Как проверить проект EFU оборудования для обработки пластин? Прототип, первое модульное тестирование и подтверждение партии

Проверка ЭФУ оборудования для обработки пластин — это не то же самое, что покупка ФФУ общего назначения и установка его на потолок. После того, как EFU со стороны оборудования установлен в оборудование для обработки пластин, он сталкивается с противодавлением внутри оборудования, возмущением воздушного потока, вызванным движением роботизированной руки, и чувствительными требованиями самого процесса к частицам. Аттестованные номинальные параметры блока ЭФУ не означают, что заданное распределение скорости ветра может поддерживаться после установки в оборудование; данные на стадии прототипа прекрасны, но это не значит, что их можно воспроизводить в каждой партии. Проверка разделена на три этапа: этап прототипа для подтверждения осуществимости конструкции, первый этап для подтверждения соответствия всей машины и этап партии для подтверждения согласованности . Тестовые задания, содержание записей и основания для принятия решений на трех этапах должны быть согласованы отдельно. Данные прототипа не могут использоваться для замены первой проверки единицы, а также не могут использоваться данные первой единицы для проверки выборочного контроля партии. Ультратонкий EFU компании Aili Industrial толщиной 70 мм разбит на прототипы и первые блоки для проверки на основе подтверждающих чертежей в проекте оборудования для обработки пластин, а данные об объеме воздуха, распределении скорости ветра и вибрации архивируются поэтапно.

Этап прототипа: сначала подтвердите правильность направления проектирования.

Целью этапа прототипирования является не «доказать, что ЭФУ может соответствовать стандартам», а подтвердить, осуществимы ли конструкция воздуховода, выбор вентилятора и конфигурация фильтра в условиях установки оборудования . На этом этапе допускаются несовершенные данные, но необходимо получить достаточно информации, чтобы определить, что менять дальше.

Тестовые задания прототипа должны охватывать основные показатели производительности EFU на стороне устройства. Объем воздуха и статическое давление следует измерять в условиях фактического противодавления оборудования, а не на открытом стенде: повороты воздуховодов, сопротивление фильтра и препятствия на выходе воздуха внутри оборудования приведут к отклонению рабочей точки вентилятора от выборочной кривой. Распределение скорости ветра на поверхности выхода воздуха необходимо измерить в целевом месте установки. Точки измерения разделены в соответствии с сеткой поверхности воздуховыпускного отверстия, и скорость ветра и диапазон отклонения каждой точки записываются, чтобы определить, соответствует ли ламинарный поток требованиям покрытия траектории пластины. Повышение температуры при непрерывной работе следует моделировать в соответствии с фактической температурой воздуха на входе внутри оборудования, а кривую повышения температуры от холодного запуска до термической стабильности следует фиксировать, а не просто измерять один момент времени. Вибрация должна фиксировать номинальную скорость и амплитуду в пределах обычно используемого диапазона регулировки скорости. Оборудование для обработки пластин чувствительно к микровибрации, и путь передачи вибрации EFU должен быть подвергнут воздействию на стадии прототипа.

Эффективность удаления частиц EFU со стороны полупроводниковых устройств имеет специальный метод испытаний. Стандарт SEMI F111 описывает тестирование возможностей удаления частиц фильтрующими вентиляторами оборудования (EFFU), установленными внутри оборудования, подчеркивая необходимость учитывать характеристики фильтрующего материала, поток воздуха и целостность компонентов EFFU вместе, а не рассматривать только эффективность фильтра. Испытания частиц на стадии прототипа могут опираться на эту идею и оценивать производительность системы EFU в моделируемой полости оборудования или фактическом месте установки, а не полагаться исключительно на сертификат завода-изготовителя фильтра.

Данные прототипа и подтверждающие чертежи архивируются вместе и служат основой для изменения конфигурации первого агрегата. Если на этапе прототипа обнаруживается, что распределение скорости ветра не соответствует стандарту или повышение температуры превышает ожидания, конструкция воздуховода или характеристики вентилятора должны быть скорректированы до первого блока, а не переносить проблему на первый блок.

Первый этап: Подтвердите соответствие всей машины и производительности устройства.

Первая проверка представляет собой полное испытание после подтверждения направления проектирования прототипа первого ЭФУ, выполненного в соответствии с окончательной конфигурацией . Разница между первым блоком и прототипом заключается в том, что прототип может допускать временные изменения и повторную отладку, тогда как первый блок должен отражать статус поставки последующих партий.

Элементы, протестированные на первой машине, являются более полными, чем на прототипе, а критерии оценки более ясными. Помимо объема воздуха, распределения скорости ветра, повышения температуры и вибрации, также необходимо добавить проверку блокировки между EFU и основным управлением оборудованием : выполняется ли команда запуска в соответствии с ритмом процесса, соответствует ли команда регулировки скорости заданному значению, правильно ли считывается сигнал неисправности ПЛК оборудования и являются ли действия контроллера ожидаемыми при прерывании связи. Для групп EFU, управляемых разделами, на первом этапе следует поочередно проверить соответствие между адресом подчиненного устройства и физическим местоположением, чтобы убедиться, что запуск и остановка раздела не вызовут случайное срабатывание соседних областей.

Еще одним направлением первой проверки машины является этап технического обслуживания . После установки ЭФУ в оборудование для обработки пластин по чертежам непросто судить, достаточно ли места для замены фильтра и обслуживания вентилятора, нужно ли разбирать другие детали и можно ли восстановить состояние уплотнения после замены. Это можно подтвердить только в ходе реальной эксплуатации после сборки первого агрегата. Информацию о методе проверки направления замены фильтра и ограничений по пространству см.Как выбрать фильтр EFU без перегородки? методы эффективности, сопротивления, уплотнения и полного соответствия машин .Объясняются

Данные испытаний первого агрегата сравниваются с данными прототипа, чтобы подтвердить эффективность модификации конструкции. В то же время окончательная конфигурация первого блока (модель вентилятора, характеристики фильтра, параметры управления и интерфейсы установки) закрепляется в спецификации оборудования. После того, как прошла первая, эта конфигурация стала эталоном для массового производства.

Подтверждение партии: подтвердите, что каждая единица такая же, как первая.

Цель проверки на этапе пакетной обработки изменилась с «соответствует ли производительность стандартам» на «контролируема ли согласованность». Независимо от того, насколько хороши данные первого агрегата, если объем воздуха, скорость ветра или рассеивание вибрации партии ЭФУ слишком велики, чистота оборудования все равно будет колебаться.

Для подтверждения партии обычно используется метод полной проверки первой детали плюс выборочный контроль . Первая деталь тестируется одна за другой в соответствии со стандартами первой детали, чтобы подтвердить, что процесс партии соответствует первой детали. Последующие партии будут проверяться выборочно в соответствии с согласованной пропорцией. Элементы выборочной проверки могут быть сосредоточены на показателях, которые оказывают наиболее непосредственное влияние на оборудование : объем воздуха в целевой рабочей точке, равномерность скорости ветра на поверхности воздуховыпускного отверстия, номинальное значение вибрации скорости, а также отображение адреса и регулирования скорости связи управления. Если в ходе выборочной проверки установлено, что определенный показатель отклоняется от первого эталона и превышает допустимый диапазон, коэффициент выборочной проверки следует расширить или вернуть к полной проверке.

Решение о подтверждении партии основано на контрольных данных, заархивированных первым устройством, а не на номинальном значении в каталоге. Объем воздуха первого агрегата может составлять 600 м³/ч при противодавлении оборудования. Для выборки партий допустимое отклонение устанавливается около 600 вместо того, чтобы принимать 800 для выборки в качестве квалификационной линии. Протоколы выборочного контроля сравниваются с данными первой единицы, партии с отклонениями в пределах согласованного диапазона выпускаются, а партии с отклонениями за пределы допуска определяются после выяснения причин. Aili Industrial организует производство согласно утвержденной конфигурации первого агрегата при серийной поставке ЭФУ. Данные выборочной проверки сравниваются с контрольными показателями первого устройства, а параметры управления и интерфейсы установки соответствуют один за другим в соответствии со схемой подтверждения.

Недоразумения, которых следует избегать

Следует избегать использования данных прототипа для непосредственного выпуска первой единицы. Прототип разрешен для отладки, но первая единица представляет статус пакета; следует избегать того, чтобы первый блок измерял только мономер ЭФУ без проверки блокировки с основным устройством управления оборудованием; следует избегать того, чтобы при проверке партии в качестве аттестационной линии использовались рейтинги журнала образцов без учета фактического контрольного показателя первой единицы, находящейся под противодавлением оборудования; следует избегать того, чтобы при выборочной проверке измерялся только объем воздуха, но не распределение скорости ветра и вибрация. Влияние этих трех факторов на оборудование для обработки пластин одинаково непосредственное. Суть проверки проекта EFU заключается не в том, что «определенная машина была испытана», а в направлении прототипа, эталоне первой машины и эталоне партии. Данные на трех этапах образуют отслеживаемую цепочку.

Связанные вопросы и ответы

Можно ли объединить прототип и первую машину в один этап?
Не рекомендуется. Цель прототипов — выявить проблемы проектирования и обеспечить возможность внесения модификаций, при этом первый модуль представляет собой окончательное состояние поставки. В случае объединения временные изменения на стадии прототипа могут быть перенесены в партию, или первая единица может не иметь базового значения, поскольку ее «нужно изменить». Когда структура оборудования относительно проста и конфигурация ЭФУ близка к стандартной модели, интервал между двумя этапами можно сократить, но запись необходимо разделить.

Должна ли первая проверка выполнять весь технологический цикл?
По крайней мере, необходимо охватить типичные рабочие состояния ЭФУ в оборудовании: ранний запуск, переключение скоростей, задержку выключения и имитацию прерывания связи. Полный цикл технологической проверки оборудования для обработки пластин является длительным. Первая проверка EFU может быть сосредоточена на ответе и связке самого EFU, не дожидаясь завершения процесса проверки всей машины. Однако подтверждение логики связи должно быть завершено на первом этапе и не может быть оставлено до партии.

Сколько единиц продукции будет отобрано для проверки партии?
Зависит от размера пакета и дисперсии первых данных. При небольших партиях (например, менее 10 единиц) первая единица может быть проверена полностью, а 1-2 единицы могут быть выбраны случайным образом из остальных; для более крупных партий выборочно могут быть проверены 5–10% единиц, но не менее 2 единиц. Если при выборочной проверке будет установлено, что показатель близок к пределу допустимого отклонения, то выборочную проверку следует расширить. Конкретная пропорция может быть согласована в технологическом соглашении о закупках.

Похожие статьи

Как настроить современное упаковочное оборудование EFU? Ключевые точки чистой зоны, объемной фильтрации воздуха и интерфейса оборудования

Как выбрать фильтр EFU без перегородки? Эффективность, стойкость, герметизация и методы полного соответствия машинному оборудованию

Как выбрать ультратонкий вентилятор EFU? Пространство, объем воздуха, статическое давление, теплоотвод и точки обслуживания.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка выбора и закупок Aili Industrial EFU

Ультратонкий EFU компании Aili Industrial толщиной 70 мм организуется и проверяется в три этапа: прототип, первая единица и партия в проекте оборудования для обработки пластин. На стадии прототипа проверяются объем воздуха и распределение скорости ветра в соответствии с условиями установки оборудования. На первом этапе закрепляется конфигурация и проверяется взаимосвязь с основным управлением оборудования. Проверка партии основана на эталонном тесте первой единицы. Данные об объеме воздуха, повышении температуры и вибрации архивируются вместе с диаграммой подтверждения, что упрощает фабрике оборудования отслеживание соответствия между каждой партией.

Узнайте о продуктах Aili Industrial EFU и индивидуальных конфигурациях. Обратите внимание на компактные модели.Ультратонкий EFU толщиной 70 мм , можно просмотреть всю конструкцию машиныБлок вентиляторного фильтра оборудования ЭФУ , схему управления можно посмотретьБлок фильтра вентилятора оборудования EFU, регулирующий скорость постоянного тока , можно просмотреть нестандартный интерфейсПользовательский ЭФУ . Пожалуйста, предоставьте условия установки оборудования, целевую скорость ветра и ожидаемый размер партии, чтобы облегчить подтверждение образцов для испытаний прототипа и плана проверки первой единицы.