Làm cách nào để chọn EFU khi sử dụng EFEM? Không gian lắp đặt, tổ chức luồng không khí và phương pháp liên kết điều khiển

Làm cách nào để chọn EFU cho EFEM? Bạn không thể chọn EFU trước rồi chèn nó vào EFEM. Không gian bên trong của EFEM nhỏ gọn, đường truyền wafer nhạy cảm với các hạt và thiết bị hoạt động với tốc độ nhanh. Số lượng, vị trí, hướng cấp khí và phương pháp điều khiển của EFU phải được suy ra từ vùng chuyển wafer. Trước tiên, hãy xác định các khu vực và ranh giới luồng không khí cần được bảo vệ, sau đó kết hợp không gian có sẵn bên trong EFEM, tránh các bộ phận chuyển động, xử lý khí thải và giao diện điều khiển để xác định vị trí lắp đặt EFU, số lượng thiết bị cần lắp đặt và cách liên kết chúng. Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Không gian lắp đặt, tổ chức luồng không khí và liên kết điều khiển của EFU được EFEM sử dụng có thể được kiểm tra theo bản vẽ thiết bị trong cùng hệ thống sản xuất. Không cần phải truyền thông số qua lại giữa nhà máy quạt, nhà máy lọc và nhà máy điều khiển. Đây là lý do tại sao nhiều nhà sản xuất thiết bị EFEM sẽ tham khảo mô tả giải pháp phía thiết bị Công nghiệp Aili khi chọn EFU.

Không gian lắp đặt: đo kích thước lưới trước, sau đó xem xét khả năng tránh dịch chuyển

Không gian bên trong của EFEM nhỏ gọn và vị trí lắp đặt của EFU trước tiên phải đáp ứng các yêu cầu về kích thước mạng. Chiều dài, chiều rộng và chiều cao có sẵn, đường lắp đặt, khe hở không khí vào và hướng tháo phải được xác nhận trước khi lựa chọn. Bên trong EFEM có các robot chuyển tấm bán dẫn và các bộ phận chuyển động khác. Vị trí lắp đặt EFU phải tránh đường bao chuyển động để tránh nhiễu trong quá trình vận hành. Nó chỉ đưa ra chiều cao sẵn có và không cho biết vị trí của các bộ phận chuyển động. EFU có thể không vừa nhưng không thể di chuyển.

công nghiệp Ái LýCác sản phẩm EFU và cấu hình tùy chỉnh liệt kê các kích thước tổng thể và giao diện cài đặt theo kiểu máy. Khi kiểm tra không gian lắp đặt, nhà máy sản xuất thiết bị EFEM có thể đối chiếu trực tiếp với mẫu máy cụ thể và so sánh kích thước lưới bên trong của thiết bị với hình dáng bên ngoài của thiết bị trên cùng một hình ảnh. Với những dự án có không gian nhỏ gọn hãy tham khảoEFU siêu mỏng 70mm .Mô tả mô hình nhỏ gọn trong trang

Tổ chức luồng không khí: Trước tiên phải vẽ ranh giới của khu vực chuyển wafer

Khả năng bảo vệ sạch sẽ của EFEM tập trung vào khu vực truyền wafer. Hướng cấp khí, vùng phủ sóng, cửa vào và cửa ra không khí của EFU phải tương ứng với đường dẫn của tấm bán dẫn. Trước tiên, hãy đánh dấu khu vực tấm bán dẫn cần được bảo vệ, nguồn rủi ro hạt và hướng luồng không khí được phép, sau đó xác định vị trí và số lượng EFU. Ranh giới luồng không khí không rõ ràng và cho dù lượng không khí lớn đến đâu, nó cũng có thể không bảo vệ được các vị trí quan trọng. Nếu có quá trình xả hoặc các lỗ hở bên trong EFEM, thì cũng cần xác định xem hướng xả có xung đột với nguồn cung cấp không khí EFU hay không.

Để biết mối quan hệ giữa ranh giới luồng không khí và hiệu quả bảo vệ, vui lòng tham khảoTại sao cùng một thể tích không khí lại tạo ra hiệu quả làm sạch và bảo vệ khác nhau? Trong mô tả, hướng cấp không khí, điều kiện biên và phân bố tốc độ gió được đánh giá cùng nhau. EFEM là một ứng dụng phía thiết bị, vui lòng tham khảoLàm cách nào để định cấu hình EFU thiết bị đầu cuối bán dẫn? những điểm chính là khu vực sạch sẽ, lọc thể tích không khí và giao diện thiết bị .Ý tưởng phân chia khu vực ở

Khối lượng không khí và lọc: phù hợp theo yêu cầu diện tích wafer

Thể tích không khí và mức lọc của EFU được EFEM sử dụng phải phù hợp theo nhu cầu của khu vực chuyển wafer. Thể tích không khí mục tiêu được xác định bởi kích thước khu vực bảo vệ và tốc độ gió cho phép, đồng thời mức độ lọc được xác định bởi các yêu cầu kiểm soát hạt. Khi mức lọc tăng, điện trở tăng và điểm vận hành của quạt bị lệch, cần phải kiểm tra lại lượng không khí của toàn bộ máy. EFEM có không gian nhỏ gọn, diện tích lọc hạn chế và có thể có tốc độ và sức cản gió bề mặt cao hơn các mẫu thông thường. Việc lựa chọn phải dựa trên dữ liệu thử nghiệm của toàn bộ máy chứ không chỉ giá trị mẫu bộ lọc.

Để biết phương pháp tính toán thể tích không khí và tốc độ gió bề mặt, vui lòng tham khảoLàm thế nào để tính toán lượng không khí định mức EFU? Diện tích cấp không khí, tốc độ gió mục tiêu và phương pháp chuyển đổi đơn vị vàLàm thế nào để tính tốc độ gió bề mặt EFU? cách xác định diện tích lọc hiệu quả và tốc độ gió trung bình . Các bước tính toán Các gói bộ lọc có thể được xemlọc không khí HEPA so với ULPA .Mô tả xếp hạng trên trang bộ

Liên kết điều khiển: đồng bộ với trạng thái vận hành EFEM

EFU được sử dụng trong EFEM thường cần được liên kết với trạng thái thiết bị. Trong các giai đoạn chờ, sản xuất và bảo trì của EFEM, thiết bị vận hành của EFU có thể khác nhau. Giao diện điều khiển phải có các giao thức, thiết bị đầu cuối, địa chỉ và phương thức phản hồi rõ ràng để đảm bảo EFU có thể chuyển đổi ở trạng thái EFEM thay vì chạy hết tốc độ hoặc tắt liên tục. Không gian bên trong của EFEM nhỏ gọn và việc định tuyến cáp điều khiển cũng như khả năng tiếp cận đầu cuối cũng phải được xác nhận trong giai đoạn lựa chọn.

Đối với các dự án liên quan đến điều chỉnh tốc độ đa tốc độ, vui lòng tham khảoLàm cách nào để thiết lập điều chỉnh tốc độ đa tốc độ EFU? liên kết thiết bị, trạng thái bất thường và điểm chấp nhận . Logic phân chia bánh răng và liên kết trong Đối với các dự án yêu cầu giải pháp điều chỉnh tốc độ DC, vui lòng tham khảotrang bộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC .Hướng dẫn điều khiển trên

Xác minh nguyên mẫu: Các dự án EFEM phải được thử nghiệm trước khi sản xuất hàng loạt

EFU được sử dụng trong EFEM là một cấu trúc nhỏ gọn về phía thiết bị. Đối với các dự án cấu trúc hoặc giao diện mới, trước tiên nên tạo nguyên mẫu hoặc xác minh lần đầu. Nguyên mẫu phải kiểm tra độ nhiễu của cụm, thể tích không khí, áp suất tĩnh, công suất, mức tăng nhiệt độ, độ rung, tiếng ồn và logic giao tiếp để xác nhận rằng hiệu suất không sai lệch so với mục tiêu trong các điều kiện bên trong của EFEM. Dữ liệu nguyên mẫu và bản vẽ xác nhận được lưu trữ chung làm cơ sở cho việc kiểm tra các lô tiếp theo.

Trong dự án EFU cho EFEM, Aili Industries tổ chức các nguyên mẫu hoặc xác minh đơn vị đầu tiên theo bản vẽ thiết bị, lắp ráp tệp, hiệu suất, mức tăng nhiệt độ, độ rung và dữ liệu liên lạc cùng với các bản vẽ xác nhận, sau đó củng cố cấu hình lô. Các nhà máy sản xuất thiết bị hoàn thiện nguyên mẫu và lô trong cùng một hệ thống sản xuất, giúp duy trì tính nhất quán của phiên bản dễ dàng hơn so với việc phối hợp giữa các nhà cung cấp. Các máy liên quan có thể tham khảotrang bộ lọc quạt thiết bị EFU .Mô tả cấu trúc trên

Bảo trì và giao diện: Đường dẫn tháo gỡ và lắp ráp phải được đặt trong một không gian nhỏ gọn

Không gian bên trong của EFEM nhỏ gọn. Sau khi lắp đặt EFU, cần thay bộ lọc, kiểm tra quạt và cắm và rút cáp. Khi chọn, hãy dành không gian tùy theo quy mô thực tế của hoạt động bảo trì, xác nhận xem bộ lọc có thể được tháo ra từ hướng nào, có thể lắp dụng cụ vào hay không và liệu các đầu nối dây có thể tiếp cận được hay không. Không có đường dẫn bảo trì nào được đặt trước và các thành phần EFEM khác có thể cần được tháo rời để bảo trì sau này.

Đối với những dự án có không gian hạn chế, vui lòng tham khảoChúng ta nên chú ý điều gì khi duy trì không gian EFU? các điểm kết cấu, điện, gỡ lỗi và khắc phục , đồng thời xác nhận đường dẫn bảo trì và vị trí lắp đặt cùng nhau.Kiểm tra các phương pháp tại

Giải pháp EFU của Aili Industrial dành cho EFEM

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Không gian lắp đặt, tổ chức luồng không khí và liên kết điều khiển của EFU được sử dụng trong EFEM có thể được kiểm tra theo bản vẽ thiết bị trong cùng một hệ thống sản xuất, loại bỏ nhu cầu chuyển thông số giữa nhiều nhà cung cấp. Đối với các dự án nhỏ gọn về mặt thiết bị như EFEM, Aili Industrial có thể tổ chức xác minh nguyên mẫu và xử lý hàng loạt theo bản vẽ xác nhận, đồng thời giảm kích thước lắp đặt, hướng cấp khí, giao diện điều khiển và đường dẫn bảo trì để có được dữ liệu máy hoàn chỉnh có thể kiểm chứng. Các máy liên quan có thể tham khảotrang bộ lọc quạt thiết bị EFU , vui lòng tham khảo giao diện không chuẩn.Để biết hướng dẫn trên Tùy chỉnh EFU .Hướng dẫn tùy chỉnh trong trang

Cách tạo kết quả xác nhận thực thi

Đầu tiên hãy hoàn thành việc sàng lọc thông tin sơ bộ, sau đó tiến hành xác nhận kỹ thuật trên mẫu máy sẽ mua. Đưa không gian lắp đặt, tổ chức luồng không khí, lọc thể tích không khí, liên kết điều khiển và xác minh nguyên mẫu vào danh sách bổ sung, sau đó tổ chức so sánh sau khi nhà cung cấp phản hồi. Mô hình, cấu hình và giao diện EFU đã được xác nhận được sử dụng để thực hiện đơn hàng và không thể sử dụng các tham số mẫu để thay thế dữ liệu dự án này. Aili Industrial cấu hình máy hoàn chỉnh theo bản vẽ xác nhận và yêu cầu thực tế khi cung cấp EFU. Quạt, bộ lọc, hộp và bộ điều khiển tương ứng với từng hạng mục trong danh sách đặt hàng, điều này tạo điều kiện cho các nhà sản xuất thiết bị EFEM lựa chọn EFU dựa trên các điều kiện máy hoàn chỉnh có thể kiểm chứng được.

Những hiểu lầm cần tránh

Bạn nên tránh chọn EFU trước rồi mới tìm vị trí cài đặt. Bạn nên tránh ước tính thể tích không khí dựa trên hình dạng EFEM mà không phân định khu vực bảo vệ. Bạn nên tránh bỏ qua việc tránh chuyển động của robot. Bạn nên tránh xác nhận tính tương thích của giao diện điều khiển cho đến khi nó được cài đặt. Bạn nên tránh bỏ qua nguyên mẫu và làm theo đợt. Cốt lõi của EFEM sử dụng EFU không phải là chọn một thiết bị có thông số đẹp mà là tạo thành một vòng khép kín có thể kiểm chứng được về không gian lắp đặt, tổ chức luồng khí, liên kết điều khiển và đường dẫn bảo trì. Trước tiên, Aili Industrial có thể lập danh sách cần xác nhận theo bản vẽ thiết bị, liệt kê không gian, luồng không khí và các điều kiện kiểm soát cùng nhau.

Câu hỏi và câu trả lời liên quan

EFU phía thiết bị có thể áp dụng trực tiếp các thông số FFU phòng sạch không?

Nó không nên được áp dụng trực tiếp. Điện trở trong, phạm vi cung cấp không khí, giao diện và logic điều khiển của thiết bị thường khác nhau.

Làm cách nào để thúc đẩy việc lựa chọn EFU cho EFEM khi thông tin dự án chưa đầy đủ?

Sơ đồ chung của thiết bị, không gian sẵn có, thể tích không khí mục tiêu hoặc tốc độ gió, mức lọc, phương pháp điều khiển và cung cấp điện có thể được cung cấp trước và nhà cung cấp sẽ xây dựng các hạng mục cần được xác nhận; trước khi các điều kiện làm việc chính được xác nhận, việc hoàn thiện dựa trên hình thức bên ngoài hoặc một đánh giá duy nhất là không phù hợp. Trước tiên, Aili Industrial có thể lập danh sách cần xác nhận theo bản vẽ thiết bị, liệt kê không gian, luồng không khí và các điều kiện kiểm soát cùng nhau.

Tôi cần chuẩn bị những thông tin cụ thể nào cho câu hỏi này?

Chuẩn bị thông tin dự án hiện tại xung quanh các mục tiêu làm sạch cục bộ, ranh giới luồng không khí và giao diện thiết bị. Bản vẽ chung của thiết bị, bảng xác nhận EFU và hồ sơ kiểm tra nguyên mẫu phải tương ứng với cấu hình thực tế đã mua; nếu danh mục, bản vẽ xác nhận và biên bản giao hàng không nhất quán thì trước tiên phải xác định rõ phiên bản và phạm vi áp dụng. Khi chọn EFU cho EFEM, bạn có thể tham khảo hướng dẫn hỗ trợ máy và điều khiển hoàn chỉnh do Aili Industry cung cấp theo từng model.

Bài viết liên quan

Làm cách nào để định cấu hình EFU thiết bị đầu cuối bán dẫn? Các điểm chính của khu vực sạch sẽ, lọc thể tích không khí và giao diện thiết bị

Làm cách nào để xác nhận vị trí cài đặt EFU? Bản vẽ thiết bị, điều kiện lắp đặt và phương pháp nghiệm thu

Làm cách nào để thiết lập điều chỉnh tốc độ đa tốc độ EFU? Liên kết thiết bị, trạng thái bất thường và điểm chấp nhận

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ lựa chọn và mua sắm EFU công nghiệp Aili

Hệ thống sản xuất EFU của Aili Industrial bao gồm động cơ, quạt, bộ lọc, tấm kim loại và bộ điều khiển tự phát triển. Không gian lắp đặt, tổ chức luồng không khí và liên kết điều khiển của EFU được sử dụng trong EFEM có thể được kiểm tra theo bản vẽ thiết bị trong cùng một hệ thống sản xuất, loại bỏ nhu cầu chuyển thông số giữa nhiều nhà cung cấp. Nhà máy thiết bị hoàn thiện nguyên mẫu và sản xuất hàng loạt EFU cho EFEM trong cùng một hệ thống, giúp duy trì tính nhất quán của phiên bản dễ dàng hơn so với việc phối hợp giữa các nhà cung cấp.

học hỏiCác sản phẩm EFU công nghiệp của Aili và cấu hình tùy chỉnh , có thể xem cấu trúc máy hoàn chỉnhBộ lọc quạt thiết bị EFU , giao diện không chuẩn có thể được xemEFU tùy chỉnh , sơ đồ điều khiển có thể được xembộ lọc quạt thiết bị EFU điều chỉnh tốc độ DC , gói bộ lọcCó thể xem Bộ lọc không khí HEPA và ULPA . Vui lòng gửi các hạng mục kiểm tra, cách sử dụng thiết bị và số lượng ước tính trong bài viết này để tạo điều kiện xác nhận mẫu mã và phạm vi cung cấp tương ứng.