Как выбрать EFU при использовании EFEM? Место для установки, организация воздушного потока и способ подключения управления

Как выбрать ЭФУ для EFEM? Вы не можете сначала выбрать EFU, а затем вставить его в EFEM. Внутреннее пространство EFEM компактно, путь передачи пластин чувствителен к частицам, а оборудование работает в быстром темпе. Количество, расположение, направление подачи воздуха и метод управления ЭФУ должны быть определены на основе зоны переноса пластин. Сначала определите области и границы воздушного потока, которые необходимо защитить, а затем объедините доступное пространство внутри EFEM, отсутствие движущихся частей, выхлопные газы процесса и интерфейсы управления, чтобы определить, где установить EFU, сколько блоков установить и как их связать. Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и полную сборку машин. Место для установки, организация воздушного потока и связь управления EFU, используемым EFEM, можно проверить по чертежам оборудования в той же производственной системе. Нет необходимости передавать параметры между заводом-изготовителем вентиляторов, заводом-изготовителем фильтров и заводом-контроллером. Вот почему многие производители оборудования EFEM при выборе EFU обращаются к описанию решения для промышленного оборудования Aili.

Место для установки: сначала измерьте размер сетки, затем обратите внимание на предотвращение смещения.

Внутреннее пространство EFEM компактно, и место установки EFU должно в первую очередь соответствовать требованиям к размеру сети. Перед выбором необходимо подтвердить имеющуюся длину, ширину и высоту, путь установки, зазор для воздухозаборника и направление снятия. Внутри EFEM находятся роботы для переноса пластин и другие движущиеся части. Положение установки EFU должно исключать зону движения, чтобы избежать помех во время работы. Он указывает только доступную высоту и не указывает расположение движущихся частей. EFU может не вписаться, но не может двигаться.

Ай Ли ИндастриалДля продуктов EFU и индивидуальных конфигураций указаны габаритные размеры и интерфейсы установки по моделям. При проверке места установки завод оборудования EFEM может напрямую соответствовать конкретной модели и сравнить внутренние размеры оборудования с внешним видом устройства на той же фотографии. Для проектов с компактным пространством см.ультратонкого EFU толщиной 70 мм .Описание компактной модели на странице

Организация воздушного потока: в первую очередь необходимо провести границы зоны переноса пластин.

Чистая защита EFEM сосредоточена на зоне переноса пластин. Направление подачи воздуха, зона покрытия, а также вход и выход воздуха из EFU должны соответствовать пути прохождения пластины. Сначала отметьте область пластины, которую необходимо защитить, источник риска частиц и допустимое направление потока воздуха, а затем определите расположение и количество ЭФУ. Граница воздушного потока неясна, и независимо от того, насколько велик объем воздуха, он может оказаться не в состоянии защитить ключевые места. Если внутри EFEM имеется технологический выхлоп или отверстия, необходимо также определить, не противоречит ли направление выхлопа направлению подачи воздуха в EFU.

Информацию о взаимосвязи между границей воздушного потока и защитным эффектом см.Почему один и тот же объем воздуха оказывает разное очищающее и защитное действие? В описании совместно оцениваются направление подачи воздуха, граничные условия и распределение скорости ветра. EFEM — это приложение на стороне устройства, см.Как настроить полупроводниковое оборудование EFU? ключевым точкам: чистая зона, фильтрация объема воздуха и интерфейс оборудования .Идеи разделения зон по

Объем воздуха и фильтрация: подбираются в соответствии с требованиями к зоне пластин.

Объем воздуха и уровень фильтрации EFU, используемого EFEM, должны соответствовать потребностям зоны передачи пластин. Целевой объем воздуха определяется размером защитной зоны и допустимой скоростью ветра, а уровень фильтрации определяется требованиями контроля частиц. По мере увеличения уровня фильтрации, роста сопротивления и отклонения рабочей точки вентилятора необходимо перепроверить объем воздуха всей машины. EFEM имеет компактное пространство, ограниченную площадь фильтрации и может иметь более высокую скорость и сопротивление приземному ветру, чем обычные модели. Выбор должен основываться на данных испытаний всей машины, а не только на значениях выборки фильтра.

Метод расчета объема воздуха и скорости приземного ветра см.Как рассчитать номинальный объем воздуха EFU? Зона подачи воздуха, целевая скорость ветра и метод преобразования единиц измерения , а такжеКак рассчитать скорость приземного ветра EFU? как определить эффективную площадь фильтрации и среднюю скорость ветра . Этапы расчета заключаются в том, Пакеты фильтров можно посмотретьвоздушных фильтров HEPA и ULPA .Описания номиналов на странице

Связь управления: синхронизирована с рабочим состоянием EFEM

EFU, используемый в EFEM, обычно должен быть связан с состоянием оборудования. На этапах ожидания, производства и технического обслуживания EFEM рабочий механизм EFU может быть другим. Интерфейс управления должен иметь четкие протоколы, клеммы, адреса и методы обратной связи, чтобы гарантировать, что EFU может переключаться в состояние EFEM, а не работать на полной скорости или постоянно отключаться. Внутреннее пространство EFEM компактно, поэтому прокладку кабеля управления и доступность клемм также необходимо подтвердить на этапе выбора.

Информацию о проектах, включающих многоскоростное регулирование скорости, см.Как настроить многоскоростную регулировку скорости EFU? подключении оборудования, нештатное состояние и точки приемки . Логика разделения передач и связей при Для проектов, требующих решений по регулированию скорости постоянного тока, см.блока фильтров вентилятора оборудования ЭФУ, регулирующего скорость постоянного тока .Инструкции по управлению на странице

Проверка прототипа: проекты EFEM должны быть протестированы перед серийным производством

EFU, используемый в EFEM, представляет собой компактную конструкцию со стороны оборудования. Для проектов новой структуры или нового интерфейса рекомендуется сначала создать прототип или провести первую проверку. Прототип должен проверить помехи сборки, объем воздуха, статическое давление, мощность, повышение температуры, вибрацию, шум и логику связи, чтобы подтвердить, что характеристики не отклоняются от целевых во внутренних условиях EFEM. Данные прототипа и подтверждающие чертежи архивируются вместе и служат основой для проверки последующих партий.

В проекте EFU для EFEM Aili Industries организует прототипы или первую проверку устройства в соответствии с чертежами оборудования, файлами сборки, производительностью, превышением температуры, вибрацией и данными связи вместе с подтверждающими чертежами, а затем утверждает конфигурацию партии. Заводы по производству оборудования комплектуют прототипы и партии в рамках одной и той же производственной системы, что упрощает поддержание согласованности версий по сравнению с координацией между поставщиками. Сопутствующие машины можно отнести квентиляторно-фильтровального блока оборудования ЭФУ .Конструктивное описание на странице

Техническое обслуживание и интерфейс: пути разборки и сборки должны быть оставлены в компактном пространстве.

Внутреннее пространство EFEM компактно. После установки ЭФУ необходимо заменить фильтр, осмотреть вентилятор, а также подключить и отсоединить кабели. При выборе зарезервируйте место в соответствии с фактическим объемом работ по техническому обслуживанию, подтвердите, с какой стороны можно снять фильтр, можно ли вставить инструменты и доступны ли клеммы проводки. Путь обслуживания не зарезервирован, и для последующего обслуживания может потребоваться разборка других компонентов EFEM.

Для проектов с ограниченным пространством см.На что следует обратить внимание при сохранении пространства ЕФУ? структурных, электрических, отладочных и ремонтных точках , а также подтвердите путь обслуживания и место установки вместе.Проверьте методы в

Решение EFU от Aili Industrial для EFEM

Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и элементы управления собственной разработки. Место для установки, организация воздушного потока и связь управления ЭФУ, используемым в EFEM, могут быть проверены по чертежам оборудования в рамках одной производственной системы, что исключает необходимость передачи параметров между несколькими поставщиками. Для компактных проектов со стороны оборудования, таких как EFEM, Aili Industrial может организовать проверку прототипа и периодическую обработку в соответствии с подтверждающим чертежом, а также сократить установочные размеры, направление подачи воздуха, интерфейсы управления и пути обслуживания до проверяемых полных данных о машине. Сопутствующие машины можно отнести кблока фильтра вентилятора оборудования EFU см. в нестандартном интерфейсе.Инструкции на странице «Настройка EFU» .Инструкции по настройке на странице

Как сформировать исполняемые результаты подтверждения

Сначала выполните предварительную проверку информации, а затем проведите техническое подтверждение приобретаемой модели. Включите в дополнительный список место для установки, организацию воздушного потока, объемную фильтрацию воздуха, связь управления и проверку прототипа, а затем организуйте сравнение после ответа поставщика. Для выполнения заказа используются подтвержденная модель, конфигурация и интерфейс EFU, а образцы параметров не могут быть использованы для замены данных проекта. Aili Industrial настраивает всю машину в соответствии с подтверждающим чертежом и фактическими требованиями при поставке EFU. Вентиляторы, фильтры, коробки и элементы управления соответствуют каждой позиции в списке заказа, что позволяет производителям оборудования EFEM выбирать EFU на основе поддающихся проверке полных состояний машины.

Недоразумения, которых следует избегать

Не следует сначала выбирать EFU, а затем находить место установки. Вам следует избегать оценки объема воздуха на основе формы EFEM без определения зоны защиты. Вам следует избегать игнорирования уклонения от движения робота. Вам не следует проверять совместимость интерфейса управления до его установки. Вам следует избегать пропуска прототипа и создания партий. Суть EFEM с использованием EFU заключается не в выборе агрегата с красивыми параметрами, а в формировании проверяемого замкнутого контура с точки зрения места для установки, организации воздушного потока, связей управления и путей обслуживания. Aili Industrial может сначала сформировать список подлежащих подтверждению утверждений в соответствии с чертежами оборудования, перечислив вместе пространство, поток воздуха и условия управления.

Связанные вопросы и ответы

Может ли EFU на стороне оборудования напрямую применять параметры FFU для чистых помещений?

Его не следует применять напрямую. Внутреннее сопротивление, диапазон подачи воздуха, интерфейс и логика управления оборудования обычно различаются.

Как продвигать выбор EFU для EFEM, если информация о проекте неполная?

Общая схема оборудования, доступное пространство, целевой объем воздуха или скорость ветра, уровень фильтрации, источник питания и метод управления могут быть предоставлены в первую очередь, и поставщик сформулирует элементы, подлежащие подтверждению; до подтверждения ключевых условий работы нецелесообразно проводить доработку на основе внешнего вида или одной оценки. Aili Industrial может сначала сформировать список подлежащих подтверждению утверждений в соответствии с чертежами оборудования, перечислив вместе пространство, поток воздуха и условия управления.

Какую конкретную информацию мне нужно подготовить для ответа на этот вопрос?

Подготовьте текущую информацию о проекте, касающуюся местных целей чистоты, границ воздушного потока и интерфейсов оборудования. Общий чертеж оборудования, лист подтверждения EFU и протокол испытаний прототипа должны соответствовать фактической приобретенной конфигурации; Если каталог, подтверждающий чертеж и запись о доставке не соответствуют друг другу, сначала следует выяснить версию и область применения. При выборе EFU для EFEM вы можете обратиться к полным инструкциям по эксплуатации машины и управлению, предоставленным Aili Industry в зависимости от модели.

Похожие статьи

Как настроить полупроводниковое оборудование EFU? Ключевые точки чистой зоны, объемной фильтрации воздуха и интерфейса оборудования

Как подтвердить место установки EFU? Чертежи оборудования, условия монтажа и методы приемки

Как настроить многоскоростную регулировку скорости EFU? Соединение оборудования, нештатное состояние и точки приемки

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка выбора и закупок Aili Industrial EFU

Производственная система EFU компании Aili Industrial охватывает двигатели, вентиляторы, фильтры, листовой металл и элементы управления собственной разработки. Место для установки, организация воздушного потока и связь управления ЭФУ, используемым в EFEM, могут быть проверены по чертежам оборудования в рамках одной производственной системы, что исключает необходимость передачи параметров между несколькими поставщиками. Завод оборудования завершает прототипирование и серийное производство EFU для EFEM в рамках одной системы, что упрощает поддержание согласованности версий, чем координацию между поставщиками.

учитьсяПродукты Aili Industrial EFU и индивидуальные конфигурации , можно просмотреть полную структуру машины.Блок фильтра вентилятора оборудования EFU , можно просмотреть нестандартный интерфейсИндивидуальный EFU , схему управления можно просмотретьБлок фильтра вентилятора оборудования ЭФУ, регулирующий скорость постоянного тока , можно просмотреть пакет фильтровВоздушные фильтры HEPA и ULPA . Пожалуйста, укажите в этой статье элементы проверки, использование оборудования и предполагаемое количество, чтобы облегчить подтверждение соответствующей модели и объема поставки.