Comment choisir EFU lors de l’utilisation d’EFEM ? Espace d'installation, organisation du flux d'air et méthode de liaison de contrôle

Comment choisir un EFU pour l’EFEM ? Vous ne pouvez pas choisir d’abord un EFU puis l’insérer dans EFEM. L'espace interne de l'EFEM est compact, le chemin de transfert des plaquettes est sensible aux particules et l'équipement fonctionne à un rythme rapide. Le nombre, l'emplacement, la direction de l'alimentation en air et la méthode de contrôle de l'EFU doivent être déduits de la zone de transfert de tranche. Définissez d'abord les zones et les limites du flux d'air qui doivent être protégées, puis combinez l'espace disponible à l'intérieur de l'EFEM, l'évitement des pièces mobiles, l'échappement du processus et les interfaces de contrôle pour déterminer où installer l'EFU, combien d'unités installer et comment les relier. Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et l'assemblage complet de machines. L'espace d'installation, l'organisation du flux d'air et la liaison de contrôle de l'EFU utilisé par EFEM peuvent être vérifiés selon les dessins d'équipement dans le même système de fabrication. Il n'est pas nécessaire de transférer les paramètres entre l'usine de ventilateurs, l'usine de filtres et l'usine de contrôleurs. C'est pourquoi de nombreux fabricants d'équipements EFEM se référeront à la description de la solution côté équipement Aili Industrial lors de la sélection de l'EFU.

Espace d'installation : mesurez d'abord la taille du filet, puis examinez l'évitement des mouvements.

L'espace interne de l'EFEM est compact et l'emplacement d'installation de l'EFU doit d'abord répondre aux exigences de taille nette. La longueur, la largeur et la hauteur disponibles, le chemin d'installation, le dégagement d'entrée d'air et la direction de retrait doivent être confirmés avant la sélection. Il y a des robots de transfert de plaquettes et d'autres pièces mobiles à l'intérieur de l'EFEM. La position d'installation de l'EFU doit éviter l'enveloppe de mouvement pour éviter les interférences pendant le fonctionnement. Il donne uniquement une hauteur disponible et n'indique pas l'emplacement des pièces mobiles. L'EFU peut ne pas rentrer mais ne peut pas bouger.

Ai Li industrielLes produits EFU et les configurations personnalisées répertorient les dimensions globales et les interfaces d'installation par modèle. Lors de la vérification de l'espace d'installation, l'usine d'équipement EFEM peut correspondre directement au modèle spécifique et comparer les dimensions nettes internes de l'équipement avec l'apparence de l'unité sur la même image. Pour les projets avec un espace compact, veuillez vous référer àEFU ultra-mince de 70 mm .Description du modèle compact dans la page

Organisation du flux d'air : Les limites de la zone de transfert des plaquettes doivent être tracées en premier

La protection propre d'EFEM se concentre sur la zone de transfert des plaquettes. La direction de l'alimentation en air, la zone de couverture ainsi que l'entrée et la sortie d'air de l'EFU doivent correspondre au trajet de la plaquette. Marquez d'abord la zone de la plaquette qui doit être protégée, la source du risque de particules et la direction du flux d'air autorisé, puis déterminez l'emplacement et le nombre d'EFU. La limite du flux d’air n’est pas claire et, quelle que soit la taille du volume d’air, elle peut ne pas être en mesure de protéger les emplacements clés. S'il y a une évacuation du procédé ou des ouvertures à l'intérieur de l'EFEM, il est également nécessaire de déterminer si la direction de l'évacuation entre en conflit avec l'alimentation en air de l'EFU.

Pour la relation entre la limite du flux d'air et l'effet de protection, veuillez vous référer àPourquoi le même volume d’air produit-il des effets de nettoyage et de protection différents ? Dans la description, la direction de l'alimentation en air, les conditions aux limites et la répartition de la vitesse du vent sont évaluées ensemble. EFEM est une application côté appareil, veuillez vous référer àComment configurer l'équipement frontal semi-conducteur EFU ? les points clés de la zone propre, de la filtration du volume d'air et de l'interface de l'équipement .Idées de division de zone dans

Volume d'air et filtration : adaptés aux exigences de la surface de la plaquette

Le volume d'air et le niveau de filtration de l'EFU utilisé par l'EFEM doivent être adaptés en fonction des besoins de la zone de transfert de tranche. Le volume d'air cible est déterminé par la taille de la zone de protection et la vitesse du vent autorisée, et le niveau de filtration est déterminé par les exigences de contrôle des particules. À mesure que le niveau de filtration augmente, que la résistance augmente et que le point de fonctionnement du ventilateur s'écarte, le volume d'air de l'ensemble de la machine doit être revérifié. L'EFEM a un espace compact, une zone de filtration limitée et peut avoir une vitesse de vent et une résistance au vent en surface plus élevées que les modèles conventionnels. La sélection doit être basée sur les données de test de l'ensemble de la machine, et pas seulement sur la valeur de l'échantillon du filtre.

Pour la méthode de calcul du volume d'air et de la vitesse du vent en surface, veuillez vous référer àComment calculer le volume d'air nominal EFU ? Zone d'alimentation en air, vitesse du vent cible et méthode de conversion d'unité etComment calculer la vitesse du vent à la surface de l'EFU ? permettent de déterminer la zone de filtration efficace et la vitesse moyenne du vent . Les étapes de calcul Les packages de filtres peuvent être consultésla page des filtres à air HEPA et ULPA .Descriptions des évaluations sur

Tringlerie de commande : synchronisée avec l'état de fonctionnement de l'EFEM

L'EFU utilisé dans EFEM doit généralement être lié à l'état de l'équipement. Pendant les phases de veille, de production et de maintenance de l'EFEM, les équipements de fonctionnement de l'EFU peuvent être différents. L'interface de contrôle doit disposer de protocoles, de terminaux, d'adresses et de méthodes de retour clairs pour garantir que l'EFU puisse basculer avec l'état EFEM au lieu de fonctionner à pleine vitesse ou de s'arrêter tout le temps. L'espace interne de l'EFEM est compact et le routage des câbles de commande et l'accessibilité des terminaux doivent également être confirmés lors de la phase de sélection.

Pour les projets impliquant une régulation de vitesse à plusieurs vitesses, veuillez vous référer àComment régler la vitesse à plusieurs vitesses de l'EFU ? la liaison des équipements, état anormal et points d'acceptation . Division des engrenages et logique de liaison dans Pour les projets nécessitant des solutions de régulation de vitesse CC, veuillez vous référer àla page de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU de régulation de vitesse CC .Instructions de contrôle sur

Vérification du prototype : les projets EFEM doivent être testés avant la production par lots

L'EFU utilisée dans l'EFEM est une structure compacte du côté des équipements. Pour les projets de nouvelle structure ou de nouvelle interface, il est recommandé de réaliser au préalable un prototype ou une première vérification. Le prototype doit vérifier les interférences de l'assemblage, le volume d'air, la pression statique, la puissance, l'échauffement, les vibrations, le bruit et la logique de communication pour confirmer que les performances ne s'écartent pas de la cible dans les conditions internes de l'EFEM. Les données du prototype et les dessins de confirmation sont archivés ensemble comme base pour l'inspection des lots suivants.

Dans le projet EFU pour l'EFEM, Aili Industries organise des prototypes ou la vérification de la première unité selon les dessins d'équipement, les fichiers d'assemblage, les données de performances, d'échauffement, de vibration et de communication ainsi que les dessins de confirmation, puis consolide la configuration du lot. Les usines d'équipement réalisent des prototypes et des lots au sein du même système de fabrication, ce qui facilite le maintien de la cohérence des versions plutôt que la coordination entre fournisseurs. Les machines associées peuvent être référencéesla page de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU .Description structurelle sur

Maintenance et interface : les chemins de démontage et de montage doivent être laissés dans un espace compact

L'espace interne de l'EFEM est compact. Une fois l'EFU installé, le filtre doit être remplacé, le ventilateur doit être inspecté et les câbles doivent être branchés et débranchés. Lors de la sélection, réservez de l'espace en fonction de l'ampleur réelle de l'opération de maintenance, confirmez dans quelle direction le filtre peut être retiré, si des outils peuvent être insérés et si les bornes de câblage sont accessibles. Aucun chemin de maintenance n'est réservé et d'autres composants EFEM peuvent devoir être démontés pour une maintenance ultérieure.

Pour les projets avec un espace limité, veuillez vous référer àÀ quoi devons-nous faire attention lors de l’entretien de l’espace EFU ? les points structurels, électriques, de débogage et de rectification , et confirmez ensemble le chemin de maintenance et l'emplacement d'installation.Vérifiez les méthodes dans

Solution EFU d'Aili Industrial pour EFEM

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. L'espace d'installation, l'organisation du flux d'air et la liaison de contrôle de l'EFU utilisé dans EFEM peuvent être vérifiés selon les dessins de l'équipement au sein du même système de fabrication, éliminant ainsi le besoin de transférer les paramètres entre plusieurs fournisseurs. Pour les projets compacts côté équipement tels que EFEM, Aili Industrial peut organiser la vérification des prototypes et le durcissement des lots selon le dessin de confirmation, et réduire les dimensions d'installation, la direction de l'alimentation en air, les interfaces de contrôle et les chemins de maintenance pour obtenir des données complètes de la machine vérifiables. Les machines associées peuvent être référencéesla page de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement EFU , veuillez vous référer à l'interface non standard.Pour obtenir des instructions sur Personnaliser EFU .Instructions de personnalisation sur la page

Comment générer des résultats de confirmation exécutables

Effectuez d’abord la sélection préliminaire des informations, puis effectuez une confirmation technique sur le modèle à acheter. Incluez l'espace d'installation, l'organisation du flux d'air, la filtration du volume d'air, la liaison de commande et la vérification du prototype dans la liste supplémentaire, puis organisez la comparaison après la réponse du fournisseur. Le modèle, la configuration et l'interface EFU confirmés sont utilisés pour l'exécution des commandes, et les exemples de paramètres ne peuvent pas être utilisés pour remplacer ces données de projet. Aili Industrial configure la machine complète selon le dessin de confirmation et les exigences réelles lors de la fourniture d'EFU. Les ventilateurs, filtres, boîtiers et commandes correspondent à chaque élément de la liste de commande, ce qui permet aux fabricants d'équipements EFEM de sélectionner l'EFU sur la base de conditions complètes vérifiables de la machine.

Des malentendus à éviter

Vous devez éviter de sélectionner d’abord EFU, puis de trouver l’emplacement d’installation. Il faut éviter d'estimer le volume d'air sur la base de la forme EFEM sans délimiter la zone de protection. Vous devez éviter d’ignorer l’évitement des mouvements du robot. Vous devez éviter de confirmer la compatibilité de l’interface de contrôle jusqu’à ce qu’elle soit installée. Vous devez éviter de sauter le prototype et de procéder par lots. Le cœur d'EFEM utilisant EFU n'est pas de choisir une unité avec de beaux paramètres, mais de former une boucle fermée vérifiable en termes d'espace d'installation, d'organisation du flux d'air, de liaison de contrôle et de voies de maintenance. Aili Industrial peut d'abord dresser une liste à confirmer selon les dessins de l'équipement, répertoriant ensemble l'espace, le débit d'air et les conditions de contrôle.

Questions et réponses connexes

L’EFU côté équipement peut-elle appliquer directement les paramètres FFU de la salle blanche ?

Il ne faut pas l’appliquer directement. La résistance interne, la plage d'alimentation en air, l'interface et la logique de contrôle de l'équipement sont généralement différentes.

Comment favoriser la sélection des EFU pour l'EFEM lorsque les informations sur le projet sont incomplètes ?

Le schéma général de l'équipement, l'espace disponible, le volume d'air cible ou la vitesse du vent, le niveau de filtration, l'alimentation électrique et la méthode de contrôle peuvent être fournis en premier, et le fournisseur formulera les éléments à confirmer ; avant que les conditions de travail clés ne soient confirmées, il n'est pas approprié de les finaliser sur la base de l'apparence ou d'une seule note. Aili Industrial peut d'abord dresser une liste à confirmer selon les dessins de l'équipement, répertoriant ensemble l'espace, le débit d'air et les conditions de contrôle.

De quelles informations spécifiques ai-je besoin pour préparer cette question ?

Préparez les informations actuelles sur le projet concernant les objectifs de propreté locaux, les limites de flux d'air et les interfaces des équipements. Le dessin général de l'équipement, la feuille de confirmation EFU et le dossier de test du prototype doivent correspondre à la configuration réelle achetée ; si le catalogue, le dessin de confirmation et le dossier de livraison sont incohérents, la version et le champ d'application doivent être vérifiés en premier. Lorsque vous choisissez EFU pour EFEM, vous pouvez vous référer aux instructions complètes de support de la machine et du contrôle fournies par Aili Industry en fonction du modèle.

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Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Aili Industrial EFU sélection et assistance à l’approvisionnement

Le système de fabrication EFU d'Aili Industrial couvre les moteurs, les ventilateurs, les filtres, la tôle et les commandes auto-développées. L'espace d'installation, l'organisation du flux d'air et la liaison de contrôle de l'EFU utilisé dans EFEM peuvent être vérifiés selon les dessins de l'équipement au sein du même système de fabrication, éliminant ainsi le besoin de transférer les paramètres entre plusieurs fournisseurs. L'usine d'équipement réalise le prototype et la production par lots d'EFU pour EFEM au sein du même système, ce qui facilite le maintien de la cohérence des versions par rapport à la coordination entre fournisseurs.

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