Comment vérifier le projet EFU d'équipement de traitement de plaquettes ? Prototype, premiers tests unitaires et confirmation du lot

La vérification EFU de l'équipement de traitement de plaquettes n'est pas la même chose que l'achat d'un FFU à usage général et son installation au plafond. Une fois l'EFU côté équipement installé dans l'équipement de traitement des plaquettes, il est confronté à la contre-pression à l'intérieur de l'équipement, à la perturbation du flux d'air provoquée par le mouvement du bras robotique et aux exigences sensibles du processus lui-même en matière de particules. Les paramètres évalués qualifiés de l'unité EFU ne signifient pas que la distribution cible de la vitesse du vent peut être maintenue après avoir été installée dans l'équipement ; les données au stade du prototype sont belles, mais cela ne signifie pas qu'elles peuvent être reproduites dans chaque lot. La vérification est divisée en trois étapes : l'étape du prototype pour confirmer la faisabilité de la conception, la première étape pour confirmer la correspondance de l'ensemble de la machine et l'étape du lot pour confirmer la cohérence . Les éléments de test, le contenu des enregistrements et la base de jugement des trois étapes doivent être convenus séparément. Les données prototypes ne peuvent pas être utilisées pour remplacer la vérification de la première unité, et les données de la première unité ne peuvent pas non plus être utilisées pour couvrir les inspections par échantillonnage par lots. L'EFU ultra-mince de 70 mm d'Aili Industrial est organisé en prototypes et premières unités pour vérification sur la base des dessins de confirmation du projet d'équipement de traitement de plaquettes, et les données sur le volume d'air, la distribution de la vitesse du vent et les vibrations sont archivées par étape.

Étape du prototype : confirmez d’abord si l’orientation de la conception est correcte

L'objectif de l'étape de prototype n'est pas de « prouver que l'EFU peut répondre aux normes », mais de confirmer si la structure des conduits d'air, la sélection du ventilateur et la configuration du filtre sont réalisables dans les conditions d'installation de l'équipement . À ce stade, les données imparfaites sont autorisées, mais suffisamment d’informations doivent être obtenues pour déterminer les modifications suivantes.

Les éléments de test du prototype doivent couvrir les principaux indicateurs de performance de l'EFU côté appareil. Le volume d'air et la pression statique doivent être mesurés dans les conditions réelles de contre-pression de l'équipement, plutôt que sur un banc ouvert - les rotations du conduit d'air, la résistance du filtre et l'obstruction de la sortie d'air à l'intérieur de l'équipement entraîneront un écart du point de fonctionnement du ventilateur par rapport à la courbe d'échantillonnage. La répartition de la vitesse du vent sur la surface de sortie d'air doit être mesurée à l'emplacement d'installation cible. Les points de mesure sont divisés en fonction de la grille de surface de sortie d'air, et la vitesse du vent et la plage de déviation de chaque point sont enregistrées pour déterminer si le flux laminaire répond aux exigences de couverture du trajet de la tranche. L'augmentation de la température en fonctionnement continu doit être simulée en fonction de la température réelle de l'air d'entrée à l'intérieur de l'équipement, et la courbe d'augmentation de la température depuis le démarrage à froid jusqu'à la stabilité thermique doit être enregistrée, plutôt que de simplement mesurer un instant. Les vibrations doivent enregistrer la vitesse et l'amplitude nominales dans la plage de réglage de vitesse couramment utilisée. L'équipement de traitement des plaquettes est sensible aux micro-vibrations et le chemin de transmission des vibrations de l'EFU doit être exposé pendant la phase de prototype.

Les performances d'élimination des particules de l'EFU du côté du dispositif semi-conducteur ont une référence de méthode de test spéciale. La norme SEMI F111 décrit les tests des capacités d'élimination des particules des unités de filtrage de ventilateur d'équipement (EFFU) installées à l'intérieur de l'équipement, soulignant la nécessité de prendre en compte ensemble les spécifications des médias filtrants, le débit d'air et l'intégrité des composants EFFU, plutôt que d'examiner uniquement l'efficacité du filtre. Les tests de particules au stade du prototype peuvent se référer à cette idée et évaluer les performances du système de l'EFU dans la cavité simulée de l'équipement ou sur le lieu d'installation réel, plutôt que de s'appuyer uniquement sur le certificat de l'usine du filtre.

Les données du prototype et les dessins de confirmation sont archivés ensemble comme base pour modifier la configuration de la première unité. S'il s'avère au cours de la phase de prototype que la répartition de la vitesse du vent ne répond pas à la norme ou que l'augmentation de la température dépasse les attentes, la structure du conduit d'air ou les spécifications du ventilateur doivent être ajustées avant la première unité, plutôt que de confier le problème à la première unité.

Première étape : confirmer la correspondance de l’ensemble de la machine et les performances de l’appareil

La première vérification est un test complet du après confirmation de l'orientation de conception du prototype premier EFU réalisé selon la configuration finale . La différence entre la première unité et le prototype est que le prototype peut permettre des modifications temporaires et des débogages répétés, tandis que la première unité doit représenter l'état de livraison des lots suivants.

Les éléments testés sur la première machine sont plus complets que ceux du prototype, et les critères de jugement sont plus clairs. En plus du volume d'air, de la répartition de la vitesse du vent, de l'augmentation de la température et des vibrations, il est également nécessaire d'ajouter une vérification de verrouillage entre l'EFU et le contrôle principal de l'équipement : si la commande de démarrage est exécutée selon le rythme du processus, si la commande de réglage de la vitesse est cohérente avec la valeur définie, si l'alarme de défaut est correctement lue par l'automate de l'équipement et si l'action du contrôleur est celle attendue lorsque la communication est interrompue. Pour les groupes EFU contrôlés par des partitions, la première étape doit vérifier la correspondance entre l'adresse esclave et l'emplacement physique un par un pour confirmer que le démarrage et l'arrêt de la partition ne déclencheront pas accidentellement les zones adjacentes.

Un autre objectif de la première vérification de la machine est le parcours de maintenance . Une fois l'EFU installé dans l'équipement de traitement des plaquettes, il n'est pas facile de juger à partir des dessins s'il y a suffisamment d'espace pour le remplacement du filtre et l'entretien du ventilateur, si d'autres pièces doivent être démontées et si l'état d'étanchéité peut être restauré après le remplacement. Elle ne peut être confirmée que par une opération réelle après l'assemblage de la première unité. Pour la méthode de vérification de la direction de remplacement du filtre et des contraintes d'espace, veuillez vous référer àComment choisir un filtre EFU sans cloison ? L'efficacité, la résistance, l'étanchéité et les méthodes complètes d'adaptation des machines sont expliquées.

Les données de test de la première unité sont comparées aux données du prototype pour confirmer si la modification de conception est efficace. Dans le même temps, la configuration finale de la première unité (modèle de ventilateur, spécifications du filtre, paramètres de contrôle et interfaces d'installation) est solidifiée dans la nomenclature de l'équipement. Après le passage de la première, cette configuration est devenue la référence pour la production de masse.

Confirmation du lot : confirmez que chaque unité est la même que la première

L'objectif de vérification dans la phase par lots est passé de « si les performances répondent aux normes » à « si la cohérence est contrôlable ». Quelle que soit la qualité des données de la première unité, si le volume d'air, la vitesse du vent ou la dispersion des vibrations du lot EFU sont trop importants, la propreté de l'équipement fluctuera toujours.

La confirmation des lots adopte généralement la méthode d' inspection complète de la première pièce et d'inspection par échantillonnage . La première pièce est testée une par une selon les normes de la première pièce pour confirmer que le processus par lots est conforme à la première pièce. Les lots suivants seront inspectés au hasard selon la proportion convenue. Les éléments d'inspection aléatoires peuvent se concentrer sur les indicateurs qui ont l'impact le plus direct sur l'équipement : le volume d'air au point de travail cible, l'uniformité de la vitesse du vent sur la surface de sortie d'air, la valeur de vibration de la vitesse nominale et la cartographie d'adresse et de régulation de vitesse de la communication de contrôle. Lorsqu'il apparaît au cours de l'inspection aléatoire qu'un certain indicateur s'écarte du premier point de référence et dépasse la plage autorisée, le taux d'inspection aléatoire doit être élargi ou rétabli à une inspection complète.

Le jugement de confirmation de lot est basé sur les données de référence archivées par la première unité, et non sur la valeur nominale du catalogue. Le volume d'air de la première unité peut être de 600 m³/h sous la contre-pression de l'équipement. Pour l'échantillonnage par lots, l'écart admissible est fixé à environ 600, au lieu de prendre 800 sur l'échantillon comme ligne de qualification. Les enregistrements d'inspection aléatoires sont comparés aux données de la première unité, les lots présentant des écarts dans la plage convenue sont libérés et les lots présentant des écarts hors tolérance sont déterminés une fois les raisons découvertes. Aili Industrial organise la production selon la configuration confirmée de la première unité lors de la fourniture par lots d'EFU. Les données d'inspection aléatoires sont comparées au référentiel de la première unité, et les paramètres de contrôle et les interfaces d'installation correspondent un par un selon le diagramme de confirmation.

Des malentendus à éviter

Il convient d'éviter d'utiliser les données du prototype pour lancer directement la première unité. Le prototype est autorisé pour le débogage mais la première unité représente l'état du lot ; il faut éviter que la première unité mesure uniquement le monomère EFU sans vérifier le verrouillage avec la commande principale de l'équipement ; il convient d'éviter que l'inspection des lots utilise l'évaluation du livre d'échantillons comme ligne de qualification sans examiner la référence réelle de la première unité sous la contre-pression de l'équipement ; il convient d'éviter que l'inspection aléatoire ne mesure que le volume d'air mais pas la répartition de la vitesse du vent et les vibrations. L'impact de ces trois éléments sur l'équipement de traitement des plaquettes est également direct. Le cœur de la vérification du projet EFU n'est pas « une certaine machine a été testée », mais la direction du prototype, le benchmark de la première machine et le benchmark du lot. Les données des trois étapes forment une chaîne traçable.

Questions et réponses connexes

Le prototype et la première machine peuvent-ils être fusionnés en une seule étape ?
Non recommandé. Le but des prototypes est d'exposer les problèmes de conception et de permettre des modifications, la première unité représentant l'état de livraison final. En cas de fusion, les modifications temporaires apportées à l'étape du prototype peuvent être appliquées au lot, ou la première unité peut ne pas avoir de signification de base car elle « doit être modifiée ». Lorsque la structure de l'équipement est relativement simple et que la configuration EFU est proche du modèle standard, l'intervalle entre les deux étages peut être raccourci, mais l'enregistrement doit être séparé.

La première vérification doit-elle couvrir tout le cycle du processus ?
Au moins les états de fonctionnement typiques de l'EFU dans l'équipement doivent être couverts : démarrage anticipé, commutation de vitesse, arrêt retardé et simulation d'interruption de communication. Le cycle complet de vérification du processus des équipements de traitement des plaquettes est long. La première vérification de l'EFU peut se concentrer sur la réponse et la liaison de l'EFU elle-même, sans attendre la fin de la vérification du processus de l'ensemble de la machine. Cependant, la confirmation de la logique de liaison doit être complétée dès la première étape et ne peut être attendue jusqu'au lot.

Combien d’unités seront échantillonnées pour l’inspection par lots ?
Dépend de la taille du lot et de la dispersion des premières données. Pour les petits lots (par exemple, moins de 10 unités), la première unité peut être entièrement inspectée et 1 à 2 unités peuvent être sélectionnées au hasard parmi les autres ; pour les lots plus importants, 5 à 10 % des unités peuvent être inspectées au hasard, mais pas moins de 2 unités. Si un indicateur s'avère proche de la limite de l'écart admissible lors de l'inspection aléatoire, l'inspection aléatoire doit être élargie. La proportion spécifique peut être convenue dans le contrat de technologie d'approvisionnement.

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Aili Industrial EFU sélection et assistance à l’approvisionnement

L'EFU ultra-mince de 70 mm d'Aili Industrial est organisé et vérifié en trois étapes : prototype, première unité et lot dans le projet d'équipement de traitement de plaquettes. Au stade du prototype, la répartition du volume d'air et de la vitesse du vent est testée en fonction des conditions d'installation de l'équipement. Dans un premier temps, la configuration est solidifiée et le verrouillage avec la commande principale de l'équipement est vérifié. L'inspection des lots est basée sur le premier référentiel unitaire. Les données sur le volume d'air, l'augmentation de la température et les vibrations sont archivées avec le tableau de confirmation, ce qui permet à l'usine d'équipement de retracer plus facilement la correspondance entre chaque lot.

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