В чем разница между H14 EFU и U15 EFU? Сравнение структуры, производительности, контроля и применимых сценариев

Разницу в образцах между H14 EFU и U15 EFU обычно упрощают до двух чисел эффективности: H14 имеет эффективность фильтрации частиц MPPS ≥ 99,995%, а U15 ≥ 99,9995%. Цифра отличается на порядок, но если при выборе модели смотреть только на эту строку, то легко упустить из виду тот факт, что при увеличении уровня фильтра с H14 до U15 соответственно изменятся и рабочая точка вентилятора, требования к герметизации и применимые чистые зоны ЭФУ. Взаимосвязь между H14 EFU и U15 EFU — это не «одна и та же машина с одной фильтровальной бумагой», а результат взаимодействия характеристик сопротивления фильтра, условий соответствия всей машины и целевого уровня чистоты. Ультратонкий EFU компании Aili Industrial толщиной 70 мм поддерживает конфигурации уровней фильтрации от H13/H14 до U15/U16. Согласование рабочих точек фильтра и вентилятора осуществляется в рамках одной и той же производственной системы, что облегчает производителям оборудования выбор соответствующей комплектной машины в соответствии с уровнем чистой зоны.

Конструктивные различия: меняется класс фильтра, соответственно изменяются условия уплотнения и сопротивления коробки.

Структурные различия между H14 и U15 на уровне фильтра в первую очередь отражаются в материале фильтра и требованиях к испытаниям. H14 принадлежит группе HEPA, а U15 принадлежит группе ULPA. В соответствии с классификационной логикой EN 1822, фильтры как группы H, так и группы U должны быть проверены на утечку один за другим, но требования к локальной степени проникновения группы U более строгие: локальная эффективность H14 составляет ≥99,975%, а U15 — ≥99,9975%. Это означает, что к фильтру U15 предъявляются более высокие требования к контролю качества складывания фильтрующего элемента, уплотнения рамы и клеевых линий, а поверхность уплотнения между коробкой и фильтром также должна соответствовать более низкому допустимому объему утечки.

С точки зрения стойкости улучшение качества фильтра обычно сопровождается изменением структуры фильтрующего материала. На примере пластинчатых фильтров одной и той же марки определенной марки можно заметить различия в начальном сопротивлении между H14 и U15 при одинаковой скорости приземного ветра, а сопротивление моделей с большей глубиной различно. Вентилятор ЭФУ подбирается в соответствии с определенным диапазоном сопротивления. Если вы перейдете с H14 на U15, не проверив при этом рабочую точку вентилятора, фактический объем воздуха может отклониться от расчетного значения. Метод проверки сопротивления фильтра и соответствия вентилятора см.Как выбрать фильтр EFU без перегородки? методы эффективности, сопротивления, уплотнения и полного соответствия машин .Объясняются

Различия в производительности: что означает «половина порядка» в эффективности

С числовой точки зрения, уровень проникновения H14 составляет ≤0,005%, а U15 – ≤0,0005%, что представляет собой десятикратную разницу. При фактическом применении EFU на стороне оборудования важность этого зазора зависит от чувствительности технологической зоны, покрытой поверхностью выхода воздуха EFU, к частицам.

Для внутренней микросреды большинства оборудования H14 EFU в сочетании с разумной организацией ламинарного потока уже может обеспечить локальные условия чистоты уровня ISO 5 или выше. Применимые сценарии для U15 EFU обычно сосредоточены в местах с более строгими требованиями по контролю частиц, например, на ключевых станциях, где пластины подвергаются воздействию в процессе обработки полупроводников, вблизи интерфейса соединения в современной упаковке или в микросреде, связанной с фотолитографией, в секции массива панелей. В этих сценариях одна субмикронная частица может вызвать дефекты, и запас эффективности должен быть шире. Сценарии применения ультратонкого EFU от Aili Industrial толщиной 70 мм охватывают микросреду полупроводникового оборудования, такого как EFEM и порт нагрузки, и поддерживают выбор уровней фильтрации H14 или U15 в зависимости от чистой зоны оборудования.

Но преимущество U15 в эффективности не дается бесплатно. После увеличения сопротивления фильтра вентилятор должен создавать более высокое статическое давление для поддержания заданного объема воздуха, при этом соответственно изменяются энергопотребление и шум. При выборе EFU U15 следует проверять запас по объему воздуха вентилятора при условии конечного сопротивления, а не просто смотреть на значение эффективности на образце фильтра. Информацию о взаимосвязи между рабочей точкой вентилятора и изменением сопротивления см.Как просмотреть кривую производительности вентилятора EFU? объема воздуха, статического давления, мощности и рабочей точки .Описание

Разница в управлении: стратегия регулировки скорости должна соответствовать сопротивлению фильтра.

Разница между H14 EFU и U15 EFU на уровне управления обусловлена ​​влиянием сопротивления фильтра на рабочую точку вентилятора. Если в одном и том же оборудовании имеются зоны H14 и U15, общая команда регулировки скорости может не обязательно соответствовать целевым значениям объема воздуха под обоими фильтрами одновременно. Сопротивление фильтра U15 обычно выше, чем у H14 того же типоразмера, а объем воздуха при той же скорости может быть меньше. Контроллеру необходимо отрегулировать настройку скорости или отображение скорости в соответствии с фактической конфигурацией фильтра.

Для EFU, которые поддерживают связь Modbus, взаимосвязь отображения регулировки скорости должна быть четко обозначена на диаграмме подтверждения: соответствует ли записанное значение проценту скорости вращения или значению скорости ветра, и нужно ли регулировать верхний предел в конфигурации U15. Если EFU использует логику управления постоянным объемом воздуха, контроллер должен иметь возможность определять изменения сопротивления фильтра и автоматически компенсировать скорость вращения, в противном случае объем воздуха будет постепенно уменьшаться после того, как фильтр накапливает пыль. Решение управления промышленным EFU Aili поддерживает связь RS485/Modbus, а параметры регулировки скорости можно настроить в соответствии с уровнем фильтра. Производитель оборудования может перечислить настройки регулировки скорости для областей H14 и U15 отдельно на этапе подтверждения схемы. Информацию о контрольных точках регулирования скорости контроллера и функциях связи см.Что делает контроллер EFU? регулированию скорости, связи, связям и обработке исключений .Инструкции по

Применимые сценарии: H14 охватывает большинство микросред со стороны оборудования, а U15 фокусируется на высокочувствительных рабочих станциях.

H14 EFU имеет более широкий спектр применения. Для общих чистых зон внутри оборудования, зон передаточных механизмов и рабочих станций, чувствительных к частицам, но не подвергающих непосредственному воздействию пластин, H14 обычно может быть удовлетворен разумной конструкцией воздуховодов и скоростью ветра. H14 также является распространенным выбором для очистки оборудования в фармацевтической, медицинской, пищевой и других отраслях промышленности.

U15 EFU больше подходит для сцен с «чрезвычайно низкой устойчивостью к частицам». Ключевые области, где пластины остаются или проходят через переднюю часть полупроводникового оборудования, передовые станции склеивания упаковки и вблизи внутреннего светового пути оборудования для оптического контроля. В этих местах предъявляются более высокие требования к контролю субмикронных частиц, чем в микросредах общего оборудования. Но U15 не является вариантом по умолчанию для всех проектов, связанных с оборудованием: если для чистой зоны внутри оборудования требуется только уровень ISO 5 или более мягкие условия, H14 EFU является более прагматичным с точки зрения сопротивления, энергопотребления и стоимости. О методе разделения чистых зон внутри оборудования см.Как настроить современное упаковочное оборудование EFU? чистых зонах, объемной фильтрации воздуха и точках сопряжения оборудования .Идеи классификации зон в

Недоразумения, которых следует избегать

Следует избегать упрощения разницы между H14 и U15 до показателей эффективности и игнорирования изменений рабочей точки вентилятора. Следует избегать прямой замены проекта H14 на U15 без проверки конечного объема воздуха сопротивления. Следует избегать смешивания H14 и U15 в одном разделе без настройки параметров регулировки скорости отдельно. Следует избегать выбора U15 по умолчанию, когда в чистой зоне оборудования требуется только H14, тем самым увеличивая ненужное сопротивление и энергопотребление. Суть выбора H14 EFU и U15 EFU заключается не в том, «какой класс выше», а в поддающемся проверке соответствии между эффективностью фильтра, характеристиками сопротивления, соответствием вентилятора и целевой чистой площадью.

Связанные вопросы и ответы

При замене EFU H14 на EFU U15 нужно ли заменять вентилятор?
Заменять вентилятор не обязательно, но рабочую точку необходимо перепроверить. Характеристики сопротивления фильтра У15 могут отличаться от характеристик Н14, а объем воздуха может меняться при одной и той же скорости вращения. Если вентилятор все еще может поддерживать целевой объем воздуха при условии конечного сопротивления U15 и оставляет запас, его можно использовать; если запас недостаточен, необходимо скорректировать спецификацию вентилятора или стратегию регулирования скорости.

Все ли области внутри устройства должны использовать U15?
ненужный. В соответствии с чистыми зонами, U15 используется для чувствительных рабочих станций, таких как экспонирование пластин или интерфейсы склеивания, а H14 обычно достаточно для зон передачи или общих микросред. Использование U15 по всей территории увеличит сопротивление фильтра и энергопотребление вентилятора, в то время как преимущества будут сосредоточены на нескольких чувствительных рабочих станциях. Разделенная конфигурация — более прагматичный подход.

В чем разница в управлении между H14 и U15 EFU?
В основном конфигурация отображения регулирования скорости и логика постоянного объема воздуха. Сопротивление U15 находится на стороне высокого давления, и фактический объем воздуха при том же значении команды может быть ниже, чем в конфигурации H14. Контроллеру необходимо отрегулировать настройку скорости в соответствии с уровнем фильтра. Если EFU поддерживает постоянный контроль объема воздуха, вам необходимо подтвердить, может ли контроллер нормально компенсировать это в диапазоне сопротивления U15.

Похожие статьи

Как выбрать фильтр EFU без перегородки? Эффективность, стойкость, герметизация и методы полного соответствия машинному оборудованию

Что делает контроллер EFU? Регулирование скорости, связь, связывание и обработка исключений

Как настроить современное упаковочное оборудование EFU? Ключевые точки чистой зоны, объемной фильтрации воздуха и интерфейса оборудования

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка выбора и закупок Aili Industrial EFU

Ультратонкий EFU компании Aili Industrial толщиной 70 мм поддерживает конфигурацию уровня фильтрации от H13/H14 до U15/U16. Рабочие точки фильтра и вентилятора можно проверить по уровням на диаграмме подтверждения, а параметры регулировки скорости можно настроить по разделам. Завод оборудования может предоставить требования к уровню фильтрации для каждой зоны в соответствии с чистой зоной. Aili Industrial подберет соответствующие спецификации вентилятора и настройки скорости, а данные прототипа и подтверждающие чертежи будут заархивированы вместе.

Узнайте о продуктах Aili Industrial EFU и индивидуальных конфигурациях. Обратите внимание на компактные модели.Ультратонкий EFU толщиной 70 мм , можно просмотреть всю конструкцию машиныБлок фильтра вентилятора оборудования EFU , пакет фильтров можно посмотретьВоздушные фильтры HEPA и ULPA , схему управления можно посмотретьБлок фильтра вентилятора оборудования EFU, регулирующий скорость постоянного тока . Пожалуйста, укажите разделение чистых зон оборудования, целевой уровень и расчетное количество каждой зоны, чтобы облегчить подтверждение конфигурации H14/U15 и плана подбора вентиляторов.