¿Cómo verificar el proyecto EFU del equipo de procesamiento de obleas? Prototipo, primera prueba unitaria y confirmación de lote.

La verificación EFU de equipos de procesamiento de obleas no es lo mismo que comprar una FFU de uso general e instalarla en el techo. Después de instalar la EFU del lado del equipo en el equipo de procesamiento de obleas, se enfrenta a la contrapresión dentro del equipo, la perturbación del flujo de aire causada por el movimiento del brazo robótico y los requisitos sensibles del proceso en sí sobre las partículas. Los parámetros nominales calificados de la unidad EFU no significan que la distribución objetivo de la velocidad del viento pueda mantenerse después de su instalación en el equipo; Los datos en la etapa de prototipo son hermosos, pero eso no significa que puedan reproducirse en cada lote. La verificación se divide en tres pasos: la etapa de prototipo para confirmar la viabilidad del diseño, la primera etapa para confirmar la coincidencia de toda la máquina y la etapa de lotes para confirmar la consistencia . Los elementos de la prueba, el contenido del registro y la base de juicio de las tres etapas deben acordarse por separado. Los datos del prototipo no se pueden usar para reemplazar la verificación de la primera unidad, ni los datos de la primera unidad se pueden usar para cubrir las inspecciones de muestreo por lotes. La EFU ultrafina de 70 mm de Aili Industrial está organizada en prototipos y primeras unidades para verificación basada en dibujos de confirmación en el proyecto del equipo de procesamiento de obleas, y los datos de volumen de aire, distribución de velocidad del viento y vibración se archivan por etapa.

Etapa de prototipo: primero confirme si la dirección del diseño es correcta

El objetivo de la etapa de prototipo no es 'demostrar que la EFU puede cumplir con los estándares', sino confirmar si la estructura del conducto de aire, la selección del ventilador y la configuración del filtro son factibles bajo las condiciones de instalación del equipo . En esta etapa, se permiten datos imperfectos, pero es necesario obtener suficiente información para determinar qué cambiar a continuación.

Los elementos de prueba del prototipo deben cubrir los indicadores básicos de rendimiento de la EFU del lado del dispositivo. El volumen de aire y la presión estática deben medirse bajo las condiciones reales de contrapresión del equipo, en lugar de en un banco abierto; las vueltas del conducto de aire, la resistencia del filtro y la obstrucción de la salida de aire dentro del equipo harán que el punto de trabajo del ventilador se desvíe de la curva de muestra. La distribución de la velocidad del viento en la superficie de salida de aire debe medirse en el lugar de instalación objetivo. Los puntos de medición se dividen según la rejilla de la superficie de salida de aire y se registran la velocidad del viento y el rango de desviación de cada punto para determinar si el flujo laminar cumple con los requisitos de cobertura de la trayectoria de la oblea. El aumento de temperatura en funcionamiento continuo se debe simular de acuerdo con la temperatura real del aire de entrada dentro del equipo, y se debe registrar la curva de aumento de temperatura desde el arranque en frío hasta la estabilidad térmica, en lugar de simplemente medir un punto temporal. La vibración debe registrar la velocidad nominal y la amplitud dentro del rango de ajuste de velocidad comúnmente utilizado. El equipo de procesamiento de obleas es sensible a las microvibraciones y la ruta de transmisión de vibraciones de la EFU debe quedar expuesta durante la etapa de prototipo.

El rendimiento de eliminación de partículas de EFU en el lado del dispositivo semiconductor tiene una referencia de método de prueba especial. El estándar SEMI F111 describe las pruebas de las capacidades de eliminación de partículas de las unidades de filtro de ventilador de equipo (EFFU) instaladas dentro del equipo, enfatizando la necesidad de considerar las especificaciones del medio filtrante, el flujo de aire y la integridad de los componentes EFFU juntos, en lugar de mirar solo la eficiencia del filtro. Las pruebas de partículas en la etapa de prototipo pueden hacer referencia a esta idea y evaluar el rendimiento del sistema de la EFU en la cavidad del equipo simulada o en la ubicación de instalación real, en lugar de depender únicamente del certificado de fábrica del filtro.

Los datos del prototipo y los dibujos de confirmación se archivan juntos como base para modificar la configuración de la primera unidad. Si durante la etapa de prototipo se descubre que la distribución de la velocidad del viento no cumple con el estándar o que el aumento de temperatura excede las expectativas, la estructura del conducto de aire o las especificaciones del ventilador deben ajustarse antes de la primera unidad, en lugar de llevar el problema a la primera unidad.

Primera etapa: confirmar la coincidencia de toda la máquina y el rendimiento del dispositivo

La primera verificación es una prueba completa de una vez confirmada la dirección de diseño del prototipo la primera EFU realizada según la configuración final . La diferencia entre la primera unidad y el prototipo es que el prototipo puede permitir cambios temporales y depuraciones repetidas, mientras que la primera unidad debe representar el estado de entrega de lotes posteriores.

Los elementos probados en la primera máquina son más completos que los del prototipo y los criterios de valoración son más claros. Además del volumen de aire, la distribución de la velocidad del viento, el aumento de temperatura y la vibración, también es necesario agregar verificación de interbloqueo entre la EFU y el control principal del equipo : si el comando de inicio se ejecuta de acuerdo con el ritmo del proceso, si el comando de ajuste de velocidad es consistente con el valor establecido, si el PLC del equipo lee correctamente la alarma de falla y si la acción del controlador es la esperada cuando se interrumpe la comunicación. Para los grupos EFU controlados por particiones, la primera etapa debe verificar la correspondencia entre la dirección del esclavo y la ubicación física una por una para confirmar que el inicio y la parada de la partición no activarán accidentalmente áreas adyacentes.

Otro foco de la primera verificación de la máquina es la ruta de mantenimiento . Una vez instalada la EFU en el equipo de procesamiento de obleas, no es fácil juzgar a partir de los dibujos si hay suficiente espacio para el reemplazo del filtro y el mantenimiento del ventilador, si es necesario desmontar otras piezas y si se puede restaurar el estado de sellado después del reemplazo. Sólo puede confirmarse mediante una operación real después de ensamblar la primera unidad. Para conocer el método para verificar la dirección de reemplazo del filtro y las limitaciones de espacio, consulte¿Cómo elegir el filtro EFU sin partición? la eficiencia, la resistencia, el sellado y los métodos completos de combinación de máquinas .Se explican

Los datos de prueba de la primera unidad se comparan con los datos del prototipo para confirmar si la modificación del diseño es efectiva. Al mismo tiempo, la configuración final de la primera unidad (modelo de ventilador, especificaciones de filtro, parámetros de control e interfaces de instalación) se solidifica en la lista de materiales del equipo. Tras la aprobación del primero, esta configuración se convirtió en la referencia para la producción en masa.

Confirmación de lote: confirme que cada unidad sea igual a la primera

El objetivo de verificación en la fase por lotes ha cambiado de 'si el rendimiento cumple con los estándares' a 'si la consistencia es controlable'. No importa qué tan buenos sean los datos de la primera unidad, si el volumen de aire, la velocidad del viento o la dispersión de vibraciones del lote de EFU es demasiado grande, la limpieza del equipo seguirá fluctuando.

La confirmación de lotes generalmente adopta el método de inspección completa de la primera pieza más inspección por muestreo . La primera pieza se prueba una por una de acuerdo con los estándares de la primera pieza para confirmar que el proceso por lotes es consistente con la primera pieza. Los lotes posteriores serán inspeccionados aleatoriamente según la proporción acordada. Los elementos de inspección aleatoria pueden centrarse en los indicadores que tienen el impacto más directo en el equipo : el volumen de aire en el punto de trabajo objetivo, la uniformidad de la velocidad del viento en la superficie de salida de aire, el valor de vibración de la velocidad nominal y el mapeo de dirección y regulación de velocidad de la comunicación de control. Cuando durante la inspección aleatoria se descubre que un determinado indicador se desvía del primer punto de referencia y excede el rango permitido, el índice de inspección aleatoria debe ampliarse o regresar a la inspección completa.

El juicio de confirmación del lote se basa en los datos de referencia archivados por la primera unidad, no en el valor nominal en el catálogo. El volumen de aire de la primera unidad puede ser de 600 m³/h bajo la contrapresión del equipo. Para el muestreo por lotes, la desviación permitida se establece alrededor de 600, en lugar de tomar 800 en la muestra como línea de calificación. Los registros de inspección aleatoria se comparan con los datos de la primera unidad, se liberan los lotes con desviaciones dentro del rango acordado y se determinan los lotes con desviaciones fuera de la tolerancia una vez que se descubren los motivos. Aili Industrial organiza la producción de acuerdo con la configuración confirmada de la primera unidad durante el suministro por lotes de EFU. Los datos de inspección aleatoria se comparan con el punto de referencia de la primera unidad, y los parámetros de control y las interfaces de instalación corresponden uno por uno según el diagrama de confirmación.

Malentendidos a evitar

Se debe evitar utilizar los datos del prototipo para lanzar directamente la primera unidad. Se permite la depuración del prototipo, pero la primera unidad representa el estado del lote; se debe evitar que la primera unidad solo mida el monómero EFU sin verificar el enclavamiento con el control principal del equipo; se debe evitar que la inspección de lotes utilice la calificación del libro de muestra como línea de calificación sin mirar el punto de referencia real de la primera unidad bajo la contrapresión del equipo; Se debe evitar que la inspección aleatoria solo mida el volumen de aire pero no la distribución de la velocidad del viento y la vibración. El impacto de estos tres elementos en los equipos de procesamiento de obleas es igualmente directo. El núcleo de la verificación del proyecto EFU no es 'una determinada máquina ha sido probada', sino la dirección del prototipo, el punto de referencia de la primera máquina y el punto de referencia del lote. Los datos de las tres etapas forman una cadena rastreable.

Preguntas y respuestas relacionadas

¿Se pueden fusionar el prototipo y la primera máquina en una sola etapa?
No recomendado. El propósito de los prototipos es exponer problemas de diseño y permitir modificaciones, siendo la primera unidad la que representa el estado de entrega final. Si se fusionan, los cambios temporales en la etapa del prototipo pueden incorporarse al lote, o la primera unidad puede no tener importancia inicial porque 'debe cambiarse'. Cuando la estructura del equipo es relativamente simple y la configuración de la EFU se acerca al modelo estándar, el intervalo entre las dos etapas se puede acortar, pero es necesario separar la grabación.

¿La primera verificación tiene que ejecutar todo el ciclo del proceso?
Es necesario cubrir al menos los estados operativos típicos de la EFU en el equipo: arranque temprano, cambio de velocidad, apagado retardado y simulación de interrupción de la comunicación. El ciclo completo de verificación del proceso de los equipos de procesamiento de obleas es largo. La primera verificación de EFU puede centrarse en la respuesta y la vinculación de la propia EFU, sin esperar a que se complete el proceso de verificación de toda la máquina. Sin embargo, la confirmación de la lógica de vinculación debe completarse en la primera etapa y no puede dejarse hasta el lote.

¿Cuántas unidades se tomarán muestras para la inspección de lotes?
Depende del tamaño del lote y de la dispersión de los primeros datos. Para lotes pequeños (por ejemplo, menos de 10 unidades), la primera unidad se puede inspeccionar completamente y se pueden seleccionar 1 o 2 unidades al azar del resto; para lotes más grandes, se pueden inspeccionar aleatoriamente entre el 5% y el 10% de las unidades, pero no menos de 2 unidades. Si se encuentra que un indicador está cerca del límite de la desviación permitida durante la inspección aleatoria, la inspección aleatoria debe ampliarse. La proporción específica se puede acordar en el acuerdo de adquisición de tecnología.

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La EFU ultrafina de 70 mm de Aili Industrial está organizada y verificada en tres etapas: prototipo, primera unidad y lote en el proyecto del equipo de procesamiento de obleas. En la etapa de prototipo, se prueban el volumen de aire y la distribución de la velocidad del viento de acuerdo con las condiciones de instalación del equipo. En la primera etapa unitaria se solidifica la configuración y se verifica el enclavamiento con el control principal del equipo. La inspección de lotes se basa en el punto de referencia de la primera unidad. Los datos de volumen de aire, aumento de temperatura y vibración se archivan junto con el cuadro de confirmación, lo que facilita a la fábrica de equipos rastrear la correspondencia entre cada lote.

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