كيفية التحقق من مشروع EFU لمعدات معالجة الرقائق؟ النموذج الأولي واختبار الوحدة الأولى وتأكيد الدفعة

إن التحقق من EFU لمعدات معالجة الرقائق ليس هو نفسه شراء FFU للأغراض العامة وتثبيته على السقف. بعد تركيب وحدة EFU من جانب المعدات في معدات معالجة الرقائق، فإنها تواجه الضغط الخلفي داخل المعدات، واضطراب تدفق الهواء الناجم عن حركة الذراع الروبوتية، والمتطلبات الحساسة للعملية نفسها على الجزيئات. المعلمات المقدرة المؤهلة لوحدة EFU لا تعني أنه يمكن الحفاظ على توزيع سرعة الرياح المستهدفة بعد تركيبها في المعدات؛ البيانات في مرحلة النموذج الأولي جميلة، لكن هذا لا يعني أنه يمكن إعادة إنتاجها في كل دفعة. ينقسم التحقق إلى ثلاث خطوات: مرحلة النموذج الأولي لتأكيد جدوى التصميم، والمرحلة الأولى لتأكيد مطابقة الجهاز بأكمله، ومرحلة الدفعة لتأكيد الاتساق . يجب الاتفاق على عناصر الاختبار ومحتوى التسجيل وأساس الحكم للمراحل الثلاث بشكل منفصل. لا يمكن استخدام بيانات النموذج الأولي لتحل محل التحقق من الوحدة الأولى، ولا يمكن استخدام بيانات الوحدة الأولى لتغطية عمليات فحص العينات المجمعة. يتم تنظيم وحدة EFU فائقة الرقة مقاس 70 مم من Aili Industrial في نماذج أولية ووحدات أولى للتحقق منها بناءً على رسومات التأكيد في مشروع معدات معالجة الرقائق، ويتم أرشفة حجم الهواء وتوزيع سرعة الرياح وبيانات الاهتزاز حسب المرحلة.

مرحلة النموذج الأولي: تأكد أولاً من صحة اتجاه التصميم

الهدف من مرحلة النموذج الأولي ليس 'إثبات أن وحدة EFU يمكنها تلبية المعايير'، ولكن التأكد مما إذا كان هيكل مجاري الهواء واختيار المروحة وتكوين الفلتر ممكنًا في ظل ظروف تركيب المعدات . في هذه المرحلة، يُسمح بالبيانات غير الكاملة، ولكن يجب الحصول على معلومات كافية لتحديد ما يجب تغييره بعد ذلك.

يجب أن تغطي عناصر اختبار النموذج الأولي مؤشرات الأداء الأساسية لـ EFU من جانب الجهاز. يجب قياس حجم الهواء والضغط الساكن في ظل ظروف الضغط الخلفي الفعلية للمعدات، وليس على طاولة مفتوحة - حيث أن دوران مجرى الهواء ومقاومة المرشح وعرقلة مخرج الهواء داخل الجهاز سوف يتسبب في انحراف نقطة عمل المروحة عن منحنى العينة. توزيع سرعة الرياح على سطح منفذ الهواء في موقع التثبيت المستهدف. يجب قياس يتم تقسيم نقاط القياس وفقًا لشبكة سطح مخرج الهواء، ويتم تسجيل سرعة الرياح ونطاق الانحراف لكل نقطة لتحديد ما إذا كان التدفق الصفحي يلبي متطلبات التغطية لمسار الرقاقة. يجب محاكاة ارتفاع درجة الحرارة في التشغيل المستمر وفقًا لدرجة حرارة الهواء الداخل الفعلية داخل الجهاز، ويجب تسجيل منحنى ارتفاع درجة الحرارة من البداية الباردة إلى الاستقرار الحراري، بدلاً من قياس نقطة زمنية واحدة فقط. يحتاج الاهتزاز إلى تسجيل السرعة والسعة المقدرة ضمن نطاق ضبط السرعة الشائع الاستخدام. معدات معالجة الرقاقات حساسة للاهتزازات الدقيقة، ويجب الكشف عن مسار نقل الاهتزاز الخاص بوحدة EFU أثناء مرحلة النموذج الأولي.

أداء إزالة الجسيمات من EFU على جانب جهاز أشباه الموصلات له مرجع خاص لطريقة الاختبار. يصف معيار SEMI F111 اختبار قدرات إزالة الجسيمات لوحدات مرشح مروحة المعدات (EFFU) المثبتة داخل المعدات، مع التركيز على الحاجة إلى مراعاة مواصفات وسائط المرشح وتدفق الهواء وسلامة مكونات EFFU معًا، بدلاً من النظر إلى كفاءة المرشح وحده. يمكن أن يشير اختبار الجسيمات في مرحلة النموذج الأولي إلى هذه الفكرة وتقييم أداء نظام EFU في تجويف المعدات المحاكى أو موقع التثبيت الفعلي، بدلاً من الاعتماد فقط على شهادة مصنع المرشح.

يتم أرشفة بيانات النموذج الأولي ورسومات التأكيد معًا كأساس لتعديل تكوين الوحدة الأولى. إذا تبين خلال مرحلة النموذج الأولي أن توزيع سرعة الرياح لا يلبي المعيار أو أن ارتفاع درجة الحرارة يتجاوز التوقعات، فيجب تعديل هيكل مجاري الهواء أو مواصفات المروحة قبل الوحدة الأولى، بدلاً من نقل المشكلة إلى الوحدة الأولى.

المرحلة الأولى: التأكد من مطابقة الجهاز بالكامل وأداء الجهاز

التحقق الأول عبارة عن اختبار كامل لـ بعد تأكيد اتجاه تصميم النموذج الأولي EFU الأول الذي تم إجراؤه وفقًا للتكوين النهائي . الفرق بين الوحدة الأولى والنموذج الأولي هو أن النموذج الأولي قد يسمح بإجراء تغييرات مؤقتة وتصحيح الأخطاء المتكرر، في حين يجب أن تمثل الوحدة الأولى حالة التسليم للدفعات اللاحقة.

العناصر التي تم اختبارها على الجهاز الأول أكثر اكتمالاً من تلك الموجودة في النموذج الأولي، ومعايير الحكم أكثر وضوحًا. بالإضافة إلى حجم الهواء، وتوزيع سرعة الرياح، وارتفاع درجة الحرارة والاهتزاز، من الضروري أيضًا إضافة التحقق من التعشيق بين EFU والتحكم الرئيسي في الجهاز : ما إذا كان أمر بدء التشغيل يتم تنفيذه وفقًا لإيقاع العملية، وما إذا كان أمر ضبط السرعة متسقًا مع القيمة المحددة، وما إذا كان جهاز PLC للمعدات قد قرأ إنذار الخطأ بشكل صحيح، وما إذا كان إجراء وحدة التحكم كما هو متوقع عند انقطاع الاتصال. بالنسبة لمجموعات EFU التي يتم التحكم فيها بواسطة الأقسام، يجب أن تتحقق المرحلة الأولى من المراسلات بين العنوان التابع والموقع الفعلي واحدًا تلو الآخر للتأكد من أن بداية القسم وإيقافه لن تؤدي إلى تشغيل المناطق المجاورة عن طريق الخطأ.

محور آخر للتحقق من الجهاز الأول هو مسار الصيانة . بعد تثبيت EFU في معدات معالجة الرقائق، ليس من السهل الحكم من خلال الرسومات على ما إذا كانت هناك مساحة كافية لاستبدال الفلتر وصيانة المروحة، وما إذا كانت الأجزاء الأخرى بحاجة إلى تفكيكها، وما إذا كان يمكن استعادة حالة الختم بعد الاستبدال. ولا يمكن تأكيد ذلك إلا من خلال التشغيل الفعلي بعد تجميع الوحدة الأولى. للتعرف على طريقة التحقق من اتجاه استبدال الفلتر وقيود المساحة، يرجى الرجوع إلىكيفية اختيار مرشح EFU بدون قسم؟ الكفاءة والمقاومة والختم وطرق مطابقة الماكينة الكاملة .يتم شرح

تتم مقارنة بيانات اختبار الوحدة الأولى مع بيانات النموذج الأولي للتأكد من فعالية تعديل التصميم. وفي الوقت نفسه، يتم دمج التكوين النهائي للوحدة الأولى (نموذج المروحة، ومواصفات المرشح، ومعلمات التحكم، وواجهات التثبيت) في قائمة مكونات الصنف للمعدات. بعد مرور الأول، أصبح هذا التكوين هو المعيار للإنتاج الضخم.

تأكيد الدفعة: تأكد من أن كل وحدة هي نفس الوحدة الأولى

لقد تغير هدف التحقق في مرحلة الدفعة من 'ما إذا كان الأداء يفي بالمعايير' إلى 'ما إذا كان يمكن التحكم في الاتساق'. بغض النظر عن مدى جودة بيانات الوحدة الأولى، إذا كان حجم الهواء أو سرعة الرياح أو تشتت الاهتزاز لمجموعة EFU كبيرًا جدًا، فستظل نظافة المعدات متقلبة.

عادةً ما يعتمد تأكيد الدفعة طريقة الفحص الكامل للقطعة الأولى بالإضافة إلى فحص العينات . يتم اختبار القطعة الأولى واحدة تلو الأخرى حسب معايير القطعة الأولى للتأكد من أن عملية الدفعة متسقة مع القطعة الأولى. سيتم فحص الدفعات اللاحقة بشكل عشوائي حسب النسبة المتفق عليها. يمكن أن تركز عناصر الفحص العشوائي على المؤشرات التي لها التأثير المباشر الأكبر على المعدات : حجم الهواء عند نقطة العمل المستهدفة، وتوحيد سرعة الرياح على سطح مخرج الهواء، وقيمة اهتزاز السرعة المقدرة، وتخطيط العنوان وتنظيم السرعة لاتصالات التحكم. عندما يتبين أثناء الفحص العشوائي أن مؤشرًا معينًا ينحرف عن المعيار الأول ويتجاوز النطاق المسموح به، يجب توسيع نسبة الفحص العشوائي أو إعادتها إلى الفحص الكامل.

يعتمد الحكم على تأكيد الدُفعة على البيانات القياسية المؤرشفة بواسطة الوحدة الأولى، وليس على القيمة المقدرة في الكتالوج. يمكن أن يصل حجم الهواء للوحدة الأولى إلى 600 متر مكعب في الساعة تحت الضغط الخلفي للمعدات. بالنسبة لأخذ العينات الدفعية، يتم تعيين الانحراف المسموح به بحوالي 600، بدلاً من أخذ 800 على العينة كخط تأهيل. تتم مقارنة سجلات الفحص العشوائي مع بيانات الوحدة الأولى، ويتم تحرير الدفعات التي بها انحرافات ضمن النطاق المتفق عليه، ويتم تحديد الدفعات التي بها انحرافات خارجة عن التسامح بعد معرفة الأسباب. تنظم Aili Industrial الإنتاج وفقًا للتكوين المؤكد للوحدة الأولى أثناء توريد دفعة EFU. تتم مقارنة بيانات الفحص العشوائي مع معيار الوحدة الأولى، وتتوافق معلمات التحكم وواجهات التثبيت واحدة تلو الأخرى وفقًا لمخطط التأكيد.

سوء الفهم لتجنب

يجب تجنب استخدام بيانات النموذج الأولي لإصدار الوحدة الأولى مباشرة. النموذج الأولي مسموح به للتصحيح ولكن الوحدة الأولى تمثل حالة الدفعة؛ وينبغي تجنب أن الوحدة الأولى تقيس مونومر EFU فقط دون التحقق من التشابك مع جهاز التحكم الرئيسي للمعدات؛ ويجب تجنب استخدام فحص الدُفعة لتصنيف كتاب العينة باعتباره خط التأهيل دون النظر إلى المعيار الفعلي للوحدة الأولى تحت الضغط الخلفي للمعدات؛ وينبغي تجنب أن الفحص العشوائي يقيس فقط حجم الهواء وليس توزيع سرعة الرياح والاهتزاز. إن تأثير هذه العناصر الثلاثة على معدات معالجة الرقائق يكون مباشرًا بنفس القدر. جوهر التحقق من مشروع EFU ليس 'تم اختبار جهاز معين'، ولكن اتجاه النموذج الأولي، ومعيار الجهاز الأول، ومعيار الدفعة. تشكل البيانات في المراحل الثلاث سلسلة يمكن تتبعها.

الأسئلة والأجوبة ذات الصلة

هل يمكن دمج النموذج الأولي والآلة الأولى في مرحلة واحدة؟
غير مستحسن. الغرض من النماذج الأولية هو الكشف عن مشكلات التصميم والسماح بالتعديلات، حيث تمثل الوحدة الأولى حالة التسليم النهائية. في حالة الدمج، قد يتم نقل التغييرات المؤقتة في مرحلة النموذج الأولي إلى الدفعة، أو قد لا يكون للوحدة الأولى أهمية أساسية لأنها 'يجب تغييرها'. عندما يكون هيكل المعدات بسيطًا نسبيًا ويكون تكوين EFU قريبًا من النموذج القياسي، يمكن تقصير الفاصل الزمني بين المرحلتين، ولكن يجب فصل التسجيل.

هل يجب أن يشمل التحقق الأول دورة العملية بأكملها؟
يجب على الأقل تغطية حالات التشغيل النموذجية لوحدة EFU في المعدات: البدء المبكر، وتبديل السرعة، وإيقاف التشغيل المتأخر، ومحاكاة انقطاع الاتصال. إن دورة التحقق من العملية الكاملة لمعدات معالجة الرقائق طويلة. يمكن أن يركز التحقق الأول من EFU على استجابة وربط EFU نفسه، دون انتظار اكتمال التحقق من العملية للجهاز بأكمله. ومع ذلك، يجب إكمال تأكيد منطق الربط في المرحلة الأولى ولا يمكن تركه حتى الدفعة.

كم عدد الوحدات التي سيتم أخذ عينات منها لفحص الدفعة؟
يعتمد على حجم الدفعة وتشتت البيانات الأولى. بالنسبة للدفعات الصغيرة (على سبيل المثال، أقل من 10 وحدات)، يمكن فحص الوحدة الأولى بالكامل ويمكن اختيار 1-2 وحدة بشكل عشوائي من الباقي؛ بالنسبة للدفعات الأكبر، يمكن فحص 5%-10% من الوحدات بشكل عشوائي، ولكن ليس أقل من وحدتين. إذا وجد أن المؤشر يقترب من حد الانحراف المسموح به أثناء الفحص العشوائي، فيجب توسيع الفحص العشوائي. ويمكن الاتفاق على النسبة المحددة في اتفاقية تكنولوجيا الشراء.

مقالات ذات صلة

كيفية تكوين معدات التعبئة والتغليف المتقدمة EFU؟ النقاط الرئيسية للمنطقة النظيفة وترشيح حجم الهواء وواجهة المعدات

كيفية اختيار مرشح EFU بدون قسم؟ الكفاءة والمقاومة والختم وطرق مطابقة الماكينة الكاملة

كيفية اختيار مروحة EFU رقيقة جدًا؟ المساحة وحجم الهواء والضغط الساكن وتبديد الحرارة ونقاط الصيانة

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

اختيار Aili Industrial EFU ودعم المشتريات

يتم تنظيم وحدة EFU فائقة الرقة مقاس 70 مم من Aili Industrial والتحقق منها على ثلاث مراحل: النموذج الأولي والوحدة الأولى والدفعة في مشروع معدات معالجة الرقائق. في مرحلة النموذج الأولي، يتم اختبار حجم الهواء وتوزيع سرعة الرياح وفقًا لظروف تركيب المعدات. في المرحلة الأولى، يتم تقوية التكوين والتحقق من التشابك مع التحكم الرئيسي للمعدات. يعتمد فحص الدُفعة على معيار الوحدة الأولى. يتم أرشفة بيانات حجم الهواء، وارتفاع درجة الحرارة، والاهتزاز مع مخطط التأكيد، مما يسهل على مصنع المعدات تتبع المراسلات بين كل دفعة.

تعرف على منتجات Aili Industrial EFU والتكوينات المخصصة. تحقق من النماذج المدمجة.70 مم EFU فائق النحافة ، يمكن رؤية هيكل الماكينة بالكاملوحدة تصفية مروحة معدات EFU ، يمكن الاطلاع على مخطط التحكموحدة تصفية مروحة معدات EFU التي تنظم سرعة التيار المستمر ، يمكن رؤية الواجهة غير القياسيةإيفو مخصص . يرجى تقديم شروط تركيب المعدات وسرعة الرياح المستهدفة وحجم الدفعة المتوقع لتسهيل تأكيد عناصر اختبار النموذج الأولي وخطة التحقق من الوحدة الأولى.