lọc, tính đồng nhất của tốc độ gió, phương pháp kiểm soát và tiêu thụ năng lượng, cũng như các điều kiện lắp đặt và bảo trì. Các thông số khác nhau cần được so sánh trong cùng điều kiện làm việc và được xác nhận thông qua thử nghiệm nguyên mẫu hoặc tại chỗ.
FFU là thiết bị cung cấp không khí cuối của phòng sạch bán dẫn. Nó bao gồm một quạt, động cơ, bộ lọc, hộp và hệ thống điều khiển hoạt động cùng nhau. Kích thước giống nhauBộ lọc quạt FFU có thể tạo ra các hiệu ứng cung cấp không khí thực tế khác nhau do các bộ lọc, bánh răng vận hành hoặc lực cản hệ thống khác nhau. Do đó, các dự án mới không thể chỉ so sánh lượng không khí tối đa danh nghĩa hoặc giá mua mà phải xác định các thông số dựa trên yêu cầu của quy trình.
1. Mục tiêu dọn dẹp: trước tiên hãy làm rõ khu vực nào FFU muốn phục vụ
Các khu vực xử lý khác nhau có thể có các yêu cầu khác nhau về kiểm soát hạt, hướng luồng không khí và độ sạch cục bộ. Trước khi chọn một kiểu máy, cần làm rõ mức độ sạch, sự phát sinh bụi của nhân viên và thiết bị, khả năng tản nhiệt của thiết bị, thời gian vận hành và phạm vi cung cấp không khí. Các điều kiện lắp đặt và luồng không khí mục tiêu cũng cần được kiểm tra riêng biệt đối với FFU trần phòng sạch và FFU phía thiết bị để tránh sử dụng cùng một bộ tham số cho tất cả các tình huống.
2. Lưu lượng không khí, tốc độ gió và áp suất tĩnh: phụ thuộc vào điểm làm việc thực tế
Thể tích không khí quyết định khả năng cung cấp không khí, tốc độ gió và độ đồng đều của nó ảnh hưởng đến sự phân bổ luồng không khí trong khu vực làm việc. Áp suất tĩnh liên quan đến việc FFU có thể vượt qua lực cản của bộ lọc và hệ thống và duy trì lượng không khí cần thiết trong điều kiện vận hành mục tiêu hay không.
Khi so sánh các giải pháp với nhà cung cấp, bạn nên yêu cầu cung cấp với các bộ lọc được chỉ định và theo các bánh răng vận hành và điều kiện lực cản đã được thống nhất . dữ liệu về thể tích không khí, áp suất tĩnh và mức tiêu thụ điện Thể tích không khí tối đa danh nghĩa thường không thể được sử dụng trực tiếp làm thể tích không khí thiết kế của dự án. Đối với các dự án hàng loạt, cũng cần kiểm tra tính nhất quán về hiệu suất giữa các FFU khác nhau.
3. Bộ lọc: Kiểm tra hiệu quả và sức đề kháng cùng nhau
Bộ lọc HEPA và ULPA nên được lựa chọn dựa trên các yêu cầu kiểm soát hạt của quy trình. Ngoài hiệu quả lọc, cũng cần xác nhận điện trở ban đầu, sự thay đổi điện trở trong quá trình vận hành, phương pháp niêm phong hộp và thay thế. Những thay đổi về điện trở của bộ lọc sẽ thay đổi điểm vận hành thực tế của FFU. Do đó, khi thay đổi mức lọc, cần xem xét đồng thời các yêu cầu về hiệu suất của quạt, mức tiêu thụ năng lượng và bảo trì.
4. Động cơ, tiêu thụ năng lượng và điều khiển: chọn theo chế độ vận hành
Các dự án bán dẫn thường yêu cầu hoạt động lâu dài và các giải pháp động cơ cần được đánh giá dựa trên phạm vi tốc độ, mức tiêu thụ điện năng, tiếng ồn, điều kiện cung cấp điện và nhu cầu bảo trì. Chìa khóa để áp dụng giải pháp AC, EC hoặc DC nằm ở chỗ liệu nó có thể đáp ứng các điều kiện vận hành mà dự án đã thỏa thuận hay không.
Khi số lượng FFU lớn, cần xác định phân vùng điều khiển, phương pháp điều chỉnh tốc độ, giao diện truyền thông và các yêu cầu giám sát trạng thái trong giai đoạn thiết kế. Các dự án yêu cầu quản lý tập trung có thể được kết hợp vớiHệ thống điều khiển nhóm FFU lập kế hoạch về địa chỉ, nguồn điện và việc mở rộng tiếp theo để giảm việc gỡ lỗi và điều chỉnh sau khi cài đặt.
5. Lắp đặt và bảo trì: Xác nhận rằng thiết bị có thể được sử dụng và sửa chữa
Kích thước FFU cần phải phù hợp với mô-đun trần hoặc giao diện lắp đặt thiết bị, đồng thời kiểm tra độ cao sẵn có, không gian hút gió và hồi gió, hệ thống dây điện và hướng bảo trì. Thay thế bộ lọc, kiểm tra động cơ và bảo trì bộ phận điều khiển đều yêu cầu không gian vận hành. Đối với các dự án về mặt thiết bị hoặc bị hạn chế về không gian, các điều kiện này cần được xác nhận ở giai đoạn vẽ trước khi quyết định có áp dụng các cấu trúc phi tiêu chuẩn hay không.
Aili Industry hợp tác với việc lựa chọn dự án FFU bán dẫn như thế nào?
Aili Industrial có thể xác định cấu hình dựa trên sự phù hợp của quạt, động cơ, bộ lọc, cấu trúc kim loại tấm và hệ thống điều khiển, kết hợp với kích thước lắp đặt của dự án, thể tích không khí mục tiêu, áp suất tĩnh và các yêu cầu kiểm soát. Đối với các dự án FFU hàng loạt, trước tiên nên xác nhận nguyên mẫu, sau đó kiểm tra các bộ phận, máy hoàn chỉnh và dữ liệu vận hành tại chỗ theo thỏa thuận kỹ thuật. Điều này giúp dễ dàng phát hiện những sai lệch giữa kích thước, điều kiện hoạt động hoặc bảo trì và yêu cầu của dự án.
Trong quá trình trao đổi kỹ thuật, nên cung cấp các yêu cầu về khu vực xử lý và độ sạch, sơ đồ mặt bằng và sơ đồ trần, thể tích hoặc tốc độ không khí mục tiêu, yêu cầu lọc, phương pháp cung cấp điện và điều khiển, số lượng ước tính và sơ đồ phân vùng. Thông tin càng cụ thể thì các thông số kỹ thuật và báo giá của FFU càng dễ dàng phù hợp với điều kiện làm việc thực tế.
Câu hỏi thường gặp: FFU có cùng kích thước có thể được trao đổi trực tiếp không? không chắc chắn. Cũng cần phải kiểm tra bộ lọc, áp suất tĩnh ở thể tích không khí mục tiêu, giao diện điện, phương pháp điều khiển cũng như các điều kiện lắp đặt và bảo trì.
Câu hỏi thường gặp: Mức bộ lọc cao hơn có tốt hơn không? Phải tuân theo các yêu cầu của quy trình. Khi tăng mức lọc phải kiểm tra lại điện trở và lượng không khí thực tế FFU.
Câu hỏi thường gặp: Dữ liệu nào sẽ là dữ liệu cuối cùng? Các điều kiện làm việc và phương pháp thử nghiệm đã được thống nhất trong thỏa thuận kỹ thuật của dự án sẽ được ưu tiên áp dụng và kết quả vận hành thực tế phải được xác nhận thông qua nguyên mẫu hoặc thử nghiệm tại chỗ.
